功能墨水装置及方法制造方法及图纸

技术编号:1638114 阅读:236 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种适于用作印刷半导体器件(300)中的介电层(303)的功能墨水(200),包括介电载体(201)和设置在该介电载体中的尺寸小于大约1000纳米的多个介电微粒(202)。在优选的方式中介电载体包括介电树脂,并且介电微粒包括铁电材料(例如,但是不局限于BaTiO↓[3])。因此可以通过特别的印刷技术将所提供的这种功能墨水涂覆到特别的基板(301)上,由此提供一种具有包含这种功能墨水的相对薄的介电层的最终印刷半导体器件,例如场效应晶体管。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术主要涉及一种印刷半导体器件,并且尤其涉及功能墨水和 与其一起使用的介电材料。
技术介绍
已知使用诸如真空淀积这种技术以形成多种基于半导体的器件的 方法和设备。这种技术很好地应用于许多目的,并且在用于大体积装 置中时能够实现高可靠性、小尺寸和相对经济。最近,开发出了其他 技术来生产基于半导体的器件。例如,可以提供有机或者无机半导体 材料作为功能墨水,并且与多种印刷技术结合使用以生产印刷半导体 器件。然而,与半导体制造领域技术人员所期望的相比,印刷半导体器 件产生出大大不同的最终结果,并且使用了大大不同的制造技术。例 如,印刷半导体器件要比使用更多传统技术而制造的典型半导体器件 大得多。作为其他实例,使用的材料和利用的淀积技术还可以在现有 技术期望的标准之外。部分地由于这些不同,在许多情况下对于印刷半导体器件来说不 适于使用和釆纳现有的材料和技术。而且,在许多情况下,半导体器 件印刷引起了在现有技术的实践中所没有的挑战和困难。例如,在半 导体层和另一个器件层(或者多层)之间印刷一个与介电层的性质和 质量有关的相关区域(与在印刷场效应晶体管中介电层用于将有机半 导体器件层与栅极本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种功能墨水,包括:-介电载体;-设置在所述介电载体中的尺寸小于大约1000纳米的多个介电微粒。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:阿姆贾德S拉苏尔保罗W布拉齐斯丹尼尔R加莫塔安德鲁F斯基波张婕
申请(专利权)人:摩托罗拉公司
类型:发明
国别省市:US[美国]

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