表面声波器件制造技术

本发明专利技术提供一种具有对高温环境的耐性、能够使用2～2.5GHz频段以上的频带的、新的并且使用能够稳定供给的压电材料的表面声波器件(1)。表面声波器件(1)包括：由钙黄长石(CAS：Ca2Al(AlSi)O7)单晶形成的压电基片(10)；和形成在上述压电基片(10)的表面声波传播面(11)的梳形电极(12、13)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】表面声波器件
本专利技术涉及表面声波器件。
技术介绍
使用表面声波的表面声波器件公知的是用作所谓的带通滤波器、或用作对测定对象的温度、压力进行遥感的传感器。例如在专利文献1中公开了利用表面声波(SAW；SurfaceAcousticWave)的无线温度测量传感器。该传感器除了温度以外，也能够用作压力、位移、湿度、气体成分分析等的各种传感器。作为该传感器使用的压电材料，除了铌酸锂之外，还能够例示水晶、钽酸锂、四硼酸锂、硅酸镓镧。另外，在专利文献2中公开了能够无线化的表面声波传感器，且为压电材料使用了钽酸镧镓的传感器。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2004-129185号公报专利文献2：专利第4470590号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术课题在上述专利文献中记载的压电材料，根据表面声波器件的某种用途，作为其构成材料并不适合。例如水晶是典型性的压电材料，但是，在573℃发生β迁移，丧失压电性，因此，在高温环境下无法使用。另一方面，虽然在硅酸镧镓(LGS，La3Ga5SiO14)、钽酸镧镓(LTG，La3Ga5.5Ta0.5O14)，直至接近1500℃不产生相移而保持压电性，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种表面声波器件，其特征在于，包括：由钙黄长石(CAS：Ca2Al(AlSi)O7)单晶形成的压电基片；和形成在所述压电基片的表面声波传播面的梳形电极。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.12.24 JP 2014-2610441.一种表面声波器件，其特征在于，包括：由钙黄长石(CAS：Ca2Al(AlSi)O7)单晶形成的压电基片；和形成在所述压电基片的表面声波传播面的梳形电极。2.如权利要求1所述的表面声波器件，其特征在于：所述表面声波传播面为使(001)面关于[110]方向旋转了角度θ的面，表面声波行进方向为[110]方向，并且满足0°≤θ≤80°。3.如权利要求1所述的表面声波器件，其特征在于：所述表面声波传播面为使(001)面关于[110]方向旋转了角度θ的面，表面声波行进方向为[110]方向，并且满足60°≤θ≤90°。4.如权利要求1所述的表面声波器件，其特征在于：所述表面声波传播面为使(001)面关于[100]方向旋转了角度θ的面，表面声波行进方向为[100]方向，并且满足40°≤θ≤75°。5.如权利要求1所述的表面声波器件，其特征在于：所述表面声波传播面为使(001)面关于[100]方向旋转了角度θ的面，表面声波行进方向为[100]方向，并且满足45°≤θ≤80°。6.如权利要求1所述的表面声波器件，其特征在于：所述表面声波传播面为...

【专利技术属性】
技术研发人员：野野垣阳一，木下嘉将，赤羽隆志，早田智史，
申请(专利权)人：西铁城时计株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP