物联网射频收发组件中光热电磁振动自供电微纳传感器制造技术

本发明专利技术是一种物联网射频收发组件中光热电磁振动自供电微纳传感器，由一组尺寸相同的固支梁并排排列构成，固支梁的锚区分别固定在砷化镓衬底上，固支梁的底层是氮化硅层，氮化硅层上面是下极板，下极板上面是压电材料，压电材料上面是上极板，在固支梁下表面制作有天线结构，在固支梁周围环绕有竖立的MEMS热电堆，在固支梁上的中间设有ZnO/p-Si纳米级异质结，在ZnO/p-Si纳米级异质结的两侧的固支梁部分设有圆孔。本发明专利技术能够同时收集光能，热能，电磁能和振动能，有效降低射频收发组件的功耗，同时通过对热能、电磁能和振动能的收集，改善了射频收发组件的散热问题和电磁兼容问题，抑制了射频收发组件工作中的抖动，能有效的保证射频收发组件工作的稳定性。

Light and power electromagnetic vibration self powered micro nano sensor in radio frequency transceiver component of Internet of things

The present invention relates to a IOT thermal electromagnetic vibration RF transceiver module in self powered micro nano sensor, consisting of a group of the same size as the clamped beam are arranged side by side, fixed beam anchorage zone are respectively fixed on the GaAs substrate, the solid beam bottom layer is a silicon nitride layer on the silicon nitride layer is the bottom plate, the bottom plate is above the piezoelectric material, piezoelectric material is above the upper plate, the clamped beam is made on the surface of the antenna structure in vertical MEMS thermopile surrounding clamped beam, ZnO/p-Si nano heterojunction is arranged in the middle of a clamped clamped beam, the clamped beam part on both sides of ZnO/p-Si nano heterojunction the node is provided with a circular hole. The invention can simultaneously collect light, heat, electromagnetic energy and vibration can effectively reduce power consumption, RF transceiver module, at the same time through the thermal, electromagnetic energy and vibration energy collection, the compatible problem of improving heat dissipation and the electromagnetic RF transceiver module, RF transceiver module in suppressing jitter, stability of RF transceiver module ensure the work.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术提出了物联网射频收发组件中光/热/电磁/振动自供电微纳传感器，属于微电子机械系统的

技术介绍
物联网是新一代信息技术的重要组成部分,随着物联网技术的研发和产业的发展,应用于物联网的射频收发组件被要求能够长时间低功耗的工作。因而，自供电技术对新一代射频收发组件实现这种目标将具有重大的意义。自供电传感器的能量来源有很多种，最为普遍的就是光能。同时，一般来说，射频收发组件消耗的功率不仅仅是用来供其工作，还有一部分不可避免的以发热、杂散波还有振动的形式被损失掉。这一部分能量若能被利用，将能大大改善射频收发组件的功耗问题，同时还能避免这些不必要的发热、杂散波和振动对射频收发组件的工作产生影响。因此，自供电传感器也可以利用收集这些能量来为电路提供辅助电源。光能一般是采用光电材料制作成PN结或者异质结来收集，在光能收集方面，有大量的研究应用，发展比较成熟。随着MEMS技术发展，利用MEMS热电堆的seeback效应来收集热能并加以利用已成为可能。杂散波的收集一般可以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物联网射频收发组件中光热电磁振动自供电微纳传感器，其特征是该微纳传感器由一组尺寸相同的固支梁（1）并排排列构成，以砷化镓衬底（4）为基底，砷化镓衬底（4）以下是导热块（14），固支梁的锚区（3）的两端分别固定在砷化镓衬底（4）上，固支梁（1）的基层是氮化硅层（5），氮化硅层（5）上面是下极板（9），下极板（9）上面是压电材料（7），压电材料（7）上面是上极板（8），在固支梁（1）下表面制作有天线结构（12），在固支梁（1）周围环绕有竖立的MEMS热电堆（13），在固支梁（1）上的中间设有ZnO/p‑Si纳米级异质结（2），固支梁（1）上靠近锚区的两侧设有圆孔（6）。

【技术特征摘要】
1.一种物联网射频收发组件中光热电磁振动自供电微纳传感器，其特征是
该微纳传感器由一组尺寸相同的固支梁（1）并排排列构成，以砷化镓衬底（4）
为基底，砷化镓衬底（4）以下是导热块（14），固支梁的锚区（3）的两端分别
固定在砷化镓衬底（4）上，固支梁（1）的基层是氮化硅层（5），氮化硅层（5）
上面是下极板（9），下极板（9）上面是压电材料（7），压电材料（7）上面是上
极板（8），在固支梁（1）下表面制作有天线结构（12），在固支梁（1）周围环
绕有竖立的ME...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖小平，王凯悦，张志强，张家雨，万能，易真翔，廖晨，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32