静电夹具制造技术

本文提供静电夹具的实施方式。在一些实施方式中，用于固定基板的静电夹具包括：底板；陶瓷板，陶瓷板由所述底板支撑，陶瓷板具有基板支撑表面；多个第一电极，所述多个第一电极设置于陶瓷板内，所述多个第一电极具有第一极性；以及多个第二电极，所述多个第二电极设置于陶瓷板内，所述多个第二电极具有与第一极性相反的第二极性，其中多个第一电极与多个第二电极是独立可控的以提供所期望的夹持功率与频率。

Electrostatic fixture

This paper provides an approach to the implementation of electrostatic fixtures. In some embodiments, for electrostatic chuck fixing substrate comprises a soleplate; ceramic plates, ceramic plates supported by the bottom plate, the ceramic plate has a substrate support surface; a plurality of first electrodes, wherein a plurality of first electrodes arranged on the ceramic plate, the first electrode has a first polarity; and a plurality of second electrodes, the second electrode is arranged on the ceramic plate, wherein a plurality of second electrodes having a second polarity opposite to the first polarity, wherein a plurality of first electrodes and a plurality of second electrodes are independently controllable to provide the desired clamping power and frequency.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施方式大体涉及用于支撑基板的静电夹具。
技术介绍
静电夹具可被用来固定基板至基板支撑件，所述基板将被处理。静电夹具的元件可包括电极与沟槽(groove)，电极固定基板，沟槽设置在静电夹具的表面中以提供背侧气体(backsidegas)至基板背侧表面。典型的静电夹具可包括提供强夹持(chucking)力的电极，但在卸夹持时无法为部分夹持提供控制。另外，这些电极能从一端到另一端产生不均匀的夹持力。此外，在一些具有沟槽的静电夹具中，在基板的中心与边缘的降温速率可能是不适当的。此外，可在基板下方的气体沟槽中看到电弧放电。静电夹具的这些元件可影响基板的处理。因此，本文提供改进的静电夹具设计。
技术实现思路
在此提供静电夹具的实施方式。在一些实施方式中，用于固定基板的静电夹具包括：底板(baseplate)；陶瓷板，陶瓷板由底板支撑，陶瓷板具有基板支撑表面；多个第一电极，所述多个第一电极设置于陶瓷板内，所述多个第一电极具有第一极性；以及多个第二电极，所述多个第二电极本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于固定基板的静电夹具，所述静电夹具包括：底板；陶瓷板，所述陶瓷板由所述底板支撑，所述陶瓷板具有基板支撑表面；多个第一电极，所述多个第一电极设置于所述陶瓷板内，所述多个第一电极具有第一极性；以及多个第二电极，所述多个第二电极设置于所述陶瓷板内，所述多个第二电极具有与所述第一极性相反的第二极性，其中所述多个第一电极和所述多个第二电极是独立可控的，以提供期望的夹持功率和频率。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.09.30 US 61/542,068;2012.09.28 US 13/630,1361.一种用于固定基板的静电夹具，所述静电夹具包括：
底板；
陶瓷板，所述陶瓷板由所述底板支撑，所述陶瓷板具有基板支撑表面；
多个第一电极，所述多个第一电极设置于所述陶瓷板内，所述多个第一电
极具有第一极性；以及
多个第二电极，所述多个第二电极设置于所述陶瓷板内，所述多个第二电
极具有与所述第一极性相反的第二极性，其中所述多个第一电极和所述多个第
二电极是独立可控的，以提供期望的夹持功率和频率。
2.如权利要求1所述的静电夹具，其中所述多个第一电极和所述多个第二
电极被设置在同轴图案中以使得所述多个第一电极和所述多个第二电极包括
围绕多个内部电极设置的多个外部电极。
3.如权利要求1所述的静电夹具，其中所述多个第一电极和所述多个第二
电极被设置在所述陶瓷板的四个四分之一圆中，且其中所述陶瓷板的每个四分
之一圆都包括一个外部电极，所述外部电极设置在一个内部电极的径向外侧。
4.如权利要求1至3的任一项所述的静电夹具，其中各相邻电极的极性彼
此相反，以致没有两相邻电极具有相同极性。
5.如权利要求1所述的静电夹具，其中所述多个第一电极和所述多个第二
电极围绕所述陶瓷板交替排列在径向图案中，以致没有两相邻电极具有相同极
性。
6.如权利要求5所述的静电夹具，其中每个电极占据区域，所述区域介于
所述陶瓷板的中心与所述陶瓷板的外围边缘之间，所述区域由125度的径向角
界定。
7.如权利要求1所述的静电夹具，其中所述多个第一电极的每个第一电极
和所述多个第二电极的每个第二电极都是独立可控的。
8.如权利要求1至3和5至7的任一项所述的静电夹具，其中所述底板耦
接至基板支撑件的主体，其中所述主体包括中心开口，所述中心开口与所述静<...

【专利技术属性】
技术研发人员：维贾伊·D·帕克赫，史蒂芬·V·桑索尼，振雄·马修·蔡，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US