闭环放电激励脉冲重频气体激光器及其运行方法技术

本发明专利技术公开了一种基于静电除尘原理的带有自清洁光窗的闭环放电激励脉冲重频气体激光器及其运行方法，激光器包括激光器主体、脉冲放电泵浦源、谐振腔、自清洁光窗、气体循环装置、气体供给单元和真空单元；自清洁光窗由光窗清洁器和窗口构成；光窗清洁器包括消能箱、气管和气体过滤器。气体过滤器基于静电除尘原理，包括方形外腔、进气口、多层金属网、静电除尘电离区、静电除尘收集区、灰斗、末端滤网、出气口和高压直流电源。激光器运行时，从气体循环装置中风机出口处引出一定流量的工作气体，该气流在气体过滤器中经静电除尘和两级过滤除去前一个脉冲放电产生的大量微粒，转变成清洁的工作气体，并送至激光器光窗，实现激光器光窗实时自清洁。

Closed loop discharge excited pulse repetition frequency gas laser and operation method thereof

The invention discloses a closed-loop discharge self cleaning of optical window pulse gas laser and its operation method with electrostatic precipitator based on the principle of laser comprises a laser pulse discharge, the main pump source, resonant cavity, self cleaning windows, gas circulation device, gas supply unit and vacuum unit; self cleaning windows by light the window cleaner and the window; the light window cleaner comprises a baffle box, pipe and gas filter. Gas filter based on the principle of electrostatic precipitator, which comprises a square outer cavity, air inlet, multilayer metal net, electrostatic precipitator and electrostatic dust collecting ionization zone area, ash hopper, terminal filter, air outlet and high voltage DC power supply. Laser operation, from the gas outlet gas circulation device fan is led out rate, the flow in the gas filter by electrostatic precipitator and two stage filtration to remove large particles before a pulse discharge into the working gas, clean, and sent to the laser light window, the laser light from the window in real time clean.

【技术实现步骤摘要】
闭环放电激励脉冲重频气体激光器及其运行方法
本专利技术涉及放电激励气体激光
，尤其是涉及基于静电除尘原理的具有自清洁光窗的闭环放电激励脉冲重频气体激光器及其运行方法。
技术介绍
放电激励脉冲重频气体激光器通常采用闭合循环方式，利用气体循环装置实现放电区域气体快速置换，消除前一个脉冲放电对后续脉冲的影响。然而为了保证激光器的电绝缘，激光器光窗一般采用向外突起结构，激光器运行过程中光窗内的气体不能通过气体循环装置实现有效置换，放电生成的大量微粒聚集在激光器光窗区域。这些微粒会附着在窗口玻璃内表面，污染激光窗口玻璃，减小窗口玻璃的透过率，致使激光器输出能量降低。
技术实现思路
为了解决放电激励脉冲重频气体激光器的窗口玻璃污染问题，本专利技术提供一种基于静电除尘原理的自清洁光窗及闭环放电激励脉冲重频气体激光器。本专利技术的技术解决方案是提供一种闭环放电激励脉冲重频气体激光器，包括激光器主体1、气体循环装置4、气体供给单元7与真空单元6，上述激光器主体1包括进/出气端口，上述气体循环装置4与激光器主体1的进/出气端口连通，上述气体供给单元7与真空单元6均连接在气体循环装置4上，其特殊之处在于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种闭环放电激励脉冲重频气体激光器，包括激光器主体(1)、气体循环装置(4)、气体供给单元(7)与真空单元(6)，所述激光器主体(1)包括进/出气端口，所述气体循环装置(4)与激光器主体(1)的进/出气端口连通，所述气体供给单元(7)与真空单元(6)均连接在气体循环装置(4)上，其特征在于：还包括自清洁光窗(2)，所述自清洁光窗(2)包括窗口玻璃(11)与光窗清洁器；所述光窗清洁器包括消能箱(10)与气体过滤器(9)；所述消能箱(10)包括一端倾斜的筒体(101)，所述筒体内部径向设置有多个消能片(12)；所述窗口玻璃(11)密封固定在筒体(101)的倾斜端，筒体(101)的另一端与激光器的出...

【技术特征摘要】
1.一种闭环放电激励脉冲重频气体激光器，包括激光器主体(1)、气体循环装置(4)、气体供给单元(7)与真空单元(6)，所述激光器主体(1)包括进/出气端口，所述气体循环装置(4)与激光器主体(1)的进/出气端口连通，所述气体供给单元(7)与真空单元(6)均连接在气体循环装置(4)上，其特征在于：还包括自清洁光窗(2)，所述自清洁光窗(2)包括窗口玻璃(11)与光窗清洁器；所述光窗清洁器包括消能箱(10)与气体过滤器(9)；所述消能箱(10)包括一端倾斜的筒体(101)，所述筒体内部径向设置有多个消能片(12)；所述窗口玻璃(11)密封固定在筒体(101)的倾斜端，筒体(101)的另一端与激光器的出射端密封固连；筒体(101)上开设辅助气流接口(103)；所述气体过滤器(9)包括腔体(98)，设置于腔体(98)上的进气口(91)与出气口(92)，所述进气口(91)通过气管与气体循环装置(4)连通，所述出气口(92)通过气管与消能箱的辅助气流接口(103)连通。2.根据权利要求1所述的闭环放电激励脉冲重频气体激光器，其特征在于：所述气体过滤器的腔体内从进气口至出气口依次设置多层金属网(93)、静电除尘电离区(94)、静电除尘收集区(95)、滤网(96)；还包括输出电压可调的供电单元、位于腔体内壁的绝缘支撑(90)与位于静电除尘收集区下方的灰斗(97)；所述静电除尘电离区包括多层板状地电极和网状高压电极，所述地电极和高压电极交叉平行放置，高压电极安装在绝缘支撑(90)上，与供电单元相连；地电极安装在腔体(98)上，地电极和高压电极平行于气体流动方向；所述静电除尘收集区包括板状地电极和板状高压电极，地电极和高压电极交叉平行放置，高压电极安装在绝缘支撑(90)上，与高压直流电源(99)相连；地电极安装在腔体(98)上，地电极和高压电极平行于气体流动方向。3.根据权利要求2所述的闭环放电激励脉冲重频气体激光器，其特征在于：所述多层金属网(93)为不锈钢网；静电除尘电离区高压电极为不锈钢网，地电极为不锈钢板；静电除尘收集区高压电极与地电极均为不锈钢板；滤网采用锰镍合金纤维织成。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄超，黄珂，安晓霞，马连英，李高鹏，雷飞，
申请(专利权)人：西北核技术研究所，
类型：发明
国别省市：陕西,61