一种声音传感器制造技术

本发明专利技术提供了一种声音传感器，所述声音传感器包括：基底；形成于所述基底表面的纵波发射元件；形成于所述基底表面且与所述纵波发射元件之间具有一预设距离的纵波探测元件，用于探测所述纵波发射元件所发射的纵波信号；形成于所述纵波发射元件和所述纵波探测元件表面的声音感测膜，用于感测外界的声音信号；其中，所述纵波发射元件根据所述外界的声音信号发射所述纵波信号，以将所述外界的声音信号增大，产生声音增大信号。本发明专利技术的声音传感装置通过纵波发射元件和纵波探测元件能够将所述外界的声音信号进行增大，通过设置弹性件，能够使得声音传感器的粘附性能以及落下耐性极大增加。

A sound sensor

The present invention provides a sound sensor, the sound sensor includes: a substrate; wave emitting element is formed on the surface of the substrate; forming between the substrate surface and the longitudinal launching device has a predetermined distance of the P-wave detecting element used for detecting the emission of longitudinal wave signals emitted by the element; formed in the compressional wave radiation element and the longitudinal wave detection element surface sound sensing film for sensing external voice signal; among them, the longitudinal wave emission element according to the external sound signal emitted by the wave signal to the sound signal outside increases, increasing the signal to produce a sound. The sound sensing device of the invention by wave emitting element and wave detecting element can be voice signals of the outside world are increased, by setting the elastic piece, can make the adhesion performance of sound sensor and fallen tolerance greatly increased.

【技术实现步骤摘要】
一种声音传感器
本专利技术涉及传感器领域，具体涉及一种声音传感器。
技术介绍
作为静电电容方式的声音传感器，现有技术公开的传感器中，通过使薄膜的膜片和设于背板的固定电极膜隔开微小的气隙而相对，构成电容器。而且，当通过声振动使膜片振动时，因该振动而使膜片与固定电极膜的间隙距离发生变化，因此，通过检测此时的膜片与固定电极膜之间的静电电容的变化，检测声振动。在这种静电电容方式的声音传感器中，在其制造工序及使用中，往往将膜片固着在固定电极膜上(以下将膜片的一部分或大致整体固着在固定电极膜上消除缝隙的状态、或其现象称作粘附)。当膜片粘附于固定电极膜上时，防碍膜片的振动，因此，存在不能通过声音传感器检测声振动的问题。在声音传感器上产生粘附的原因如下。在声音传感器的制造工序、例如保护层蚀刻后的清洗工序中，水分会浸入膜片与固定电极膜之间的气隙。另外，在声音传感器的使用中，会在膜片与固定电极膜之间的气隙因湿气或水润湿而也浸入水分。另一方面，声音传感器的缝隙距离仅为数μm，而且，膜片的膜厚仅为1μm程度，弹性较弱。因此，当水分浸入气隙时，因其毛细管力乃至表面张力而使膜片吸附在固定电极膜上(将其称作粘附的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种声音传感器，其特征在于，所述声音传感器包括：基底；形成于所述基底表面的纵波发射元件；形成于所述基底表面且与所述纵波发射元件之间具有一预设距离的纵波探测元件，用于探测所述纵波发射元件所发射的纵波信号；形成于所述纵波发射元件和所述纵波探测元件表面的声音感测膜，用于感测外界的声音信号；其中，所述纵波发射元件根据所述外界的声音信号发射所述纵波信号，以将所述外界的声音信号增大，产生声音增大信号。

【技术特征摘要】
1.一种声音传感器，其特征在于，所述声音传感器包括：基底；形成于所述基底表面的纵波发射元件；形成于所述基底表面且与所述纵波发射元件之间具有一预设距离的纵波探测元件，用于探测所述纵波发射元件所发射的纵波信号；形成于所述纵波发射元件和所述纵波探测元件表面的声音感测膜，用于感测外界的声音信号；其中，所述纵波发射元件根据所述外界的声音信号发射所述纵波信号，以将所述外界的声音信号增大，产生声音增大信号。2.根据权利要求1所述的声音传感器，其特征在于，所述声音传感器还包括：形成于所述声音感测膜表面的弹性件，用于吸收外界的作用力；其中，所述弹性件选择成能够缓冲外界作用力，且不减弱所述外界的声音信号的材料。3.根据权利要求1或2所述的声音传感器，其特征在于，所述纵波发射元件的数量为多个，所述纵波探测元件的数量为一个...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄晓敏，
申请(专利权)人：黄晓敏，
类型：发明
国别省市：广东,44