一种光栅衍射光偏转棱镜制造技术

一种光栅衍射光偏转棱镜，包括等腰梯形棱镜、分束镜、光源和光栅，光栅、等腰梯形棱镜和分束镜沿衍射光的出光方向依次布置，光源设置在分束镜的外侧，光源发出的光线垂直入射分束镜的侧面，部分光束被分束镜反射并经等腰梯形棱镜垂直射向光栅，光线垂直照射到光栅上，产生0级衍射光和±1级衍射光，其中0级衍射光垂直于光栅表面经过等腰梯形棱镜和分束镜射出，±1级衍射光从光栅表面斜射入等腰梯形棱镜并经过等腰梯形棱镜的斜面内反射，最终经过等腰梯形棱镜和分束镜射出，且平行于0级衍射光。该偏转棱镜降低了光路的复杂程度和调试难度，缩减了光路的体积和，提高了光路的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种光栅衍射光偏转棱镜
本技术涉及光栅尺测量领域，尤其涉及一种光栅衍射光偏转棱镜。
技术介绍
光栅尺是精密测量、精密加工中的重要测量工具，光栅作为光栅尺的关键部件，在测量中起参考刻度的作用。干涉式光栅尺在测量中只能提供增量位移信息，因此需要借助参考点进行绝对位置修正。参考点的检测精度是光栅尺精度的决定因素之一。在现有的技术方案中，参考点的检测一般借助特别设计的参考点掩膜和参考点编码，对于图示结构中的检测头装置，光线依次垂直穿过所述参考点掩膜的透光区域照射到所述参考点编码区，然后被所述参考点编码区的反射区域反射，之后所述反射光线再次从所述掩膜透光区域穿过，之后逆着入射光线照射到直角棱镜斜边上部分射出，照射到所述光电二极管上产生光电信号。考虑到遮光性能要求和制造成本，掩膜版一般使用菲林片或不锈钢片，这两种材质都具有一定的反射率。因而光线第一次穿过掩膜版时，若掩膜平面和入射光线垂直，部分光线会被原路反射回来，直接照射到光电探测器上，形成一个光电信号的直流分量，并引入额外的噪声，这部分干扰需要在之后的信号处理中通过模拟电路或数值算法滤除。这增加了额外的成本，降低了系统的精度和可靠性。
技术实现思路
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【技术保护点】
一种光栅衍射光偏转棱镜，包括等腰梯形棱镜、分束镜、光源和光栅，所述光栅、所述等腰梯形棱镜和所述分束镜沿衍射光的出光方向依次布置，所述光源设置在所述分束镜的外侧，所述光源发出的光线垂直入射所述分束镜的侧面，部分光束被所述分束镜反射并经所述等腰梯形棱镜垂直射向所述光栅，光线垂直照射到所述光栅上，产生0级衍射光和±1级衍射光，其中0级衍射光垂直于光栅表面经过所述等腰梯形棱镜和所述分束镜射出，±1级衍射光从光栅表面斜射入所述等腰梯形棱镜并经过所述等腰梯形棱镜的斜面内反射，最终经过所述等腰梯形棱镜和所述分束镜射出，且平行于所述0级衍射光。

【技术特征摘要】
1.一种光栅衍射光偏转棱镜，包括等腰梯形棱镜、分束镜、光源和光栅，所述光栅、所述等腰梯形棱镜和所述分束镜沿衍射光的出光方向依次布置，所述光源设置在所述分束镜的外侧，所述光源发出的光线垂直入射所述分束镜的侧面，部分光束被所述分束镜反射并经所述等腰梯形棱镜垂直射向所述光栅，光线垂直照射到所述光栅上，产生0级衍射光和±1级衍射光，其中0级衍射光垂直于光栅表面经过所述等腰梯形棱镜和所述分束镜射出，±1级衍射光从光栅表面斜射入所述等腰梯形棱镜并经过所述等腰梯形棱镜的斜面内反射，最终经过所述等腰梯形棱镜和所述分束镜射出，且平行于所述0级衍射光。2.根据权利要求1所述的光栅衍射光偏转棱镜，其特征在于，所述的光源为激光器。3.根据权利要求1所述的光栅衍射光偏转棱镜，其特征在于，所述分束镜为45°分束立方体。4.根据权利要求1所述的光栅衍射光偏转棱镜，其特征在于，所述光栅为反射式光栅，光栅的平面与YZ平面平行，栅线沿Z方向，所述光栅、所述等腰梯形棱镜以及所述分束镜沿X轴布...

【专利技术属性】
技术研发人员：李星辉，倪凯，肖翔，周倩，王欢欢，曾理江，袁伟涵，苏晓，王晓浩，
申请(专利权)人：清华大学深圳研究生院，
类型：新型
国别省市：广东,44