氢传感器、燃料电池汽车以及氢检测方法技术

本发明专利技术提供节能性优良的氢传感器、燃料电池汽车以及氢检测方法。所述氢传感器具有：第1电极；第2电极；金属氧化物层，其配置于所述第1电极和所述第2电极之间，且包含块状区域和局部区域；第1绝缘膜，其覆盖所述第1电极、所述第2电极以及所述金属氧化物层，且具有达到所述第2电极的开口；以及第2绝缘膜，其在所述开口内与所述第2电极接触。

Hydrogen sensor, fuel cell vehicle, and hydrogen detection method

The invention provides a hydrogen sensor with excellent energy saving, a fuel cell vehicle and a hydrogen detection method. The hydrogen sensor with first electrode; a second electrode; a metal oxide layer, which is disposed between the first electrode and the second electrode, and includes a massive regional and local area; the first insulating film, which covers the first electrode, the second electrode and the metal oxide layer, and having an opening to the second electrode; and a second insulating film, the opening and the second electrode contact.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种氢传感器。
技术介绍
在专利文献1中，公开了一种以前的氢传感器。该氢传感器具有基板、Pt蒸镀膜、SnO2烧结体、SiO2膜以及加热器。SiO2膜使氢分子选择性地通过。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特公昭61-31422号公报非专利文献非专利文献1：B.Majkusiak,J.Walczak“THEORETICALLIMITFORTHESiO2THICKNESSINSILICONMOSDEVICES”,ScienceandTechnologyofSemiconductor-On-InsulatorStructuresandDevicesOperatinginaHarshEnvironment,Volume185oftheseriesNATOScienceSeriesII:Mathematics,PhysicsandChemistrypp309-320.
技术实现思路
专利技术所要解决的课题本专利技术提供一种节能性优良的氢传感器。用于解决课题的手段本专利技术的一方式涉及一种氢传感器，其具有：第1电极；第2电极；金属氧化物层，其配置于所述第1电极和所述第2电极之间，且本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氢传感器，其具有：第1电极；第2电极；金属氧化物层，其配置于所述第1电极和所述第2电极之间，其包括块状区域、和被所述块状区域包围且具有比所述块状区域大的氧缺位度的局部区域；第1绝缘膜，其覆盖所述第1电极、所述第2电极以及所述金属氧化物层，且具有达到所述第2电极的开口；以及第2绝缘膜，其在所述开口内与所述第2电极接触。

【技术特征摘要】
2016.03.18 JP 2016-0561151.一种氢传感器，其具有：第1电极；第2电极；金属氧化物层，其配置于所述第1电极和所述第2电极之间，其包括块状区域、和被所述块状区域包围且具有比所述块状区域大的氧缺位度的局部区域；第1绝缘膜，其覆盖所述第1电极、所述第2电极以及所述金属氧化物层，且具有达到所述第2电极的开口；以及第2绝缘膜，其在所述开口内与所述第2电极接触。2.根据权利要求1所述的氢传感器，其中，所述第2绝缘膜的膜厚比所述第1绝缘膜的膜厚薄；所述第2绝缘膜进一步与所述第1绝缘膜的主面、和所述开口的内周面接触。3.根据权利要求1所述的氢传感器，其中，从垂直于所述第2电极的主面的方向上看，所述局部区域位于所述开口的内侧。4.根据权利要求1所述的氢传感器，其中，所述第2绝缘膜选择性地透过氢分子；规定量的氢分子透过所述第2绝缘膜而与所述第2电极接触时，所述第1电极和所述第2电极之间的电阻值降低。5.根据权利要求4所述的氢传感器，其中，所述第2绝缘膜为硅氧化膜。6.根据权利要求5所述的氢传感器，其中，所述硅氧化膜的膜厚为8.5nm以下。7.根据权利要求6所述的氢传感器，其中，所述硅氧化膜的膜厚为0.5nm以上。8.根据权利要求1～7中任一项所述的氢传感器，其中，所述第2绝缘膜为硅氧化膜、硅氮化膜、硅氮氧化膜或者氧化铝膜。9.根据权利要求1～7中任一项所述的氢传感器，其中，所述金属氧化物层具有：第1金属氧化物层，其与第1电极接触，具有比所述块状区域大的氧缺位度；以及第2金属氧化物层，其与第2电极接触，且包含所述块状区域；其中，所述局部区域与所述第2电极接触，且贯通所述第2金属氧化物层。10.根据权利要求1～7中任一项所述的氢传感器，其中，所述第2电极具有由氢分子离解出氢原子的催化作用。11.根据权利要求10所述的氢传感器，其中，所述第2电极含有铂或者钯。12.根据权利要求1～7中任一项所述的氢传感器，其中，所述金属氧化物层含有选自过渡金属氧化物以及铝氧化物之中的至少1种。13.根据权利要求12所述的氢传感器，其中，所述金属氧化物层含有选自钽氧化物、铪氧化物、锆氧化物以及铝氧化物之中的至少1种。14.根据权利要求1～7中任一项所述的氢传感器，其中，所述金属氧化物层的电阻值基于在所述第1电极和所述第2电极之间施加的电压而可逆地发生转变。15.根据权利要求1～7中任一项所述的氢传感器，其中，所述第1绝缘膜和所述第2绝缘膜由相同的材料构成。16.根据权利要求1～7中任一项所述的氢传感器，其中，所述氢传感器进一步具有用于测定所述第1电极和所述第2电极之间的电阻值的测定电路。17.根据权利要求1～7中任一项所述的氢传感器，其中，所述氢传感器进一步具有在所述第1电极和所述第2电极之间施加电压的电源电路。18.根据权利要求17所述的氢传感器，其中，所述电源电路通过所述电压的施加而使所述局部区域发热。19.根据权利要求1～7中任一项所述的氢传感器，其中，所述氢传感器进一步具有贯通所述第1绝缘膜而与所述第2电极连接的导电性柱。20.根据权利要求19所述的氢传感器，其中，所述氢传感器进一步具有与所述导电性柱连接的布线；所述第2绝缘膜覆盖所述导电性柱和所述布线。21.一种燃料电池汽车，其具有：储存氢气的罐，燃料电池，以及权利要求1～7中任一项所述的氢传感器。22.一种氢传感器，其具有：第1电极；第2电极；金属氧化物层，其配置于所述第1电极和所述第2电极之间，其包括块状区域、和被所述块状区域包围且具有比所述块状区域大的氧缺位度的局部区域；第1绝缘膜，其夹着所述第2电极而与所述金属氧化物层相对置；以及第2绝缘膜，其覆盖所述第1电极、所述第2电极、所述金属氧化物层以及所述第1绝缘膜，且具有达到所述第1绝缘膜的开口。23.根据权利要求22所述的氢传感器，其中，所述第1绝缘膜的膜厚比所述第2绝缘膜的膜厚薄。24.根据权利要求22所述的氢传...

【专利技术属性】
技术研发人员：本间运也，魏志强，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP