一种六氟化硫分解气的多参数综合监测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提出一种六氟化硫分解气的多参数综合监测装置，包括：送气‑回收装置；激光腔衰荡光谱气体衰荡腔，激光腔衰荡光谱气体衰荡腔与送气‑回收装置相连；激光器组和探测器，激光器组和探测器相对地与激光腔衰荡光谱气体衰荡腔相连；物理参数监测腔，物理参数监测腔与送气‑回收装置相连；物理参数传感器，物理参数传感器设在物理参数监测腔内用于检测六氟化硫的物理参数；信号采集控制模块，所述信号采集控制模块分别与所述激光器组、所述探测器和物理参数传感器相连。根据本发明专利技术实施例的六氟化硫分解气的多参数综合监测装置，结合激光腔衰荡光谱技术检测六氟化硫分解气的多参数，高精度、强集成性。

Multi parameter comprehensive monitoring device of six sulfur fluoride gas

The invention provides comprehensive multiple parameter monitoring device, a six fluoride gas sulfur recovery device includes: aspirated; laser cavity ringdown spectroscopy gas cavity ringdown laser cavity ringdown spectroscopy, gas cavity ringdown and aspirated recovery device is connected; laser group and detector, laser and detector relative to group and laser cavity ring on the spectrum of gas ring down cavity is connected; physical parameter monitoring cavity connected physical parameter monitoring and aspirated cavity recovery device; the physical parameters of the sensor, the physical parameters of sensor in monitoring physical parameters for cavity detection of six physical parameters of sulfur hexafluoride; signal acquisition control module, the signal acquisition control module is respectively connected with the laser group, the the probe is connected with the physical parameters of the sensor. According to the multi parameter comprehensive monitoring device six fluoride sulfur gas of an embodiment of the invention, combined with laser cavity ringdown spectroscopy multi parameter detection of six fluoride sulfur gas, high precision, strong integration.

【技术实现步骤摘要】
一种六氟化硫分解气的多参数综合监测装置
本专利技术涉及痕量气体多参数检测领域，特别是一种六氟化硫分解气的多参数综合监测装置。
技术介绍
目前针对SF6混合气体的故障特性研究已经开始逐步开展，但还处在用分析仪器的实验室研究，针对分解产物多参数的在线监测技术研究较少。同时SF6分解产物在绝缘电气中含量较低，缺乏一种高灵敏度、快速响应的多种分解组分浓度在线检测技术。本专利技术利用激光腔衰荡光谱技术检测六氟化硫分解气成分的浓度，结合分解气中温度、内部压力和纯度检测，实现快速、高精度、强集成性的多参数的综合在线监测与预警，为SF6绝缘电气的泄漏、故障实现早期预警和诊断。同时气路的闭式循环连接方式，可促进回收气的再利用，减少SF6排放造成的环境问题。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种结合激光腔衰荡光谱技术检测六氟化硫分解气的多参数、高精度、强集成性的六氟化硫分解气的多参数综合监测装置。根据本专利技术实施例的一种六氟化硫分解气的多参数综合监测装置，包括：送气-回收装置；激光腔衰荡光谱气体衰荡腔，所述激光腔衰荡光谱气体衰荡腔本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种六氟化硫分解气的多参数综合监测装置，其特征在于，包括：送气‑回收装置；激光腔衰荡光谱气体衰荡腔，所述激光腔衰荡光谱气体衰荡腔与所述送气‑回收装置相连，所述送气‑回收装置用于向所述激光腔衰荡光谱气体衰荡腔输送并回收六氟化硫以使所述激光腔衰荡光谱气体衰荡腔内的六氟化硫气量至少在监测时保持动态平衡；激光器组和探测器，所述激光器组和所述探测器相对地与所述激光腔衰荡光谱气体衰荡腔相连，其中，所述激光器组用于向所述激光腔衰荡光谱气体衰荡腔发射激光束，所述探测器用于探测所述激光腔衰荡光谱气体衰荡腔内产生的衰荡光谱；物理参数监测腔，所述物理参数监测腔与所述送气‑回收装置相连，所述送气‑回收装置用于向所述物...

【技术特征摘要】
1.一种六氟化硫分解气的多参数综合监测装置，其特征在于，包括：送气-回收装置；激光腔衰荡光谱气体衰荡腔，所述激光腔衰荡光谱气体衰荡腔与所述送气-回收装置相连，所述送气-回收装置用于向所述激光腔衰荡光谱气体衰荡腔输送并回收六氟化硫以使所述激光腔衰荡光谱气体衰荡腔内的六氟化硫气量至少在监测时保持动态平衡；激光器组和探测器，所述激光器组和所述探测器相对地与所述激光腔衰荡光谱气体衰荡腔相连，其中，所述激光器组用于向所述激光腔衰荡光谱气体衰荡腔发射激光束，所述探测器用于探测所述激光腔衰荡光谱气体衰荡腔内产生的衰荡光谱；物理参数监测腔，所述物理参数监测腔与所述送气-回收装置相连，所述送气-回收装置用于向所述物理参数监测腔输送并回收六氟化硫以使所述物理参数监测腔内的六氟化硫气量至少在监测时保持动态平衡；物理参数传感器，所述物理参数传感器设在所述物理参数监测腔内用于检测六氟化硫的物理参数；信号采集控制模块，所述信号采集控制模块分别与所述激光器组、所述探测器和物理参数传感器相连。2.根据权利要求1所述的六氟化硫分解气的多参数综合监测装置，其特征在于，还包括相对地设在所述激光腔衰荡光谱气体衰荡腔内的第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜邻近所述激光器组，所述第二反射镜邻近所述探测器。3.根据权利要求1所述的六氟化硫分解气的多参数综合监测装置，其特征在于，还包括激光驱动模块，所述激光驱动模块设在所述信号采集控制模块与所述激光器组之间以驱动所述激光器组输出多种波长的激光束。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：江翼，冯巧玲，姜萌，赵坤，张潮海，程林，聂德鑫，周竹君，张施令，苗玉龙，
申请(专利权)人：国网电力科学研究院武汉南瑞有限责任公司，北京航天控制仪器研究所，国网重庆市电力公司电力科学研究院，
类型：发明
国别省市：湖北,42