蚀刻设备制造技术

本发明专利技术提供一种蚀刻设备，用于对显示面板的基板的蚀刻，包括支撑台、装于所述支撑台的多个第一传送滚轴及多个第二传送滚轴，多个第一传送滚轴平行间隔设置且构成第一运输平面，每两个第一传送滚轴之间设有一个第二导向滚轴，所述多个第二传送滚轴构成第二运输平面，所述第一运输平面与第二运输平面的宽度不相同且用于运输不同宽度的基板。

etcher

The invention provides a device for etching, etching the substrate of the display panel, comprising a support platform, installed on the support desk first transfer roller and a second conveyor roller, a plurality of first transfer rollers are arranged in parallel and at intervals and constitute the first transport plane, a second guide roller is arranged between every two the first transfer roller, the second roller transfer form second transport plane, the first transport plane and the second transport plane with different width and different width for substrate transport.

【技术实现步骤摘要】
蚀刻设备
本专利技术涉及显示面板制造
，尤其涉及蚀刻设备。
技术介绍
在液晶显示面板制造行业，湿法蚀刻机台应用十分广泛，用于基板的走线层等金属蚀刻。目前湿法蚀刻机台普遍都是一台机器只能运输及刻蚀单一尺寸的基板；如果需要对不同尺寸的基板进行蚀刻，需要更换运输组件或者直接更换蚀刻机；如此增加整个加工过程的时常，也增加了制造成本。
技术实现思路
本专利技术提供一种减少加工时长的蚀刻设备。本专利技术提供一种蚀刻设备，用于对显示面板的基板的蚀刻，包括支撑台、装于所述支撑台的多个第一传送滚轴及多个第二传送滚轴，多个第一传送滚轴平行间隔设置且构成第一运输平面，每两个第一传送滚轴之间设有一个第二导向滚轴，所述多个第二传送滚轴构成第二运输平面，所述第一运输平面与第二运输平面的宽度不相同且用于运输不同宽度的基板。其中，每一所述第二传送滚轴上的两端各设有一个导向组件，所述导向组件包括安装体和装于安装体的导向辊，所述安装体装于第二传送滚轴上并可沿着第二传送滚轴轴向调节，每一导向辊的轴向与所述第二传送滚轴的轴向垂直，同一第二传送滚轴上的两个导向辊之间的距离为所述第二运输平面的宽度，且多个所述第二传送滚轴上的导向辊之间的距离相同。其中，所述支撑台上设有驱动装置及由驱动装置驱动的推动部，每一所述第二传送滚轴端部与所述推动部连接，并可随着推动部沿着垂直于所述第一传送滚轴的轴向方向移动，以使所述第二运输平面高于或者低于所述第一运输平面。其中，所述驱动装置为两个相对设置且均为气缸，每一驱动装置连接有一个推动部，所述推动部为升降推杆，一个升降推杆连接多个第二传送滚轴朝向相同的一端，另一个推杆连接多个第二传送滚轴的另一个段。其中，所述支撑台包括两个相对的支撑板，所述两个支撑板相对的内侧面设有与所述多个第二传送滚轴相对应的滑槽，所述推动部推动第二传送滚轴沿着滑槽滑动实现相对第一传送滚轴升降。其中，所述支撑台上还设有驱动气缸及由驱动气缸驱动的推动杆，每一所述第一传送滚轴端部与所述推动杆连接，并可随着推动杆沿着垂直于所述第二传送滚轴的轴向方向移动，以使所述第一运输平面高于或者低于所述第二运输平面。其中，所述蚀刻设备包括控制装置，用于控制所述驱动装置调节所述第二传送滚轴的升降。其中，所述蚀刻设备包括分别位于所述第一运输平面两端的取料滚轮组件与送料滚轮组件，所述取料滚轮组件包含两个可以相互靠近或者远离的第一同向滚动轴，所述送料滚轮组件包含两个可以相互靠近或者远离的第二同向滚动轴。其中，所述第一传送滚轴上套设有数个间隔设置的随着第一传送滚轴滚动的柔性环。其中，所述蚀刻设备包括设于支撑台上的密封罩及用于蚀刻基板的蚀刻容器。本专利技术所述的蚀刻设备通过升降更换不同长度的传送滚轴或者改变传送运输面的宽度来实现更换运输尺寸，不需要更换设备或者手动更换传送滚，节省加工时长，节省成本。附图说明为更清楚地阐述本专利技术的构造特征和功效，下面结合附图与具体实施例来对其进行详细说明。图1是本专利技术蚀刻设备的俯视角度简图。图2是图1中的导向组件示意图。图3是蚀刻设备另一方式侧面示意简图。图4是图3所示的蚀刻设备侧面示意简图。具体实施例下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，不能理解为对本专利的限制。请参阅图1，本专利技术提供一种蚀刻设备，用于对显示面板的基板的蚀刻。蚀刻设备包括支撑台，设于支撑台的密封罩(图未示)，及用于蚀刻基板100的蚀刻容器(图未示)、装于所述支撑台的多个第一传送滚轴12及多个第二传送滚轴14，多个第一传送滚轴12平行间隔设置且构成第一运输平面A，每两个第一传送滚轴12之间设有一个第二导向滚轴14，所述多个第二传送滚轴14构成第二运输平面B，所述第一运输平面A与第二运输平面B的宽度不相同且用于运输不同宽度的基板100。所述支撑台包括两个相对的支撑板11。所述多个第一传送滚轴12装于两个支撑板11之间。所述多个第二传送滚轴14装于两个支撑板11之间；并且多个第一传送滚轴12及多个第二传送滚轴14穿插设置，也就是说每两个第一传送滚轴12之间设有一个第二导向滚轴14，每两个第二导向滚轴14之间有一个第一传送滚轴12。本实施例中，所述第一传送滚轴12上套设有数个间隔设置的随着第一传送滚轴12滚动的柔性环121。柔性环121保护基板传送过程中不被划伤。多个第一传送滚轴12同向转动构成第一运输平面A，第一传送滚轴12的有效长度(可以承载基板部分的长度)即为第一运输平面A的宽度。基板放入第一传送滚轴12上，多个第一传送滚轴12同向同时滚动，即可带动基板移动。如图2所示，本专利技术第一实施例中，每一所述第二传送滚轴14上的两端各设有一个导向组件15，所述导向组件15包括安装体151和装于安装体151的导向辊152。所述安装体151装于第二传送滚轴14上并可沿着第二传送滚轴14轴向调节。每一导向辊152的轴向与所述第二传送滚轴14的轴向垂直，同一第二传送滚轴14上的两个导向辊152之间的距离为所述第二运输平面B的宽度，且多个所述第二传送滚轴14上的导向辊152之间的距离相同。具体的，所述安装体151夹持于所述第二传送滚轴14上，通过螺钉等方式固定。所述导向辊152轴向垂直于安装体151装于安装体151表面。每一个第二传送滚轴14上设有两个导向组件15，根据需要蚀刻的基本的宽度进行调节两个安装体151在第二传送滚轴14上的位置就可以调节两个导向辊152之间的距离，也就是需要的第二运输平面B的宽度。所有的第二传送滚轴14上的两个导向辊152之间的距离相等，在基板放于第二运输平面B上，所述第二传送滚轴14同向转动，使基板移动，基板相对两侧可以与所述导向辊152接触，导向辊152会随着基板移动方向转动，这样不仅可以实现基板的运送，而且基板两侧的导向辊152对基板起到导向作用，防止基板偏移。请参阅图3与图4，在上述实施例基础上，所述支撑台上设有驱动装置16及由驱动装置16驱动的推动部，每一所述第二传送滚轴14端部与所述推动部连接，并可随着推动部沿着垂直于所述第一传送滚轴12的轴向方向移动，以使所述第二运输平面B高于或者低于所述第一运输平面A。本实施例中，所述驱动装置16为两个相对设置且均为气缸，每一驱动装置连接有一个推动部，所述推动部为升降推杆，一个升降推杆连接多个第二传送滚轴14朝向相同的一端，另一个推杆连接多个第二传送滚轴14的另一个段。驱动装置16驱动升降推杆移动，升降推杆可以带动所有的第二传送滚轴14同时移动。当然，设有驱动装置16后，导向组件15也可以取消。所述支撑台包括两个相对设置的支撑板11。所述两个支撑板11相对的内侧面设有与所述多个第二传送滚轴14相对应的滑槽，所述推动部推动第二传送滚轴14沿着滑槽滑动实现相对第一传送滚轴12升降。第二传送滚轴14的两端滑动装于滑槽内，比如，通过滑块与滑槽配合，然后第二传送滚轴14的两端设置轴承，而轴承固定于滑块上。所述蚀刻设备包括控制装置，用于控制所述驱动装置调节所述第二传送滚轴的升降，进而实现自动控制的摩的，进一步节省操作时间。当使用第二运输平面B运输基板时，通过控制装置启动驱动装置16，驱动装置16驱动升降推杆移动，带动所有的第二传送滚轴14同时移动上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蚀刻设备，用于对显示面板的基板的蚀刻，其特征在于，包括支撑台、装于所述支撑台的多个第一传送滚轴及多个第二传送滚轴，多个第一传送滚轴平行间隔设置且构成第一运输平面，每两个第一传送滚轴之间设有一个第二导向滚轴，所述多个第二传送滚轴构成第二运输平面，所述第一运输平面与第二运输平面的宽度不相同且用于运输不同宽度的基板。

【技术特征摘要】
1.一种蚀刻设备，用于对显示面板的基板的蚀刻，其特征在于，包括支撑台、装于所述支撑台的多个第一传送滚轴及多个第二传送滚轴，多个第一传送滚轴平行间隔设置且构成第一运输平面，每两个第一传送滚轴之间设有一个第二导向滚轴，所述多个第二传送滚轴构成第二运输平面，所述第一运输平面与第二运输平面的宽度不相同且用于运输不同宽度的基板。2.如权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，每一所述第二传送滚轴上的两端各设有一个导向组件，所述导向组件包括安装体和装于安装体的导向辊，所述安装体装于第二传送滚轴上并可沿着第二传送滚轴轴向调节，每一导向辊的轴向与所述第二传送滚轴的轴向垂直，同一第二传送滚轴上的两个导向辊之间的距离为所述第二运输平面的宽度，且多个所述第二传送滚轴上的导向辊之间的距离相同。3.如权利要求1或2所述的蚀刻设备，其特征在于，所述支撑台上设有驱动装置及由驱动装置驱动的推动部，每一所述第二传送滚轴端部与所述推动部连接，并可随着推动部沿着垂直于所述第一传送滚轴的轴向方向移动，以使所述第二运输平面高于或者低于所述第一运输平面。4.如权利要求3所述的蚀刻设备，其特征在于，所述驱动装置为两个相对设置且均为气缸，每一驱动装置连接有一个推动部，所述推动部为升降推杆，一个升降推杆连接多个第二传送滚轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：田代，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44