衍射光学元件叠层的低温气密密封制造技术
Low temperature hermetic seal of laminated diffractive optical elements
The present invention discloses a method for manufacturing optical devices, which includes providing a pair of glass wafers (42). One or more diffractive optical elements (DOE) (44) are formed on one or more glass wafers in a glass wafer. The spacer (50) is positioned between the glass wafers so as to limit the cavity containing DOE (40), and to form an air tight seal for bonding the glass wafer together and sealing the cavity. In batch process, spacer is positioned and sealed, and each element is separated by cutting, for example.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】衍射光学元件叠层的低温气密密封
本文所述的实施方案整体涉及光学器件，并且具体地讲，涉及用于密封衍射光学元件的方法和系统。
技术介绍
微型光学投影仪在各种应用中使用。例如，此类投影仪可以用于将编码或结构光的图案投射到对象上，以实现投影对象的三维(3D)映射(也称为深度映射)。在一些应用中，光学投影仪可以使用一个或多个衍射光学元件(DOE)来投射光。例如，其公开内容以引用方式并入本文的美国专利申请公布2009/0185274描述了一种用于投射图案的设备，该设备包括被配置为衍射输入光束以便在表面的第一区域上生成第一衍射图案的第一DOE，该第一衍射图案包括零级光束。第二DOE被配置为衍射零级光束以便在该表面的第二区域上生成第二衍射图案，使得第一区域和第二区域一起至少部分地覆盖该表面。
技术实现思路
本文所述的一个实施方案提供了一种用于制造光学装置的方法，该方法包括提供一对玻璃晶片并在所述玻璃晶片中的一个或多个玻璃晶片上形成一个或多个衍射光学元件(DOE)。将间隔物定位在所述玻璃晶片之间以便限定包含所述DOE的腔，并且形成将所述玻璃晶片键合在一起并密封所述腔的气密密封件。在一些...
【技术保护点】
一种用于制造光学装置的方法，包括：提供一对玻璃晶片；在所述玻璃晶片中的一个或多个玻璃晶片上形成一个或多个衍射光学元件(DOE)；将间隔物定位在所述玻璃晶片之间以便限定包含所述DOE的腔；以及形成将所述玻璃晶片键合在一起并密封所述腔的气密密封件。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.02.16 US 62/116,574;2015.09.30 US 14/870,0401.一种用于制造光学装置的方法，包括：提供一对玻璃晶片；在所述玻璃晶片中的一个或多个玻璃晶片上形成一个或多个衍射光学元件(DOE)；将间隔物定位在所述玻璃晶片之间以便限定包含所述DOE的腔；以及形成将所述玻璃晶片键合在一起并密封所述腔的气密密封件。2.根据权利要求1所述的方法，其中形成所述DOE包括在聚合物层中模制衍射图案。3.根据权利要求1所述的方法，其中形成所述DOE包括在所述玻璃晶片中的至少一个玻璃晶片中图案化衍射图案。4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中形成所述气密密封件包括用第一金属层来涂覆所述间隔物。5.根据权利要求4所述的方法，其中所述间隔物包括聚合物。6.根据权利要求4所述的方法，其中所述间隔物包括玻璃。7.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中定位所述间隔物包括通过在所述玻璃晶片中的一个或多个玻璃晶片中形成腔来产生所述间隔物。8.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中形成所述气密密封件包括键合共晶金属合金。9.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中形成所述气密密封件包括执行直接氧化物键合。10.根据权利要求9所述的方法，包括在执行所述直接氧化物键合之前，将所述玻璃晶片中的至少一个玻璃晶片的键合表面和所述间隔物的键合表面抛光并清洁。11.根据权利要求9所述的方法，其中执行所述直接氧化物键合包括将所述玻...
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