一种太阳能电池片制绒质量检测方法技术

本发明专利技术提供了一种太阳能电池片制绒质量检测方法，包括以下步骤：在待测制绒硅片上确定检测区域；用OCT系统对检测区域进行扫描，得到检测区域的三维图像；通过对图像进行处理得到制绒硅片上绒面的均匀性情况以及反射率信息；通过绒面均匀性和反射率参数来综合评价电池片制绒质量。本发明专利技术可以实现非接触、无损伤、高灵敏度、微米量级分辨率、实时的检测，大大降低了检测成本；本发明专利技术方法不仅能够得到绒面金字塔峰不同高度的分布情况，判断绒面均匀性，且能够同时得到制绒硅片反射率信息，判断硅片陷光能力，从而更加方便和全面的判断制绒效果的好坏。

Method for detecting quality of solar cell chip making

The invention provides a solar cell etching quality detection method, which comprises the following steps: determining the detection area to be measured on the wafer to scan down; the detection area by using OCT system, three-dimensional image detection area; based on image processing to get the uniformity of etching on the silicon chip surface and reflectance information to evaluate the cell; the wool quality by suede uniformity and reflectance parameters. The invention can realize the non-contact, non-invasive, high sensitivity, micron resolution, real-time detection, the detection cost is greatly reduced; the distribution method of the invention can not only get the different height of the Pyramid peak suede, suede judging uniformity, and can also get the texturing silicon reflectivity information, determine the silicon light trapping ability. Which is more convenient and comprehensive judgment of the texturing effect.

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池片制绒质量检测方法
本专利技术涉及太阳能电池片检测领域，具体涉及一种太阳能电池片制绒质量检测方法。
技术介绍
太阳能电池是一种利用光电效应，在半导体上将吸收到的太阳光转化成电能的器件。随着化石能源的不断减少和环境恶化的不断加剧，以太阳能为代表的可再生能源的发展受到越来越多的重视。目前，已经发展出许多种类的太阳电池，按照使用的基本材料不同，太阳电池可分为硅太阳电池、化合物太阳电池、染料敏化电池和有机薄膜电池几种。其中，晶硅太阳电池是发展最快且最为成熟的一类，目前实验室的最高效率可达25%。太阳电池的光电转化效率和使用寿命是评价太阳电池性能的重要指标，它们会受到多重因素的影响，如组建太阳电池的基底材料，另外，太阳电池的结构也会起到一个重要影响，例如为了增加太阳电池的陷光能力，会在硅基底的太阳电池上表面进行制绒，因此，对太阳电池的检测是评价太阳电池质量的重要途径。一般来讲，晶硅太阳电池的生产流程主要有：清洗制绒、扩散制结、周边刻蚀、蒸镀减反射膜、印刷电极、烧结、分类检测。其中，裸硅片制绒的目的是减少光的反射率，提高短路电流，最终提高电池的光电转换效率。对于单晶硅来说，制绒是利本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳能电池片制绒质量检测方法，其特征在于，包括以下步骤：a、在待测制绒硅片上确定检测区域；b、用OCT系统对检测区域进行扫描，得到检测区域的三维图像；c、对得到的三维图像进行处理得到绒面的均匀性情况，包括以下步骤：c‑1、采用边界识别算法从三维图像中提取出制绒硅片的上表面图像，并找到制绒表面的最低位置作为基准面；c‑2、通过边界识别算法找到制绒表面的局部极大值作为金字塔峰的位置，并以基准面为参考统计出峰的高度；c‑3、整理出各金字塔峰高度的比例，得到检测区域内峰高的分布情况；c‑4、通过若干不同位置的检测区域内峰高的分布情况，得到制绒硅片上绒面的均匀性情况；d、对检测区域的三维图像进行处理...

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池片制绒质量检测方法，其特征在于，包括以下步骤：a、在待测制绒硅片上确定检测区域；b、用OCT系统对检测区域进行扫描，得到检测区域的三维图像；c、对得到的三维图像进行处理得到绒面的均匀性情况，包括以下步骤：c-1、采用边界识别算法从三维图像中提取出制绒硅片的上表面图像，并找到制绒表面的最低位置作为基准面；c-2、通过边界识别算法找到制绒表面的局部极大值作为金字塔峰的位置，并以基准面为参考统计出峰的高度；c-3、整理出各金字塔峰高度的比例，得到检测区域内峰高的分布情况；c-4、通过若干不同位置的检测区域内峰高的分布情况，得到制绒硅片上绒面的均匀性情况；d、对检测区域的...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏亚，姚晓天，刘会清，
申请(专利权)人：河北大学，苏州光环科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河北,13