超声波辅助下的石英坩埚陶瓷坯体的制备方法技术

本发明专利技术提供一种超声波振动辅助下的石英坩埚陶瓷坯体的制备方法，属于石英陶瓷坩埚制备技术领域。该方法包括：将混合均匀的石英浆料倒入石膏模内，之后在浆料内插入超声振动棒，在超声波的辅助下，制备出致密的石英陶瓷坩埚坯体。本发明专利技术提出的技术方案降低坯体的气孔率，改善生坯强度，保证生坯的成品率，同时也增加成品的使用寿命。

Method for preparing ceramic body of quartz crucible by ultrasonic wave

The invention provides a preparation method of a quartz crucible ceramic body assisted by ultrasonic vibration, belonging to the technical field of the preparation of quartz ceramic crucibles. The method comprises the following steps: pouring a uniformly mixed quartz slurry into a gypsum mold; then inserting an ultrasonic vibrating bar into the slurry; and preparing a compact quartz ceramic crucible body with the assistance of ultrasound. The technical scheme of the invention reduces the stomatal body rate, improve the strength, ensure the rate of finished products, but also increase the service life of the product.

【技术实现步骤摘要】
超声波辅助下的石英坩埚陶瓷坯体的制备方法
本专利技术涉及石英陶瓷坩埚制备
，提供一种超声波振动辅助下的石英坩埚陶瓷坯体的制备方法。
技术介绍
晶体硅是目前主导半导体产业的关键材料，在晶体硅制备过程中，石英陶瓷坩埚又是晶硅铸锭炉的关键部件。这种用于盛装融熔硅并制成后续工序所需硅锭的容器，是拉制大直径单晶硅和多晶硅的消耗性器皿，是多晶硅铸锭和熔炼提纯过程中不可替代的关键配套部件之一。其制作质量不仅直接影响晶体硅的质量和产量，也间接影响产品的转换效率和稳定性。石英陶瓷坩埚因为生产技术难度大、原料纯度要求高、使用环境苛刻，在过去只有法国、美国及日本等几个国家可以大规模生产，采用的都是传统的注浆成型工艺。为打破技术垄断，近几年国内相关学者开展大量研发工作，取得不错的成绩。在注浆成型制备石英陶瓷坩埚过程中，仍存在生坯强度低，成品的闭口气孔率高，热抗震性差，壁厚不均匀等缺陷。纠其原因是传统注浆成型工艺的缺陷导致的，一是因为石英颗粒比重大，导致浆料悬浮性差；二是石英陶瓷坩埚尺寸大（600×600×400mm，900×900×500mm，壁厚15~20mm），石膏模壁吸水困难，导致侧壁和底部成分本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超声波振动辅助下的石英坩埚陶瓷坯体的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，称取高纯熔融石英原料及添加剂，混合均匀获得浆料；步骤二，将制备的浆料导入石膏模内，同时将固定频率和功率的超声棒放入浆料内超声；步骤三，待坯体到要求厚度，倒出多余浆料；步骤四，将坯体放入100℃的烘箱内干燥8‑12小时；步骤五，对干燥后的坯体进行修坯，进行端口磨平和倒角；步骤六，将修整好的坯在氧化气氛下烧结24‑36小时，烧结温度为1400‑1450℃，获得产品。

【技术特征摘要】
1.一种超声波振动辅助下的石英坩埚陶瓷坯体的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，称取高纯熔融石英原料及添加剂，混合均匀获得浆料；步骤二，将制备的浆料导入石膏模内，同时将固定频率和功率的超声棒放入浆料内超声；步骤三，待坯体到要求厚度，倒出多余浆料；步骤四，将坯体放入100℃的烘箱内干燥8-12小时；步骤五，对干燥后的坯体进行修坯，进行端口磨平和倒角；步骤六，将修整好的坯在氧化气氛下烧结24-36小...

【专利技术属性】
技术研发人员：章文，李建林，王连军，
申请(专利权)人：海南大学，
类型：发明
国别省市：海南,46