气液混合系统技术方案

一种气液混合系统，包括溶解气体膜、气体溶解腔体、第一液体管、第二液体管、第三液体管、侦测器以及液体流量控制阀；气体溶解腔体具有气体入口、气体出口、液体入口与液体出口；溶解气体膜在气体溶解腔体内隔出气体空间与液体空间；第一液体管连通液体入口以导入液体至液体空间；第二液体管连通液体出口；第三液体管连通第二液体管，第三液体管导入液体至第二液体管；侦测器设于第二液体管以侦测液体中的气体分子浓度；液体流量控制阀位于第三液体管，且通信连接于侦测器，液体流量控制阀根据气体分子浓度控制第三液体管内的液体流量。本实用新型专利技术的气液混合系统，解决了制作过程控制上的不便以及影响电子元件的生产效率的问题。

Gas-liquid mixed system

A gas-liquid mixing system, including dissolved gas film, dissolved gas cavity, a first liquid pipe, second liquid pipe, third liquid tube, detector and liquid flow control valve; dissolved gas cavity with gas, liquid, gas outlet entrance entrance and liquid outlet; dissolved gas membrane separated gas and liquid space space in dissolved gas cavity inside; the first liquid pipe is communicated with the liquid entrance to import liquid to liquid space; second liquid pipe is communicated with the liquid outlet pipe is communicated with the liquid liquid; third second tube, third to second liquid liquid liquid tube into the tube; a second liquid gas detector tube molecular detection in liquid concentration; the liquid flow control valve in the third fluid pipe, and the communication is connected to the detector, liquid flow control valve according to the gas concentration control liquid flow of liquid within the tube third. The gas liquid mixing system of the utility model solves the inconvenience of the manufacturing process control and the production efficiency of the electronic component.

【技术实现步骤摘要】
气液混合系统
本技术涉及一种气液混合系统，尤其涉及一种可调整溶解于液体中的气体分子浓度的气液混合系统。
技术介绍
在电子元件制作过程中，为了避免污染影响产品的良率，使用去离子水作为超纯水源以调制各种不同的溶液。电子元件制作过程中的部分步骤使用的溶液，是由气液混合系统将特定种类气体溶于去离子水中所调制而成。目前常用的气液混合系统在根据监控结果调整液体中的气体溶解度时，通过调整通入液体中的气体量以调整液体中的气体溶解度。然而，由于气体溶入液体中的速度较慢，使得液体中的气体溶解度无法被快速地调整至预定范围，造成制作过程控制上的不便，进而影响电子元件的生产效率。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于，针对现有技术的不足提供一种气液混合系统，用以解决调整液体中的气体溶解度的速度过慢所衍伸出的问题。本技术所要解决的技术问题是通过如下技术方案实现的：本技术的气液混合系统，包括一溶解气体膜、一气体溶解腔体、一第一液体管、一第二液体管、一第三液体管、一侦测器以及一液体流量控制阀；溶解气体膜用于使一气体穿过而溶解于一液体中；气体溶解腔体具有一气体入口、一气体出口、一液体入口与一液体出口，溶解气体膜设置于气本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气液混合系统，其特征在于，包括：使一气体穿过而溶解于一液体中的溶解气体膜；一气体溶解腔体，具有一气体入口、一气体出口、一液体入口与一液体出口，该溶解气体膜设置于该气体溶解腔体中以形成一气体空间与一液体空间，该气体入口与该气体出口连通于该气体空间，该液体入口与该液体出口连通于该液体空间，该气体入口用以自一气体源引入该气体；一第一液体管，连通于该液体入口，该第一液体管用以自一液体源引入该液体；一第二液体管，连通于该液体出口；一第三液体管，连通该第二液体管，该第三液体管用以导入该液体至该第二液体管；一侦测器，设置于该第二液体管，且该第三液体管连通该第二液体管的位置位于该液体出口与该侦测器之间，该...

【技术特征摘要】
1.一种气液混合系统，其特征在于，包括：使一气体穿过而溶解于一液体中的溶解气体膜；一气体溶解腔体，具有一气体入口、一气体出口、一液体入口与一液体出口，该溶解气体膜设置于该气体溶解腔体中以形成一气体空间与一液体空间，该气体入口与该气体出口连通于该气体空间，该液体入口与该液体出口连通于该液体空间，该气体入口用以自一气体源引入该气体；一第一液体管，连通于该液体入口，该第一液体管用以自一液体源引入该液体；一第二液体管，连通于该液体出口；一第三液体管，连通该第二液体管，该第三液体管用以导入该液体至该第二液体管；一侦测器，设置于该第二液体管，且该第三液体管连通该第二液体管的位置位于该液体出口与该侦测器之间，该侦测器用以侦测该气体于该液体中的一气体分子浓度；以及一液体流量控制阀，位于该第三液体管，且该液体流量控制阀通信连接于所述侦测器，该液体流量控制阀用以根据所述气体分子浓度控制所述第三液体管内的一液体流量。2.如权利要求1所述的气液混合系统，其特征在于，该第三液体管连通该第一液体管与该第二液体管，该第三液体管用以自该第一液体管导入该液体至该第二液体管。3.如权利要求1所述的气液混合系统，其特征在于，包括：一液体排放管，连通于该第二液体管，且该侦测器位于该液体排放管与该第二液体管连通的位置以及该液体出口之间；以及一液体排放控制阀，设置于该液体排放管，该液体排放控制阀用以开启与关闭该液体排放管。4.如权利要求1所述的气液混合系统，其特征在于，更包括一气体管，该气体管连通该气体源与该气体入口。5.如权利要求4所述的气液混合系统，其特征在于，更包括一气体流量控制器，该气体流量控制器设置于该气体管，且该气体流量控制器用以控制该气体...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱校兴，
申请(专利权)人：晟登系科有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71