一种纤维素基柔性氧化锌紫外光电探测器及其制备方法技术

本发明专利技术公开一种纤维素基柔性氧化锌紫外光电探测器及其制备方法，具体是以高雾度的透明纤维素薄膜为衬底，利用磁控溅射法生长氧化锌半导体薄膜，再将叉指电极掩膜版紧贴在氧化锌半导体薄膜上，在叉指电极掩膜版和未被叉指电极掩膜版遮盖的氧化锌半导体薄膜叉指电极掩模版上采用电子束蒸发方法生长金属薄层，移除叉指电极掩膜版后、在氧化锌半导体薄膜上制造有金属电极，最终制备获得纤维素基柔性氧化锌紫外光电探测器。本发明专利技术以高雾度的透明纤维素薄膜为衬底生长氧化锌半导体薄膜，并制备了柔性的紫外光电探测器，该器件具有针对紫外光的特征响应和柔性可弯曲的特点。高雾度的透明纤维素衬底可以起到陷光作用，因此提高紫外光电探测器的响应度。

【技术实现步骤摘要】
一种纤维素基柔性氧化锌紫外光电探测器及其制备方法
本专利技术涉及一种柔性紫外光电探测器及其制备方法，尤其是涉及一种纤维素基柔性氧化锌紫外光电探测器及其制备方法。
技术介绍
紫外光电探测器在火灾预警，环境紫外线检测，高压输电线路污闪信号监测，医疗诊断领域具有广泛的应用。常用的紫外光电探测器都是利用刚性衬底上生长的半导体薄膜制备的，例如基于蓝宝石衬底上生长的氮化镓半导体薄膜，或石英衬底上生长的氧化锌半导体薄膜，因此缺乏可弯曲的特性。随着人类对电子设备需求的改变，电子设备内部的元件也需要进行改变。现如今，人类已经步入一个可穿戴设备的时代，而这类设备需要的是柔性和新的用户界面。电子器件的可弯曲特性可以大幅提高电子设备的便携性、设置及设计的自由度。柔性的紫外光电探测器具有可扭转和弯曲特性，可以大大拓展了其应用范围，包括可穿戴设备、人造仿生组织等新兴领域。近期，有研究者在聚碳酸丙烯酯（PPC）柔性衬底上生长氧化锌半导体薄膜，并制备了紫外光电探测器（N.N.Jandow,F.K.Yam,S.M.Thahab,H.AbuHassan,K.Ibrahim,CurrentAppliedPhysics20本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种纤维素基柔性氧化锌紫外光电探测器的制备方法，其特征在于包括如下步骤：1）采用磁控溅射法在高雾度的透明纤维素薄膜（1）上生长氧化锌半导体薄膜（2）；2）将叉指电极掩模版（4）紧贴在氧化锌半导体薄膜（2）上；3）在叉指电极掩膜版（4）和未被叉指电极掩膜版遮盖的氧化锌半导体薄膜（2）上采用电子束蒸发方法生长金属薄层（5）；4）移除叉指电极掩膜版（4）后、在氧化锌半导体薄膜（2）上制造有金属电极（3），最终制备获得纤维素基柔性氧化锌紫外光电探测器。

【技术特征摘要】
1.一种纤维素基柔性氧化锌紫外光电探测器的制备方法，其特征在于包括如下步骤：1）采用磁控溅射法在高雾度的透明纤维素薄膜（1）上生长氧化锌半导体薄膜（2）；2）将叉指电极掩模版（4）紧贴在氧化锌半导体薄膜（2）上；3）在叉指电极掩膜版（4）和未被叉指电极掩膜版遮盖的氧化锌半导体薄膜（2）上采用电子束蒸发方法生长金属薄层（5）；4）移除叉指电极掩膜版（4）后、在氧化锌半导体薄膜（2）上制造有金属电极（3），最终制备获得纤维素基柔性氧化锌紫外光电探测器。2.如权利要求1所述的一种纤维素基柔性氧化锌紫外光电探测器的制备方法，其特征在于步骤1）的生长氧化锌半导体薄膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑清洪，陈礼辉，黄六莲，欧阳新华，黄瑾，
申请(专利权)人：福建农林大学，
类型：发明
国别省市：福建,35