摄像装置制造方法及图纸

减小多个像素单元之间的、像素单元内的晶体管的导通/截止的定时的偏差。本申请的摄像装置具备：第1像素单元，包括第1光电变换部和与第1光电变换部电连接的第1晶体管；第2像素单元，包括第2光电变换部和与第2光电变换部电连接的第2晶体管；第1缓冲器电路，具有第1输入端子和第1输出端子，用于控制第1晶体管的信号输入至第1输入端子；第2缓冲器电路，具有第2输入端子和第2输出端子，用于控制第2晶体管的信号输入至第2输入端子；第1控制信号线，将第1输出端子与第1晶体管的控制端子连接；以及第2控制信号线，将第2输出端子与第2晶体管的控制端子连接；第1控制信号线及第2控制信号线相互连接。

Camera device

Deviation of the turn-on / cutoff timing of transistors in a pixel unit between a plurality of pixel units is reduced. This imaging device application has first pixel units, including first photoelectric conversion and first transistors connected and first photoelectric conversion film; second pixel units, including second and second in second and a photoelectric converter transistor is connected to a photoelectric converter; first buffer circuit has first input terminals and first output terminals for signal input to the first input terminal of the first transistor control; second buffer circuit has second input terminals and second output terminals for signal input to the input terminal of the second transistor control second; first control signal line, the control output terminal and the first terminal of the first transistor is connected; and the second control signal line, the control terminal second output terminal with second transistors connected; first control signal line and the 2 control signal lines are connected with each other.

【技术实现步骤摘要】
摄像装置
本申请涉及摄像装置。
技术介绍
以往，已知有基于向物体照射光、并从物体返回来反射光为止的时间来计测距离的技术。典型地，基于向物体照射的光与检测到的反射光之间的相位差，计算到反射光返回来为止的时间，将该时间换算为距离。这样的测距方法被称作TOF(Time－of－flightmethod)法。近年来，通过对构成图像传感器的多个像素单元适用TOF法来按每个像素单元取得与被摄体的进深有关的信息的技术受到关注。通过使各像素单元作为测距传感器发挥功能，能够根据各像素单元的输出来构建距离图像。为了基于各像素单元的输出来构建距离图像，要求在多个像素单元之间使各像素单元中的光电变换元件(典型的是光敏二极管)的曝光的开始及结束的定时一致。换言之，要求使由光电变换元件生成的信号电荷的蓄积的期间在多个像素单元之间一致。例如，通过使图像传感器进行所谓的全局快门动作，能够使信号电荷的蓄积的期间在多个像素单元之间一致。下述的专利文献1在图1中公开了能够适用全局快门的像素100。在专利文献1的像素100中，在与复位晶体管14连接的读出节点12与光电变换元件10之间连接有传送晶体管11。在该像素100中，通过复位晶体管14的导通，读出节点12的电位复位为电源电位VDD。因而，能够根据将复位晶体管14切换为截止的定时来决定曝光开始的定时。此外，通过将传送晶体管11导通的定时的控制，能够将在光电变换元件10中生成的电荷以希望的定时向读出节点12传送。即，能够通过向传送晶体管11的栅极施加的信号来控制曝光结束的定时。通过将形成摄像区域的全部像素100的传送晶体管11一齐导通，能够实现全局快门动作。专利文献1：特开2014－120858号公报
技术实现思路
在上述摄像装置中，要求在多个像素单元之间减小像素单元内的晶体管的导通/截止的定时的偏差。根据本申请的非限定性的某个例示性的实施方式，提供以下技术方案。一种摄像装置，具备：第1像素单元，包括第1光电变换部和电连接于第1光电变换部的第1晶体管；第2像素单元，包括第2光电变换部和电连接于第2光电变换部的第2晶体管；第1缓冲器电路，具有第1输入端子和第1输出端子，用于控制第1晶体管的信号输入至第1输入端子；第2缓冲器电路，具有第2输入端子和第2输出端子，用于控制第2晶体管的信号输入至第2输入端子；第1控制信号线，将第1输出端子与第1晶体管的控制端子连接；以及第2控制信号线，将第2输出端子与第2晶体管的控制端子连接；第1控制信号线及第2控制信号线相互连接。包含性或具体的形态也可以由元件、设备、系统、集成电路或方法实现。此外，包含性或具体的形态也可以由元件、设备、系统、集成电路及方法的任意的组合实现。公开的实施方式的追加性的效果及优点根据说明书及附图会变得清楚。效果及/或优点由在说明书及附图中公开的各种实施方式或特征分别提供，不是为了得到它们的1个以上而需要全部。根据本申请的某实施方式，能够提供一种在多个像素单元之间减小了像素单元内的晶体管的导通/截止的定时的偏差的摄像装置。附图说明图1是表示本申请的第1实施方式的摄像装置的例示性的结构的图。图2是表示像素单元10A的例示性的电路结构的图。图3是表示像素阵列PA中的像素单元10A与周边驱动器80A之间的连接的示意图。图4是将图3所示的缓冲器电路20a及配置在其周边的4个像素单元10A放大而示意地表示的图。图5是表示按每个像素单元配置1个缓冲器电路的例子的图。图6是在图5所示的像素单元中取出接近配置的4个而表示的图。图7是表示本申请的第2实施方式的摄像装置的例示性的结构的图。图8是表示本申请的第2实施方式的变形例的摄像装置的图。图9是表示本申请的第2实施方式的另一变形例的摄像装置的图。图10是表示周边驱动器的配置的例子的图。图11是表示周边驱动器的配置的另一例的图。图12是表示周边驱动器的配置的再另一例的图。图13是用于说明将与传送晶体管31的栅极连接的控制信号线在多个像素块之间相互连接的效果的图。图14是表示作为比较例的摄像装置500的电路结构的图。图15是表示本申请的第3实施方式的摄像装置的例示性的结构的图。标号说明10A、10B像素单元20、20a～20c缓冲器电路22、22a～22c缓冲器电路24缓冲器26、26a～26c缓冲器电路30光电变换部31传送晶体管32读出电路42信号检测晶体管44地址晶体管46复位晶体管70、78、79、85连接线80A1～80A4周边驱动器80A～80C周边驱动器80p、80p1、80p2周边缓冲器81、81a～81c控制信号线82输入信号线88输出信号线100A～100F摄像装置Ch1第1芯片Ch2第2芯片PA像素阵列PBa～PBc像素块具体实施方式在上述图像传感器中，如果图像传感器的摄像区域包含许多像素单元，则信号线的长度增大，因信号线的寄生电容而发生信号延迟。因此，在例如由单一的信号线驱动多个像素100的传送晶体管11的电路结构中，与该信号线连接的像素100的数量越增大，越难以在这些像素之间使曝光期间一致。在上述专利文献1中，在信号线的中途设有缓冲器30(例如参照图2)。缓冲器30例如以3000像素间隔反复连接到信号线中。更具体地讲，对于某缓冲器30，作为输入信号而供给共用信号线的其他缓冲器30的输出信号。即，缓冲器30为了确保需要的驱动能力而连接在信号线上。根据这样的结构，虽然能够减小信号衰减的影响，但留有信号延迟的影响。此外，由于各个缓冲器30的特性的不均匀，多个像素100之间的传送晶体管11的导通及截止的定时的偏差有可能增大。根据本申请的一实施方式，提供一种在多个像素单元之间减小了像素单元内的晶体管的导通/截止的定时的偏差的摄像装置。本申请的一技术方案的概要是以下这样的。[项目1]一种摄像装置，具备：第1像素单元，包括第1光电变换部和电连接于第1光电变换部的第1晶体管；第2像素单元，包括第2光电变换部和电连接于第2光电变换部的第2晶体管；第1缓冲器电路，具有第1输入端子和第1输出端子，用于控制第1晶体管的信号输入至第1输入端子；第2缓冲器电路，具有第2输入端子和第2输出端子，用于控制第2晶体管的信号输入至第2输入端子；第1控制信号线，将第1输出端子与第1晶体管的控制端子连接；以及第2控制信号线，将第2输出端子与第2晶体管的控制端子连接；第1控制信号线及第2控制信号线相互连接。[项目2]如项目1所述的摄像装置，还具备包括第3光电变换部和电连接于第3光电变换部的第3晶体管的第3像素单元；第1控制信号线连接于第3晶体管的控制端子。[项目3]如项目2所述的摄像装置，还具备包括第4光电变换部和电连接于第4光电变换部的第4晶体管的第4像素单元；第2控制信号线连接于第4晶体管的控制端子。[项目4]如项目1～3中任一项所述的摄像装置，还具备与第1输入端子及第2输入端子连接的第1输入信号线。[项目5]如项目4所述的摄像装置，还具备第1周边驱动器；第1输入信号线的一端连接于第1周边驱动器。[项目6]如项目5所述的摄像装置，还具备第1周边驱动器；第1输入信号线的另一端连接于第2周边驱动器。[项目7]如项目1～3中任一项所述的摄像装置，还具备：第1输入信号线，与第1输入端子连接；以及第2输入信号线，与第2输本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种摄像装置，具备：第1像素单元，包括第1光电变换部、以及与上述第1光电变换部电连接的第1晶体管；第2像素单元，包括第2光电变换部、以及与上述第2光电变换部电连接的第2晶体管；第1缓冲器电路，具有第1输入端子和第1输出端子，用于控制上述第1晶体管的信号输入至上述第1输入端子；第2缓冲器电路，具有第2输入端子和第2输出端子，用于控制上述第2晶体管的信号输入至上述第2输入端子；第1控制信号线，将上述第1输出端子与上述第1晶体管的控制端子连接；以及第2控制信号线，将上述第2输出端子与上述第2晶体管的控制端子连接；上述第1控制信号线及上述第2控制信号线相互连接。

【技术特征摘要】
2016.03.30 JP 2016-0679241.一种摄像装置，具备：第1像素单元，包括第1光电变换部、以及与上述第1光电变换部电连接的第1晶体管；第2像素单元，包括第2光电变换部、以及与上述第2光电变换部电连接的第2晶体管；第1缓冲器电路，具有第1输入端子和第1输出端子，用于控制上述第1晶体管的信号输入至上述第1输入端子；第2缓冲器电路，具有第2输入端子和第2输出端子，用于控制上述第2晶体管的信号输入至上述第2输入端子；第1控制信号线，将上述第1输出端子与上述第1晶体管的控制端子连接；以及第2控制信号线，将上述第2输出端子与上述第2晶体管的控制端子连接；上述第1控制信号线及上述第2控制信号线相互连接。2.如权利要求1所述的摄像装置，还具备第3像素单元，该第3像素单元包括第3光电变换部、以及与上述第3光电变换部电连接的第3晶体管；上述第1控制信号线与上述第3晶体管的控制端子连接。3.如权利要求2所述的摄像装置，还具备第4像素单元，该第4像素单元包括第4光电变换部、以及与上述第4光电变换部电连接的第4晶体管；上述第2控制信号线与上述第4晶体管的控制端子连接。4.如权利要求1所述的摄像装置，还具备与上述第1输入端子及上述第2输入端子连接的第1输入信号线。5.如权利要求4所述的摄像装置，还具备第1周边驱动器；上述第1输入信号线的一端与上述第1周边驱动器连接。6.如权利要求5所述的摄像装置，还具备第2周边驱动器；上述第1输入信号线的另一端与上述第2周边驱动器连接。7.如权利要求1所述的摄像装置，还具备：第1输入信号线，与上述第1输入端子连接；以及第2输入信号线，与上述第2输入端子连接。8.如权利要求7所述的摄像装置，上述第1输入信号线及上述第2输入信号线相互连接。9.如权利要求7所述的摄像装置，还具备第1周边驱动器；上述第1输入信号线的一端及...

【专利技术属性】
技术研发人员：金原旭成，三宅康夫，宍戸三四郎，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP