金属污染防止方法及金属污染防止装置、以及使用了它们的基板处理方法及基板处理装置制造方法及图纸

本申请涉及金属污染防止方法及金属污染防止装置、以及使用了它们的基板处理方法及基板处理装置。一种金属污染防止方法，其为在使用表面被由氧化铬形成的钝化膜覆盖的金属部件之前进行的金属污染防止方法，该方法具备如下工序：对覆盖前述金属部件的表面的前述钝化膜供给硝酸，使前述氧化铬与前述硝酸反应，而生成硝酸铬的工序；和，通过使该硝酸铬蒸发而自前述钝化膜去除铬的工序。

Metal contamination prevention method and metal pollution prevention device, substrate treatment method using the same, and substrate processing device

The invention relates to a method for preventing metal contamination and a metal pollution prevention device, a substrate treatment method using the same, and a substrate processing device. A method to prevent metal pollution, prevent metal pollution before metal parts cover the passivation film surface is in use by the formation of chromium oxide, this method has the following steps: the passivation film on the surface of the metal nitrate supply cover parts, make the reaction of chromium oxide and the nitrate, and generation the process of chromium nitrate; and, by making the chromium nitrate evaporation from the removal of chromium passivation film process.

【技术实现步骤摘要】
金属污染防止方法及金属污染防止装置、以及使用了它们的基板处理方法及基板处理装置
本申请基于2016年3月4日申请的日本专利申请第2016-042035号的优先权利益，将该日本申请的全部内容作为参考文献编入于此。本专利技术涉及金属污染防止方法及金属污染防止装置、以及使用了它们的基板处理方法及基板处理装置。
技术介绍
一直以来，对于将臭氧气体供给源与臭氧气体使用装置连接的臭氧气体供给路径来说，已知有使用了将接触气体面进行钝化处理的不锈钢制或铝制的臭氧供给管和设备的臭氧供给路径。另外，已知有如下的不锈钢构件的表面处理方法：通过干式将不锈钢构件的表面钝化时，在使用臭氧气体的表面处理方法中，使用水分的露点为-10℃以下的非活性气体作为在氧化处理炉的升温过程中使用的气体，并且将包含由氧化处理炉排出的未反应臭氧的废气在臭氧产生装置中作为原料气体使其循环使用，从而减少氧气消耗量和废气量。将经过上述钝化处理的臭氧供给路径用于基板处理装置等时，将臭氧供给用的配管连接于处理室而供给臭氧，但是，在处理室内开始基板处理之前，为了使臭氧供给路径内的钝化膜稳定，通常是不搬入基板而将臭氧供给至处理室，也就是进行熟化本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种金属污染防止方法，其是在使用表面被由氧化铬形成的钝化膜覆盖的金属部件之前进行的金属污染防止方法，该方法具备如下工序：对覆盖所述金属部件的表面的所述钝化膜供给硝酸，使所述氧化铬与所述硝酸反应，而生成硝酸铬的工序；和，通过使该硝酸铬蒸发而自所述钝化膜去除铬的工序。

【技术特征摘要】
2016.03.04 JP 2016-0420351.一种金属污染防止方法，其是在使用表面被由氧化铬形成的钝化膜覆盖的金属部件之前进行的金属污染防止方法，该方法具备如下工序：对覆盖所述金属部件的表面的所述钝化膜供给硝酸，使所述氧化铬与所述硝酸反应，而生成硝酸铬的工序；和，通过使该硝酸铬蒸发而自所述钝化膜去除铬的工序。2.根据权利要求1所述的金属污染防止方法，其中，所述硝酸是由供给至所述金属部件的多种气体的反应而生成的。3.根据权利要求2所述的金属污染防止方法，其中，所述多种气体包括含氮气体和含氧气体。4.根据权利要求3所述的金属污染防止方法，其中，所述含氮气体为N2，所述含氧气体包含O3。5.根据权利要求3所述的金属污染防止方法，其中，所述含氮气体和所述含氧气体是以在所述金属部件中合流的方式借助各分支配管供给的。6.根据权利要求5所述的金属污染防止方法，其中，所述硝酸是通过所述含氮气体和所述含氧气体与各自含有的水分、或附着于所述分支配管和所述金属部件中的至少一者的表面的水分反应而生成的。7.根据权利要求1所述的金属污染防止方法，其中，所述硝酸直接供给至所述金属部件。8.根据权利要求1所述的金属污染防止方法，其中，自所述钝化膜去除铬的工序包括将所述金属部件的周围气氛减压的工序。9.根据权利要求1所述的金属污染防止方法，其中，自所述钝化膜去除铬的工序包括将所述金属部件的周围气氛加热的工序。10.根据权利要求1所述的金属污染防止方法，其中，自所述钝化膜去除铬的工序进行到所述钝化膜的距离表面规定深度以下的表层区域中的所述铬的浓度达到规定值以下为止。11.根据权利要求10所述的金属污染防止方法，其中，所述规定深度为2nm。12.根据权利要求1所述的金属污染防止方法，其中，所述金属部件为配管，所述表面为该配管的内周面。13.根据权利要求12所述的金属污染防止方法，其中，所述配管由不锈钢形成...

【专利技术属性】
技术研发人员：小池悟，田中惠一，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP