外观检查装置以及外观检查方法制造方法及图纸

容易且详细检测试样表面的三维结构的缺陷。一种外观检查装置100，从照明试样S取得的图像数据检查试样S的外观检测缺陷。有配置试样S的试样台110；观察试样S的显微镜12；有第一光源131从显微镜120的观察方向对试样S照射照明光的第一照明装置130；有第二光源151并从斜向对试样S照射照明光的第二照明装置150；摄像用照明装置照明150的试样S通过显微镜120得到的图像并输出彩色图像数据的彩色照相机140；根据彩色图像数据检查试样S外观的处理装置160。第一照明装置130、第二照明装置150有对试样S照射不同波长范围的照明光的第一波长选择结构132及第二波长选择结构152，从不同角度照明试样S。

Appearance inspection device and visual inspection method

The defect of easy and detailed examination of the three-dimensional structure of the surface of a specimen. An appearance inspection device 100 checks image inspection defects of the sample S from the image data obtained from the illumination specimen S. The configuration of sample S sample 110; microscope specimen S 12; has a first light source from 131 directions of observation 120 microscope specimen of S illumination light first lighting device 130; there are second light and 151 from the second oblique illumination device of S illumination light sample 150; camera lighting device for lighting 150 the sample S 120 obtained by microscope image and color image data output color camera 140; color image data processing device according to the appearance of the S 160 sample inspection. The first illumination device 130 and the second lighting device 150 have a first wavelength selection structure 132 and two wavelength selection structure 152 illuminating the illumination light of different wavelength ranges to the sample S, and lighting the sample S from different angles.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用摄像元件对半导体晶片等进行摄影而检查外观的外观检查装置以及外观检查方法。
技术介绍
以往就检查半导体晶片等试样的外观，进行探测在其表面上所形成的电路等的缺陷的外观检查。专利文献1公开了一种外观检查方法，其特征是，把具有互补颜色关系的3个点光，从互相成120度的角度的3个方向，从相对被检查面斜向并且互相不同的垂直面，以在被照明面上互相重叠的方式进行照明，使上述被检查面上的立体物的、通过上述3个点光形成的影连接地产生，调查上述影的XY坐标的连接度，判定是缺陷还是噪音。另外，在这样的外观检查装置中，为了提高检查的精度，想出各种各样的办法。另外，专利文献2公开了一种微检查装置，包含：具有照射可干涉光的光源的微检查用照明装置、支撑形成有规定的图案的微细被加工面的基板的支撑单元、和根据来自微细被加工面的衍射光判定在基板上形成的图案是否从规定图案发生变形的判定单元。在该装置中，微检查用照明装置用照射包含有处于补色关系的2个颜色的可干涉光的光的装置构成。微本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种外观检查装置，具备：配置试样的试样台；具备光源并对上述试样照射照明光的照明装置；对用上述照明装置照明的上述试样进行摄像并输出彩色图像数据的摄像单元；以及根据上述彩色图像数据检查上述试样的外观的检查处理部，该外观检查装置的特征在于，上述照明装置对于上述试样以不同的角度照射不同的波长范围的照明光。

【技术特征摘要】
2012.11.21 JP 2012-2555851.一种外观检查装置，具备：配置试样的试样台；具备光源并对上述试样
照射照明光的照明装置；对用上述照明装置照明的上述试样进行摄像并输出彩
色图像数据的摄像单元；以及根据上述彩色图像数据检查上述试样的外观的检
查处理部，该外观检查装置的特征在于，
上述照明装置对于上述试样以不同的角度照射不同的波长范围的照明光。
2.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，
上述照明装置具备波长选择结构，该波长选择结构具备透过不同的波长范
围的光的多片透过滤光镜；以及把从上述多片透过滤光镜中选择出的透过滤光
镜配置在从上述光源到上述试样的光路中的滤光镜选择装置。
3.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，
上述照明装置具备分别发生不同的波长范围的光的多个光源；以及选择照
明上述试样的光源的光源选择单元。
4.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，
上述照明装置具备使光的波长范围变更的波长范围变更单元，进而用上述
照明装置照射的光的波长范围是可变的。
5.根据权利要求1到4中的任何一项所述的外观检查装置，其特征在于，
上述照明装置的照射到上述试样的照射角分别不同。
6.根据权利要求5所述的外...

【专利技术属性】
技术研发人员：上村拓人，伊藤隆，山崎敬，
申请(专利权)人：株式会社拓普康，
类型：发明
国别省市：日本;JP