在线取样方法技术

本发明专利技术提供了一种在线取样方法，该在线取样方法通过在线取样装置进行在线取样，在线取样装置包括：吹扫管路、进样管路、取样管路、尾气管路、保护容器以及取样容器，在线取样方法包括：将吹扫管路、取样管路、保护容器以及尾气管路依次连通，利用吹扫管路对取样管路、保护容器以及尾气管路进行吹扫；以及将进样管路、取样管路、取样容器以及尾气管路依次连通，并利用吹扫过的取样管路和取样容器进行在线取样。通过将取样管道和取样容器中的杂质或水气等吹扫出去，为后续在取样状态下利用进样管路、取样管路以及取样容器对待取样品进行取样，排除了杂质污染和水气等危险因素，进而实现了对样品的安全、准确取样。

【技术实现步骤摘要】
在线取样方法
本专利技术涉及在线取样设备领域，具体而言，涉及一种在线取样方法。
技术介绍
六氯二硅烷(Si2Cl6)是一种高效的脱氧剂，用作无定形硅薄膜、光化学纤维原料以及硅氧烷等的优良原料，在半导体、光电材料等领域有着广泛的应用前景和实际价值。六氯二硅烷最重要的用途是制造氮硅薄膜，相较于传统的二氯二氢硅、硅烷气沉积法制氮硅薄膜，六氯二硅烷气相沉积法的沉积温度、沉积压力低、效率高且得到薄膜的密度、绝缘性、抗腐蚀性、兼容性皆更优。六氯二硅烷遇水易发生水解反应，生产的水解物极易燃烧，同时半导体、光电材料用六氯二硅烷的纯度要求相对高(金属杂质总量100ng/g以下)，因此必须在全封闭的系统中进行取样，才能保证取样过程的安全以及使所取样品准确反映六氯二硅烷的质量水平。此外，密闭取样系统管路内部存在化学微污染以及颗粒杂质污染等潜在污染源，因此需要提供一种新的在线取样装置，以提高如六氯二硅烷之类的样品的取样的安全性和准确性。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种在线取样方法，保证样品高纯不被沾污以及取样安全、环保。为了实现上述目的，根据本专利技术的一个方面，提供了一种在线取样方法，该在线取本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在线取样方法，其特征在于，所述在线取样方法通过在线取样装置进行在线取样，所述在线取样装置包括：吹扫管路(10)、进样管路(20)、取样管路(30)、尾气管路(40)、保护容器(33)以及取样容器(31)，所述在线取样方法包括：将所述吹扫管路(10)、所述取样管路(30)、所述保护容器(33)以及所述尾气管路(40)依次连通，利用所述吹扫管路(10)对所述取样管路(30)、所述保护容器(33)以及所述尾气管路(40)进行吹扫；以及将所述进样管路(20)、所述取样管路(30)、所述取样容器(31)以及所述尾气管路(40)依次连通，并利用吹扫过的所述取样管路(30)和所述取样容器(31)进行在线...

【技术特征摘要】
1.一种在线取样方法，其特征在于，所述在线取样方法通过在线取样装置进行在线取样，所述在线取样装置包括：吹扫管路(10)、进样管路(20)、取样管路(30)、尾气管路(40)、保护容器(33)以及取样容器(31)，所述在线取样方法包括：将所述吹扫管路(10)、所述取样管路(30)、所述保护容器(33)以及所述尾气管路(40)依次连通，利用所述吹扫管路(10)对所述取样管路(30)、所述保护容器(33)以及所述尾气管路(40)进行吹扫；以及将所述进样管路(20)、所述取样管路(30)、所述取样容器(31)以及所述尾气管路(40)依次连通，并利用吹扫过的所述取样管路(30)和所述取样容器(31)进行在线取样。2.根据权利要求1所述的在线取样方法，其特征在于，在进行所述吹扫之后，以及进行所述在线取样之前，所述在线取样方法还包括：将所述吹扫管路(10)、所述取样管路(30)、所述取样容器(31)以及所述尾气管路(40)依次连通，利用所述吹扫管路(10)对所述取样容器(31)进行吹扫的步骤。3.根据权利要求1所述的在线取样方法，其特征在于，在进行所述在线取样之后，所述在线取样方法还包括：将所述吹扫管路(10)与所述进样管路(20)连通，并对所述进样管路(20)中的残留样品进行反吹的步骤。4.根据权利要求1所述的在线取样方法，其特征在于，在进行所述在线取样之后，所述在线取样方法还包括：将所述吹扫管路(10)、所述取样管路(30)、所述保护容器(33)以及所述尾气管路(40)依次连通，并将所述取样管路(30)中的残留样品进行吹扫至所述保护容器(33)中的...

【专利技术属性】
技术研发人员：楚东旭，付雷，王磊，郭树虎，刘见华，张啸虎，
申请(专利权)人：洛阳中硅高科技有限公司，中国恩菲工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：河南,41