一种湿法制备圆角化金字塔的方法技术

本发明专利技术涉及一种湿法制备圆角化金字塔的方法。具体地，所述方法包括如下步骤：1)提供圆角化处理液和具有金字塔结构的硅片；2)在所述圆角化处理液中湿法处理所述具有金字塔结构的硅片，得到具有圆角化金字塔结构的硅片，其中，所述圆角化处理液包含如下组分：氢氟酸(HF)、硝酸(HNO3)和醋酸(CH3COOH)，其中，氢氟酸、硝酸和醋酸的体积比为1‑7：35‑100：15‑120，醋酸在所述圆角化处理液中的体积含量为7‑77％。所述方法可有效圆角化金字塔，并降低所得产物的缺陷态。

Method for preparing round keratinized Pyramid by wet method

The invention relates to a method for preparing a round keratinized Pyramid by wet method. Specifically, the method comprises the following steps: 1) provide the fillet of the processing liquid and silicon wafer with Pyramid structure; 2) in the silicon chip filleting wet processing treatment liquid has the advantages of Pyramid structure, obtained with silicon, the fillet of the Pyramid structure in which the rounded solution contains the following groups points: hydrofluoric acid (HF), nitrate (HNO3) and acetic acid (CH3COOH), wherein, hydrofluoric acid, nitric acid and acetic acid in the volume ratio of 1 7:35 100:15 120 acetic acid in the rounded processing volume content in liquid is 7 77%. The method can effectively fillet Pyramid and reduce the defect state of the resultant product.

【技术实现步骤摘要】
一种湿法制备圆角化金字塔的方法
本专利技术涉及材料领域，尤其是太阳能电池领域，具体地涉及一种湿法制备圆角化(rounding)金字塔的方法。
技术介绍
在太阳能电池领域中，为了得到较好的陷光效果，常利用碱对单晶硅进行各向异性腐蚀制备金字塔陷光结构，提高器件的短路电流密度，进而提升器件的效率。随后采用等离子体增强气相沉积(PECVD)在制绒硅片表面沉积钝化膜(非晶硅、氮化硅、或氧化硅等)，以降低表面复合。制绒表面的形貌对钝化效果的优劣产生显著影响。下文以HIT(HeterojunctionwithintrinsicThinlayer)电池为例具体说明问题。对于HIT电池，通常采用等离子体增强气相沉积(PECVD)在硅片表面沉积高质量的非晶硅钝化薄膜。然而5-15nm厚度的非晶硅的质量的好坏受到沉积温度、沉积速率和硅片表面形貌等的影响。具体来说，经过圆角化重构的金字塔，有利于提升薄膜的钝化质量，降低表面复合速率。一般来说，经过圆角化处理的表面，器件的隐含开路电压(iVoc)可以提高10-30mV。针对硅表面形貌对非晶硅质量的影响，现有技术常采用氢氟酸/硝酸(HF/HNO3)水溶液对单晶硅本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种湿法制备圆角化金字塔的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：1)提供圆角化处理液和具有金字塔结构的硅片；2)在所述圆角化处理液中湿法处理所述具有金字塔结构的硅片，得到具有圆角化金字塔结构的硅片，其中，所述圆角化处理液包含如下组分：氢氟酸(HF)、硝酸(HNO3)和醋酸(CH3COOH)，其中，氢氟酸和硝酸的体积比为1‑7：35‑100，醋酸在所述圆角化处理液中的体积含量为7‑77％。

【技术特征摘要】
1.一种湿法制备圆角化金字塔的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：1)提供圆角化处理液和具有金字塔结构的硅片；2)在所述圆角化处理液中湿法处理所述具有金字塔结构的硅片，得到具有圆角化金字塔结构的硅片，其中，所述圆角化处理液包含如下组分：氢氟酸(HF)、硝酸(HNO3)和醋酸(CH3COOH)，其中，氢氟酸和硝酸的体积比为1-7：35-100，醋酸在所述圆角化处理液中的体积含量为7-77％。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述圆角化处理液中，氢氟酸、硝酸和醋酸的体积比为1-7：35-100：15-120。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述圆角化处理液还包含表面活性剂，所述表面活性剂选自下组：离子型表面活性剂、非离子型表面活性剂、或其组合。4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述离子型表面活性剂选自下组：柠檬酸、月桂醇硫酸钠、或其组合；和/或所述非离子型表面活性剂选自下组：聚氧化乙烯(PEO)、烷基酚聚氧乙烯醚、或其组合。5.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶继春，王丹，曾俞衡，高平奇，廖明墩，韩灿，童慧，
申请(专利权)人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，
类型：发明
国别省市：浙江,33