防尘薄膜组件收纳容器制造技术

提供一种收纳没有剥离片的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器，其随时间的变化起因以及制造起因的尺寸误差的影响小，其管理运用容易的防尘薄膜组件收纳容器。本发明专利技术的防尘薄膜组件收纳容器为由防尘薄膜组件收纳容器本体和嵌合于防尘薄膜组件收纳容器本体而密闭的盖体构成的且收纳无剥离片的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器，在防尘薄膜组件收纳容器本体上设置支持掩模具有粘着剂层涂布区域以及未涂布区域的防尘薄膜组件框架的防尘薄膜组件框架支持装置和固定器保持装置，在防尘薄膜组件框架支持装置支持防尘薄膜组件框架的掩模粘着剂层未涂布区域的同时，固定器保持装置保持被插在设于防尘薄膜组件框架的外侧面的沟中的板状框架固定器。

【技术实现步骤摘要】
防尘薄膜组件收纳容器
本专利技术涉及收纳在半导体装置、印刷基板、液晶面板或有机EL面板等的制造时作为除尘器使用的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器。
技术介绍
在LSI、超LSI等的半导体制造或液晶面板等的制造中，要对半导体晶片或液晶用原板进行光照射进行图案的制作，此时，如使用的光掩模或中间掩模(以下统称“光掩模”)有灰尘附着，由于该灰尘会吸收光或使光弯曲，由此转印的图案就会变形，角部会不齐，还会使基底变黑脏污等，由此尺寸、品质、外观等会受损。由此，这些操作通常在无尘室中进行，但是即使如此，要保持光掩模的经常清洁也是困难的，所以要在光掩模表面贴附作为除尘器的防尘薄膜组件后再进行曝光。如此，异物就不会在光掩模的表面上直接附着，而是在防尘薄膜组件上附着，这样在光刻时只要将焦点对准光掩模的图案，防尘薄膜组件上的异物就与转印无关系了。一般来说，这样的防尘薄膜组件，是将光良好透过的由硝化纤维素、酢酸纤维素或氟树脂等构成的透明的防尘薄膜组件膜，在铝、钢铁、不锈钢、工序塑料等构成的防尘薄膜组件框架的上端面贴附或粘接而构成。另外，在防尘薄膜组件框架的下端面上设置为了将防尘薄膜组件贴于光掩模的由聚丁烯树脂、聚酢酸乙烯基树脂、丙烯酸树脂、硅树脂等构成的粘着剂层以及以保护粘着剂层的为目的的离型型层(剥离片)。该剥离片通常为在PET树脂等的100-200μm程度薄的薄膜上将离型剂涂布切断加工成所希望所望的形状来使用，但是由于其薄膜薄，为了将其制成形状与框架的外形几乎相同的框状的形状，会变成绳状，从而具有难以清净的问题。另外，在向掩模粘着剂层的贴附等的操作中，对其处理也极为不便。进一步，在将防尘薄膜组件从容器中用自动装置取出时，将剥离片剥离的工序是必须的，但是剥离片为薄的薄膜状，其形状等不安定，从而也具有不宜用自动装置来进行处理的问题。具有这些问题的剥离片，仅仅为了保护粘着剂，而在防尘薄膜组件使用时要将其剥掉废弃，所以只要不使用剥离片，就不会发生所述问题。由此，本专利技术人以前就专利技术了不使用剥离片的防尘薄膜组件以及对该防尘薄膜组件进行收纳的收纳容器(例如参照专利文献1和2)。这些在专利文献1和2记载的防尘薄膜组件收纳容器为，在防尘薄膜组件框架的外侧形成不进行掩模粘着剂层涂布的未涂布区域，在将该未涂布区域用在防尘薄膜组件收纳容器本体上设置的防尘薄膜组件框架支持装置支持的同时，向在防尘薄膜组件框架的外侧面设置的非贯通孔中插入针，从而将防尘薄膜组件固定(参照下述的比较例)。这样，由于这些防尘薄膜组件收纳容器收纳的防尘薄膜组件上不使用剥离片，不需要剥离片的剥离，也就不用担心剥离片剥离时接触防尘薄膜组件膜，从而易于用自动装置将防尘薄膜组件取出变得容易，这是一大优点。但是，即使这样的防尘薄膜组件收纳容器在其管理运用上也有若干问题，即例如专利文献1的防尘薄膜组件收纳容器中，防尘薄膜组件在其垂直方向上用防尘薄膜组件框架支持装置支持，其水平方向为向框架外侧面的孔中插入针来进行限制，从而将其固定在防尘薄膜组件收纳容器上，如此，如针和框架外侧面的孔不能正确地相对，或者针的轴方向的距离与设计不一样，就不能将针插入孔，从而不能将防尘薄膜组件良好地固定，这会成为一个问题。另外，在大型的防尘薄膜组件收纳容器的场合，防尘薄膜组件收纳容器全体的制造误差大，并且在用树脂制成的场合，还会发生由于温度变化以及吸湿会发生尺寸变动，从而对针的组装位置的严密管理会变得困难。由此，容器制作后的保管中，就要对针的位置进行再一次调整，从而会发生在防尘薄膜组件的收纳之后由于尺寸变动而带来的针和防尘薄膜组件框架之间的摩擦而发生灰尘的问题。现有技术文献专利文献1：特开2009-128635专利文献2：特开2011-34020
技术实现思路
本专利技术就是鉴于上述问题而完成的，本专利技术的目的为提供一种没有剥离片的防尘薄膜组件的收纳容器，其随时间的变化以及由于制造而带来的尺寸误差的影响小、管理运用容易的防尘薄膜组件收纳容器。本专利技术为一种由防尘薄膜组件收纳容器本体和在防尘薄膜组件收纳容器本体嵌合而密闭的盖体构成的、收纳没有剥离片的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于，在防尘薄膜组件收纳容器本体上设置支持具有掩模粘着剂层涂布区域以及未涂布区域的防尘薄膜组件框架的防尘薄膜组件框架支持装置和固定器保持装置，在防尘薄膜组件框架支持装置在支持防尘薄膜组件框架的掩模粘着剂层未涂布区域的同时，固定器保持装置保持被插在设于防尘薄膜组件框架的外侧面的沟中的板状框架固定器。另外，本专利技术还具有所述固定器保持装置具有和框架固定器嵌合的沟或孔，框架固定器被在大略水平方向可移动地保持的特征。然后优选的是，本专利技术的框架固定器的一部分被盖体从上方按压，其位置被固定；本专利技术的框架固定器也可以其一部分被设于盖体内侧上的弹性体从上方按压，从而其位置被固定。另外，用粘着带贴附固定也可。另外，本专利技术的框架固定器优选以后端与盖体的内面接触，其水平方向的移动被限制，或以后端与设于盖体内面上的弹性体相接触，其水平方向的移动被限制。专利技术效果根据本专利技术，通过向在防尘薄膜组件框架的外侧面设置的沟中插入板状的框架固定器从而将防尘薄膜组件固定之外，通过盖体的内面或内面上设置的弹性体对框架固定器按压固定，对尺寸误差的容许范围大，因此，不易受到容器的随时间的变化以及由制造引起的尺寸误差的影响，从而具有管理运用容易的优点。附图说明图1是本专利技术的防尘薄膜组件收纳容器的实施方式的平面图。图2是表示本专利技术的实施方式的图1的A-A截面图。图3是表示本专利技术的实施方式的图1的B-B截面图。图4是表示本专利技术的实施方式的图2的C部扩大图。图5是表示本专利技术的实施方式的图3的D部扩大图。图6是本专利技术的防尘薄膜组件收纳容器全体的斜视图。图7是将框架固定器插入固定器保持装置的沟而保持的状态的斜视图。图8是将框架固定器插入固定器保持装置的角孔而保持的状态的斜视图。图9是将框架固定器用粘着带保持在固定器保持装置的状态的斜视图。图10是将框架固定器用盖体内部的弹性体按压而固定的状态的截面图。图11是使用比较例的针的防尘薄膜组件收纳容器的平面图。图12是将比较例的针用针保持装置保持的状态的斜视图。具体实施方式以下对本专利技术的实施方式参照附图进行详细说明，但是本专利技术并不限于此。另外，本专利技术对边长为超过500mm的大型的防尘薄膜组件适用时效果特别大，但是本专利技术不被防尘薄膜组件的大小以及用途限定。图1-图10表示本专利技术的实施方式。在图1中，为了进行说明，将与防尘薄膜组件收纳容器本体11在周缘部嵌合止动的盖体12省略。在本专利技术的防尘薄膜组件收纳容器本体11上，如图1表示的那样，设置了防尘薄膜组件框架支持装置13、框架固定器14、固定器保持装置15。另一方面，在收纳的防尘薄膜组件20上，如图4表示的那样，沿着防尘薄膜组件框架21的下端面内周上设置了掩模粘着剂层22，在外周部上具有掩模粘着剂层未涂布区域23。然后，其相反面上通过防尘薄膜组件膜粘接层24绷紧设置了防尘薄膜组件膜25。收纳的防尘薄膜组件20以在防尘薄膜组件框架21的掩模粘着剂层22被设置的面的外周至少具有1mm宽的掩模粘着剂层未涂布区域23为优选，但是并不对其它的方式进行制限。防尘薄膜组件框架支持装置13以在防尘薄膜组件框架21本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防尘薄膜组件收纳容器，它由防尘薄膜组件收纳容器本体和嵌合于该防尘薄膜组件收纳容器本体而密闭的盖体构成并且收纳没有剥离片的防尘薄膜组件，其特征在于，在所述防尘薄膜组件收纳容器本体上，设置支持具有掩模粘着剂层涂布区域以及未涂布区域的防尘薄膜组件框架的防尘薄膜组件框架支持装置和固定器保持装置，在所述防尘薄膜组件框架支持装置支持所述防尘薄膜组件框架的掩模粘着剂层未涂布区域的同时，所述固定器保持装置保持被插在设于所述防尘薄膜组件框架的外侧面的沟中的板状框架固定器。

【技术特征摘要】
2016.02.22 JP 2016-0306771.一种防尘薄膜组件收纳容器，它由防尘薄膜组件收纳容器本体和嵌合于该防尘薄膜组件收纳容器本体而密闭的盖体构成并且收纳没有剥离片的防尘薄膜组件，其特征在于，在所述防尘薄膜组件收纳容器本体上，设置支持具有掩模粘着剂层涂布区域以及未涂布区域的防尘薄膜组件框架的防尘薄膜组件框架支持装置和固定器保持装置，在所述防尘薄膜组件框架支持装置支持所述防尘薄膜组件框架的掩模粘着剂层未涂布区域的同时，所述固定器保持装置保持被插在设于所述防尘薄膜组件框架的外侧面的沟中的板状框架固定器。2.根据权利要求1所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于，所述固定器保持装置具有和所述框架固定器嵌合的沟或孔，该框架固定器...

【专利技术属性】
技术研发人员：关原一敏，
申请(专利权)人：信越化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP