一种Au-Cu/Ag-Al纳米多层膜表面增强荧光基底及其应用制造技术

本发明专利技术公开了一种Au‑Cu/Ag‑Al纳米多层膜表面增强荧光基底及其应用，将载玻片清洗、吹干后备用；将Au‑Cu和Ag‑Al复合靶分别安装在直流阴极上，清洗后的载玻片装入样品台，开机，抽真空，然后通人氩气,打开溅射电源，交替溅射Au‑Cu和Ag‑Al，溅射完成，关闭溅射电源，停止通气，关分子泵，关电源,自然真空下冷却到室温，然后取出样品。本发明专利技术操作简单、环境友好、沉积速度快、效率高、生产成本低、易于批量生产的薄膜表面增强荧光基底，该薄膜是多层结构，通过在玻璃上交替沉积Au‑Cu和Ag‑Al制备，采用的仪器是普通的磁控溅射仪。

A Au Cu/Ag Al nano multilayer film surface enhanced fluorescence substrate and its application

The invention discloses an enhanced fluorescence substrate and its application Au Cu/Ag Al nano multilayer film surface, slide cleaning and drying after standby; Au Cu and Ag Al composite targets were installed in the DC cathode, slides into the sample table, after cleaning the boot, vacuum, and ordinary argon open, the sputtering power of Au Cu and Ag alternating sputtering Al, sputtering, sputtering power off, stop ventilation, shut off power supply, natural molecular pump, vacuum cooling to room temperature, and then remove the sample. The invention has the advantages of simple operation, friendly environment, fast deposition speed, high efficiency, low production cost and easy batch production of the film surface enhanced fluorescence substrate, the film is a multi-layer structure, by alternately depositing Au Cu and Ag Al on the glass, the instrument is ordinary magnetic control sputtering instrument.

【技术实现步骤摘要】
一种Au-Cu/Ag-Al纳米多层膜表面增强荧光基底及其应用
本专利技术属光谱学领域，尤其涉及一种Au-Cu/Ag-Al纳米多层膜表面增强荧光基底及其应用。
技术介绍
荧光技术作为一种重要的现代光谱技术，具有灵敏度高、操作简单、检测迅速、无需样品前处理等优点，满足实时在线监测的需要，因此被广泛应用于大气、水体等环境检测。多环芳烃是水环境中普遍存在的污染物，具有惰性较强、较稳定、难降解等特点，在实际使用中，即使水体中多环芳烃的含量少，但是长期使用时由于其累积效应仍会对人体产生致癌、致崎、致突变等危害。因此，对水环境中的多环芳烃污染物越早预测越能及时的避免其危害性，这对荧光技术的检测灵敏度提出了新的要求。用于提高荧光检测灵敏度的方法有多种,例如:利用新技术、新器件提高仪器的检测灵敏度;选用长波长探针分子减少背景荧光的干扰;利用酶联免疫反应、聚合酶链反应、多荧光发色团探针等生物化学方法提高荧光信号的放大倍数，等。但是，这些方法提高荧光技术的检测灵敏度局限性很大,提高的程度受制于荧光物种自身的量子产率、光解性以及背景荧光的干扰等。从改进仪器方面考虑,虽然在严格控制实验条件，最大限度地降低背景本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种Au‑Cu/Ag‑Al纳米多层膜表面增强荧光基底，其特征在于，制备方法包括以下步骤：1）将载玻片清洗、吹干后备用；2） 将Au‑Cu和Ag‑Al复合靶分别安装在直流阴极上，清洗后的载玻片装入样品台，调整靶材和基片的距离为48‑52mm；3）开机，抽真空至0.9‑1.1x10

【技术特征摘要】
1.一种Au-Cu/Ag-Al纳米多层膜表面增强荧光基底，其特征在于，制备方法包括以下步骤：1）将载玻片清洗、吹干后备用；2）将Au-Cu和Ag-Al复合靶分别安装在直流阴极上，清洗后的载玻片装入样品台，调整靶材和基片的距离为48-52mm；3）开机，抽真空至0.9-1.1x10-3pa，然后通人氩气,调整Ar流量为29-31sccm，调整工作气压至1.4-1.6Pa；4）打开溅射电源，交替溅射Au-Cu和Ag-Al，其中溅射功率分别为40W和60W，控制单次溅射时间为0.9-1.1min，总的溅射时间为5.9-6.1min；5）溅射完成，关闭溅射电源，停止通气，关分子泵，关电源,自然真空下冷却到室温，然后取出样品。2.根据权利要求1所述的一种Au-Cu/Ag-Al纳米多层膜表面增强荧光基底，其特征在于：制备方法包括以下步骤：1）将载玻片清洗、吹干后...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨瑞芳，赵南京，肖雪，殷高方，马明俊，孟德硕，方丽，甘婷婷，
申请(专利权)人：中国科学院合肥物质科学研究院，
类型：发明
国别省市：安徽,34