一种三维调整机构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种三维调整机构，包括器件安装座、平移支座、固定支座、Z向调节组件和XY向调节组件，待调整器件安装于所述器件安装座，所述器件安装座安装于所述平移支座内，所述平移支座容置于所述固定支座内侧，且通过所述XY向调节结构实现其相对于所述固定支座的沿X向和Y向的位置，所述固定支座固定在一固定平台上，且通过设在所述固定支座外侧的Z向调节组件调节其相对于所述固定平台的沿Z向的位置。

Three dimensional adjusting mechanism

The utility model provides a three-dimensional adjusting mechanism, including device mounting base, translation support, fixed support, Z and XY to adjust components to be adjusted to adjust components, devices installed on the mounting device, the device mounting seat is arranged on the support in the translation, translation support contained in the fixed support inside, and to adjust the structure to achieve relative to the direction and Y direction along the X position of the fixed support through the XY, the fixed support is fixed on a fixed platform, and adjust its position along the Z direction relative to the fixed platform to adjust the components through arranged on the fixed support outside of the Z.

【技术实现步骤摘要】
一种三维调整机构
本技术提供了一种三维调整机构。
技术介绍
光纤作为一种精密的光学元器件，其主要作用是为整个系统传输光束，使光束传输到需要的位置上。所以，光纤的安装、固定与调整，起着十分重要的作用。目前的精密仪器调整结构中，多采用组合滑台的形式实现二维及三维调节，滑台成本较高，结构复杂，体积较为庞大，占用空间较多，不满足空间要求。而在光刻设备中，空间结构要求都比较紧凑，因此对调整机构的外形体积有所限制。且滑台调整过程中不完全是平面接触，易对倾斜造成影响，锁紧过程易引入锁紧误差，不满足稳定性的要求。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是如何简单、安全、稳定地实现光纤的三维位置调整。为了解决这一技术问题，本技术提供了一种三维调整机构，包括器件安装座、平移支座、固定支座、Z向调节组件和XY向调节组件，待调整器件安装于所述器件安装座，所述器件安装座安装于所述平移支座内，所述平移支座容置于所述固定支座内，且通过所述XY向调节组件调节其相对于所述固定支座的沿X向和Y向的位置，所述固定支座固定在一固定平台上，且通过设置在所述固定支座外侧的Z向调节组件调节其相对于所述固定平台的沿Z向的位置。可选的，所述Z向调节组件包括Z向调节螺钉和Z向弹簧，所述Z向调节螺钉沿Z向穿过所述Z向弹簧后将所述固定支座固定在所述固定平台上。可选的，所述XY向调节组件包括X向调节螺钉、Y向调节螺钉、X向弹簧、Y向弹簧、X向导向螺钉及Y向导向螺钉，所述X向调节螺钉沿X负方向穿设于所述固定支座内与所述平移支座接触，所述X向弹簧沿X正方向穿设于所述固定支座内与所述平移支座接触，并通过所述X向导向螺钉固定；所述Y向调节螺钉沿Y负方向穿设于所述固定支座内与所述平移支座接触，所述Y向弹簧沿Y正方向穿设于所述固定支座内与所述平移支座接触，并通过所述Y向导向螺钉固定。可选的，所述固定支座与所述固定平台采用孔轴配合安装。可选的，所述三维调整机构还包括夹紧安装座，所述夹紧安装座在夹紧状态下夹紧于所述固定支座的外侧，且与所述固定平台锁紧连接。可选的，所述夹紧安装座包括第一座体和第二座体，沿Z向设置的第一锁紧螺钉连接所述第一座体和第二座体后固定在所述固定平台上，所述第一座体和第二座体之间通过沿垂直于Z向的方向设置的第二锁紧螺钉实现夹紧。可选的，所述平移支座端面设有环形槽，所述器件安装座安装于所述环形槽内，并通过一压圈压紧固定。可选的，所述平移支座通过沿Z向设置的第三锁紧螺钉与所述固定支座连接。可选的，所述第三锁紧螺钉与平移支座之间还设有弹性垫片。可选的，所述待调整器件为光纤。可选的，所述光纤沿Z向穿设安装于所述器件安装座。本技术提出了一种三维调整机构，其占用空间小，结构简单，调整完全解耦，能够满足空间及稳定性要求。具体来说，具有以下优点：1、本技术的调整机构可以做到X、Y、Z向调整完全解耦，不会相互影响；2、本技术的调整机构在调整过程中不会引入锁紧误差；3、本技术的调整机构结构简单，占用空间小，可以实现较小空间内器件的三维调整。附图说明图1是本技术一可选实施例中三维调整机构的结构示意图；图2是本技术一可选实施例中三维调整机构的竖剖面示意图；图3是本技术一可选实施例中三维调整机构的横剖面示意图；图中，1-夹紧安装座；2-平移支座；3-第三锁紧螺钉；4-弹性垫片；5-固定支座；6-第一锁紧螺钉；7-第二锁紧螺钉；8-光纤；9-器件安装座；10-压圈；11-Z向调节螺钉；12-Z向弹簧；13a-X向导向螺钉；14a-X向弹簧；15a-X向调节螺钉；13b-Y向导向螺钉；14b-Y向弹簧；15b-Y向调节螺钉；16-环形槽。具体实施方式以下将结合图1至图3对本技术提供的三维调整机构进行详细的描述，其为本技术可选的实施例，可以认为，本领域技术人员在不改变本技术精神和内容的范围内，对其进行修改和润色。请参考图1至图3，本技术提供了一种三维调整机构，包括器件安装座9、平移支座2、固定支座5、Z向调节组件和XY向调节组件，待调整器件安装于所述器件安装座9，所述器件安装座9安装于所述平移支座2内，所述平移支座2容置于所述固定支座5，且通过所述XY向调节组件调节其相对于所述固定支座5的沿X向和Y向的位置，所述固定支座5固定在一个固定平台上，且通过在所述固定支座外侧的Z向调节组件调节其相对于外平台的沿Z向的位置，所述固定支座5与固定平台还采用孔轴配合安装，其中，所述待调整器件为光纤8。所述光纤8沿Z向穿设安装于所述器件安装座9。其中，所述固定支座5与外平台采用孔轴配合安装，固定支座5的下端圆柱面和其他平台采用孔轴配合的安装形式，达到X、Y向粗定位及Z向调整导向的目的。固定支座5的下端圆柱面可以伸入到其他平台内部，裸露在外的外形结构更少，可以极大减小占用空间，在紧凑空间的光刻设备里，能够发挥所用。本技术优选的实施例中，所述三维调整机构还包括夹紧安装座1，所述夹紧安装座1在夹紧状态下夹紧于所述固定支座5的外侧，且与所述固定平台锁紧连接。进一步可选的实施例中，所述夹紧安装座1包括第一座体和第二座体，沿Z向设置的第一锁紧螺钉6连接所述第一座体和第二座体后固定在所述固定平台上，所述第一座体和第二座体之间通过沿垂直于Z向的方向设置的第二锁紧螺钉7实现夹紧。可见，夹紧安装座1通过第二锁紧螺钉7来Z向夹紧固定支座5，并通过第一锁紧螺钉6将整个调整结构固定到其他平台上。有关所述Z向调节结构：所述Z向调节组件包括Z向调节螺钉11和Z向弹簧12，所述Z向调节螺钉11沿Z向穿过所述Z向弹簧后将所述固定支座5固定在所述固定平台上。具体来说，可以通过调节螺钉11调整Z向，通过弹簧12提供Z向反向回复力；具体操作时：先将夹紧安装座1上的第二锁紧螺钉7松开，以便固定支座5能在Z向移动；然后，通过旋入Z向调节螺钉11进行Z向负向调整；通过旋出Z向调节螺钉11，由Z向弹簧12提供回复力进行节Z向负向调整；最后，调整完毕后将夹紧安装座1上的第二锁紧螺钉7拧紧，达到Z向机械锁死的目的。由于锁紧力的方向与Z向垂直，故锁死过程不会引入锁紧误差。有关所述XY向调节结构：所述XY向调节结构包括X向调节螺钉15a、Y向调节螺钉15b、X向弹簧14a、Y向弹簧14b、X向导向螺钉13a和Y向导向螺钉13b，所述X向调节螺钉15a沿X负方向穿设于所述固定支座5内与所述平移支座2接触，所述X向弹簧14a沿X正方向穿设于所述固定支座5内与所述平移支座2接触，并通过所述X向导向螺钉13a固定；所述Y向调节螺钉15b沿Y方向穿设于所述固定支座5内与所述平移支座2接触，所述Y向弹簧14b沿Y正方向穿设于所述固定支座5内与所述平移支座2接触，并通过所述Y向导向螺钉13b固定。简而言之，两个调节螺钉安装在固定支座5上，分别用于调节X向及Y向；两个弹簧安装在固定支座5上，分别用于提供X向及Y向反向回复力，两个弹簧的导向螺钉安装在固定支座5上，用于固定弹簧。具体操作时，通过旋入调节螺钉15进行X、Y向正向调整，通过旋出调节螺钉15，由弹簧14提供回复力进行X、Y向负向调整；调整完毕后将平移支座2和固定支座5之间的第三锁紧螺钉3拧紧，达到X、Y向机械锁死的目的。由于锁紧力的方向与X、Y本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三维调整机构，其特征在于：包括器件安装座、平移支座、固定支座、Z向调节组件和XY向调节组件，待调整器件安装于所述器件安装座，所述器件安装座安装于所述平移支座内，所述平移支座容置于所述固定支座内，且通过所述XY向调节组件调节其相对于所述固定支座的沿X向和Y向的位置，所述固定支座固定在一固定平台上，且通过设置在所述固定支座外侧的Z向调节组件调节其相对于所述固定平台的沿Z向的位置。

【技术特征摘要】
1.一种三维调整机构，其特征在于：包括器件安装座、平移支座、固定支座、Z向调节组件和XY向调节组件，待调整器件安装于所述器件安装座，所述器件安装座安装于所述平移支座内，所述平移支座容置于所述固定支座内，且通过所述XY向调节组件调节其相对于所述固定支座的沿X向和Y向的位置，所述固定支座固定在一固定平台上，且通过设置在所述固定支座外侧的Z向调节组件调节其相对于所述固定平台的沿Z向的位置。2.如权利要求1所述的三维调整机构，其特征在于：所述Z向调节组件包括Z向调节螺钉和Z向弹簧，所述Z向调节螺钉沿Z向穿过所述Z向弹簧后将所述固定支座固定在所述固定平台上。3.如权利要求1所述的三维调整机构，其特征在于：所述XY向调节组件包括X向调节螺钉、Y向调节螺钉、X向弹簧、Y向弹簧、X向导向螺钉及Y向导向螺钉，所述X向调节螺钉沿X负方向穿设于所述固定支座内与所述平移支座接触，所述X向弹簧沿X正方向穿设于所述固定支座内与所述平移支座接触，并通过所述X向导向螺钉固定；所述Y向调节螺钉沿Y负方向穿设于所述固定支座内与所述平移支座接触，所述Y向弹簧沿Y正方向穿设于所述固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁伟杰，姜玉涛，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31