The present invention relates to an image sensor based on an intermediate layer and a test system for high-speed image acquisition. More specifically, the invention includes an intermediate layer, its placement in the surface of the substrate; the light sensing sensor array, its placement in the intermediate layer, light sensing sensor array by back thinning and configured for back lighting, light sensing array sensor includes a pixel column; one or more circuit elements, the configured to amplify light sensing output array sensor, amplifying circuit operatively connected to the intermediate layer; one or more analog / digital conversion circuit configured to convert the output light sensing array sensor into digital signal, ADC circuit element is operatively connected to the intermediate layer; one or more drive circuit configured to drive the clock or the control signal of sensor array, the intermediary layer is configured to electrically coupled light sensing array sensor, amplifying circuit, switching circuit, driver circuit Or at least two of one or more additional circuits.
【技术实现步骤摘要】
用于高速图像获取的基于中介层的成像传感器及检验系统本申请是专利技术名称为“用于高速图像获取的基于中介层的成像传感器及检验系统”,申请号为201280053244.5,申请日为2012年9月19日的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术大体来说涉及适合在半导体检验系统中实施的成像传感器,且更特定来说,涉及在硅中介层架构中制作的基于电荷耦合装置的成像传感器。
技术介绍
随着对经改进检验能力的需求不断增加,对经改进图像传感器装置的需求也将增加。通常,检验系统利用每个传感器配备有多个读出寄存器的区域传感器,借此每一读出寄存器循序地输出16、32或更多列。就这一点来说,典型检验系统可使用一个或两个传感器阵列。由于电荷耦合装置(CCD)的低噪声及高量子效率,当前检验技术中所包含的图像传感器通常包含电荷耦合装置。另外,典型传感器阵列可经背部薄化且从背部照明,以便最大化量子效率,此在短(深UV)波长下是特别有利的。典型阵列传感器沿所述传感器的每一侧可由数百到数千个像素组成。像素维度通常近似为约10μm与约20μm之间。通常,每一图像传感器安装于电路板上或连接到电路板。所述电路板可含有用于驱动各种时钟及栅极信号的驱动器、放大器、双重相关取样电路及用于将模拟信号转换为数字信号的数字化器。所述电路板还可包含用于将数字信号发射到相关联图像处理计算机的发射器。在一些情况中,可将多达16个数字化器安装在具有图像传感器的组合件内部以便与将数字化器安装在电路板上相比帮助减少传感器的输出与数字化器的输入之间的电容。然而,现有技术的检验系统的速度限制为约每秒109个像素,其中缩放能力接近每 ...
【技术保护点】
一种基于中介层的图像感测装置,其包括:至少一个中介层,其安置于衬底的表面上;至少一个光感测阵列传感器,其安置于所述至少一个中介层上,所述至少一个光感测阵列传感器经背部薄化,所述至少一个光感测阵列传感器经配置用于背部照明,所述至少一个光感测阵列传感器包含多个像素列,所述至少一个中介层位于所述衬底和所述至少一个光感测阵列传感器之间;至少两个模/数转换电路元件,其经配置以将所述至少一个光感测阵列传感器的一个或多个输出转换为一个或多个数字信号,所述至少两个模/数转换电路制作于所述中介层上;以及至少一个多路复用器,其操作地连接到所述中介层且经配置以结合来自所述至少两个模/数转换电路的所述一个或多个数字信号,所述中介层经配置以将所述至少一个光感测阵列传感器与所述至少两个模/数转换电路进行电耦合。
【技术特征摘要】
2011.09.21 US 61/537,167;2012.09.18 US 13/622,1551.一种基于中介层的图像感测装置,其包括:至少一个中介层,其安置于衬底的表面上;至少一个光感测阵列传感器,其安置于所述至少一个中介层上,所述至少一个光感测阵列传感器经背部薄化,所述至少一个光感测阵列传感器经配置用于背部照明,所述至少一个光感测阵列传感器包含多个像素列,所述至少一个中介层位于所述衬底和所述至少一个光感测阵列传感器之间;至少两个模/数转换电路元件,其经配置以将所述至少一个光感测阵列传感器的一个或多个输出转换为一个或多个数字信号,所述至少两个模/数转换电路制作于所述中介层上;以及至少一个多路复用器,其操作地连接到所述中介层且经配置以结合来自所述至少两个模/数转换电路的所述一个或多个数字信号,所述中介层经配置以将所述至少一个光感测阵列传感器与所述至少两个模/数转换电路进行电耦合。2.根据权利要求1所述的装置,其中所述至少一个多路复用器制作于所述中介层上。3.根据权利要求1所述的装置,其进一步包括至少一个驱动器电路元件,所述至少一个驱动器电路元件经配置以驱动时钟信号或所述至少一个光感测阵列传感器的控制信号中的至少一者,所述至少一个驱动器电路元件操作地连接到所述中介层。4.一种基于中介层的图像感测装置,其包括:至少一个中介层,其安置于衬底的表面上;至少一个光感测阵列传感器,其安置于所述至少一个中介层上,所述至少一个光感测阵列传感器经背部薄化,所述至少一个光感测阵列传感器经配置用于背部照明,所述至少一个光感测阵列传感器包含多个像素列,所述至少一个中介层位于所述衬底和所述至少一个光感测阵列传感器之间;至少两个缓冲器电路,其经配置以接受所述至少一个光感测阵列传感器的输出,所述至少两个缓冲器电路制作于所述中介层上;以及至少两个相关双重取样模块,其操作地连接到所述中介层且经配置以接受来自所述至少两个缓冲器电路的一个或多个输出,所述中介层经配置以将每一缓冲器放置到接近于电耦合到所述中介层的所述至少一个光感测阵列传感器的输出。5.根据权利要求4所述的装置,其进一步包括至少两个模/数转换电路元件,所述至少两个模/数转换器电路元件经配置以将所述至少两个双重相关取样模块中的一个或多个输出转换为一个或多个数字信号,所述至少两个模/数转换电路操作地连接到所述中介层。6.一种检验系统,其包括:照明源,其经配置以朝向安置于样本载台上的目标物体的表面引导照明;检测器,所述检测器包括至少一个光感测阵列装置,所述至少一个光感测阵列装置包括:安置于至少一个中介层上的至少一个经背部薄化的光感测阵列传感器,所述至少一个经背部薄化的光感测阵列传感器进一步经配置用于背部照明,所述至少一个中介层位于所述衬底与所述至少一个光感测阵列传感器之间;至少两个模/数转换电路元件,其制作于所述至少一个中介层...
【专利技术属性】
技术研发人员:戴维·L·布朗,国武·郑,勇霍·亚历克斯·庄,芬卡特拉曼·伊艾,
申请(专利权)人:科磊股份有限公司,
类型:发明
国别省市:美国,US
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