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一种利用电磁原理的压力传感器及其工作方法技术

技术编号:16377940 阅读:73 留言:0更新日期:2017-10-15 09:03
本发明专利技术公开了一种压力传感器,包括衬底、薄膜、永磁体、金属线圈和导体悬臂梁,永磁体固定连接在衬底的底面,衬底的上部设有空腔,薄膜生长在衬底的顶面,且薄膜覆盖在空腔的上方;金属线圈固定连接在薄膜的顶面,导体悬臂梁固定连接在衬底的顶面,且导体悬臂梁位于金属线圈上方。该压力传感器结构简单,且利用电磁原理实现压力测量,过程简单。同时,本发明专利技术还提供压力传感器的工作方法,易于实现。

A pressure sensor using electromagnetic principle and its working method

The invention discloses a pressure sensor includes a substrate, metal film, permanent magnet, coil conductor and cantilever beam, the permanent magnet is fixedly connected with the bottom surface of the substrate, the substrate is arranged on the upper part of the cavity, the film growth in the top surface of the substrate, and the film is covered on the upper cavity; the metal coil is fixedly connected with the top surface the thin film conductor, cantilever beam fixed on the top surface of the substrate, and the conductive cantilever beam is positioned on the metal coil. The pressure sensor is simple in structure and easy to realize the pressure measurement by using electromagnetic principle. At the same time, the invention also provides the working method of the pressure sensor, and is easy to realize.

【技术实现步骤摘要】
一种利用电磁原理的压力传感器及其工作方法
本专利技术涉及一种压力传感器,具体来说,涉及了一种利用电磁原理的压力传感器及其工作方法。
技术介绍
在利用硅微加工技术实现的产品中,压力传感器是发展最早的一类。传统的压力传感器有压阻式,电容式,谐振式等,根据特点可应用于不同场合。在可利用电磁量测量的场合,尚没有一种压力传感器能够快速测量压力。技术问题:本专利技术需要解决的技术问题是,提供一种利用电磁原理的压力传感器及其工作方法,适合电磁量测量的场合,只需要直接测量感应电流输出信号即可监测压力变化;且测试结构简单,响应速度快,测试方法便捷。技术方案:为了解决上述技术问题,本专利技术采用的技术方案是:一种利用电磁原理的压力传感器,该压力传感器包括衬底、薄膜、永磁体、金属线圈和导体悬臂梁,永磁体固定连接在衬底的底面,衬底的上部设有空腔,薄膜生长在衬底的顶面,且薄膜覆盖在空腔的上方;金属线圈固定连接在薄膜的顶面,导体悬臂梁固定连接在衬底的顶面,且导体悬臂梁位于金属线圈上方。作为优选例,所述的导体悬臂梁包括连接部和水平部,连接部一端与水平部固定连接,连接部另一端与衬底顶面固定连接,水平部位于金属线圈正本文档来自技高网...
一种利用电磁原理的压力传感器及其工作方法

【技术保护点】
一种利用电磁原理的压力传感器,其特征在于,该压力传感器包括衬底(1)、薄膜(2)、永磁体(3)、金属线圈(4)和导体悬臂梁(5),永磁体(3)固定连接在衬底(1)的底面,衬底(1)的上部设有空腔(101),薄膜(2)生长在衬底(1)的顶面,且薄膜(2)覆盖在空腔(101)的上方;金属线圈(4)固定连接在薄膜(2)的顶面,导体悬臂梁(5)固定连接在衬底(1)的顶面,且导体悬臂梁(5)位于金属线圈(4)上方。

【技术特征摘要】
1.一种利用电磁原理的压力传感器,其特征在于,该压力传感器包括衬底(1)、薄膜(2)、永磁体(3)、金属线圈(4)和导体悬臂梁(5),永磁体(3)固定连接在衬底(1)的底面,衬底(1)的上部设有空腔(101),薄膜(2)生长在衬底(1)的顶面,且薄膜(2)覆盖在空腔(101)的上方;金属线圈(4)固定连接在薄膜(2)的顶面,导体悬臂梁(5)固定连接在衬底(1)的顶面,且导体悬臂梁(5)位于金属线圈(4)上方。2.按照权利要求1所述的利用电磁原理的压力传感器,其特征在于,所述的导体悬臂梁(5)包括连接部和...

【专利技术属性】
技术研发人员:聂萌夏云汉杨恒山
申请(专利权)人:东南大学
类型:发明
国别省市:江苏,32

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