试样保持装置、太阳能电池的制造方法及太阳能电池模块的制造方法制造方法及图纸

提供一种不会对半导体基板(10)等试样造成损伤的试样保持装置。本实施方式的试样保持装置(1)为伯努利卡盘，由主体部(2)和定位部件(3)构成。定位部件(3)为立体的部件，比试样保持面(5)更向下侧突出的有效部分(M)由内向面(A)、朝向外侧(与试样保持面(5)相反的相反侧)的外向面(B)、将内向面(A)和外向面(B)相连且与试样保持面(5)平行地扩展的向下面(C)、将内向面(A)、外向面(B)及向下面(C)相连的侧面(D)围成。定位部件(3)没有带棱角的部分。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】试样保持装置、太阳能电池的制造方法及太阳能电池模块的制造方法
本专利技术涉及利用了伯努利效应的试样保持装置。本专利技术还涉及太阳能电池的制造方法。另外，本专利技术涉及太阳能电池模块的制造方法。
技术介绍
在工业产品的制造过程中，大多具有如下的工序，即，将工件或原材料等的试样抬起、或在装置之间对试样进行换置。在将试样抬起或在装置之间进行换置的情况下，需要抓住试样，因此具有如下的装置即试样保持装置。就试样保持装置，已知有：用机械手进行物理夹持的形式的装置、利用了磁力的磁力卡盘、利用了真空的真空吸盘、利用了伯努利效应的伯努利卡盘等。伯努利卡盘适于保持并抬起片材或基板那样的薄且平滑的试样。另外，伯努利卡盘可理论上非接触地保持试样，故而没有油膜或污渍向试样表面的附着、引起凹凸变化等弊端。因此对于由伯努利卡盘保持的试样，保持带来的损伤小，可适用于在后工序中具有溅射工序或镀层加工工序那样的情况。但是其另一方面，伯努利卡盘具有如下的缺点，即，与真空吸盘等相比，吸附力差，特别是面方向的保持力弱。即，伯努利卡盘具有与需保持的试样相对的试样保持面，在试样保持面与试样之间流过气体从而产生负压，因与大气压之差本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种试样保持装置，将具备半导体基板的太阳能电池的半成品设为需保持并抬起的试样，具有与所述试样相对的试样保持面，在所述试样保持面与试样之间流过气体从而产生负压，通过该负压将试样吸引到试样保持面侧，在与试样保持面接近的位置对试样进行保持，其特征在于，具有阻止试样向试样保持面的面方向移动的定位部件，所述定位部件设于所述试样保持面的周部，所述定位部件具有在保持了试样的状态时或在试样偏移时与试样的一部分接触的接触部，其中，如下的部位带有圆弧或为倒角形状：(1)接触部或与接触部平缓地连续的部位的距试样保持面远的一侧的端部；(2)在接触部的背面侧具有外向部，该外向部的前端侧的端部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.09.30 JP 2014-2025721.一种试样保持装置，将具备半导体基板的太阳能电池的半成品设为需保持并抬起的试样，具有与所述试样相对的试样保持面，在所述试样保持面与试样之间流过气体从而产生负压，通过该负压将试样吸引到试样保持面侧，在与试样保持面接近的位置对试样进行保持，其特征在于，具有阻止试样向试样保持面的面方向移动的定位部件，所述定位部件设于所述试样保持面的周部，所述定位部件具有在保持了试样的状态时或在试样偏移时与试样的一部分接触的接触部，其中，如下的部位带有圆弧或为倒角形状：(1)接触部或与接触部平缓地连续的部位的距试样保持面远的一侧的端部；(2)在接触部的背面侧具有外向部，该外向部的前端侧的端部。2.如权利要求1所述的试样保持装置，其特征在于，定位部件为立体的形状，具有构成接触部的接触面。3.如权利要求1或2所述的试样保持装置，其特征在于，接触部为向试样保持面侧倾斜的倾斜面。4.如权利要求1～3中任一项所述的试样保持装置，其特征在于，接触部由动摩擦系数不到0.2的材料制成。5.如权利要求1～4中任一项所述的试样保持装置，其特征在于，作为需保持对象的试样的半导体基板为硅基板，其厚度为50μm～200μm。6.如权利要求1～5中任一项所述的试样保持装置，其特征在于，如下的部位带有圆弧或为倒角形状：(1)具有同接触部交叉或同与接触部平缓地连续的部位交叉且相对于试样保持面在平行方向或者倾斜的方向上扩展的向下部、和同接触部交叉或同与接触部平缓地连续的部位交叉且在相对于试样保持面交叉的方向上扩展的侧部，且由所述向下部、侧部和接触部或与接触部平缓地连续的部位构成的角部；(2)在接触部的背面侧具有外向部，具有同接触部交叉或同与接触部平缓地连续的部位交叉且相对于试样保持面在平行方向或者倾斜的方向上扩展的向下部、和同接触部交叉或同与接触部平缓地连续的部位交叉且在相对于试样保持面交叉的方向上扩展的侧部，且由所述外向部、向下部和侧部构成的角部。7.如权利要求1～6中任一项所述的试样保持装置，其特征在于，如下的部位带有圆弧或为倒角形状：(1)具有同接触部交叉或同与接触部平缓地连续的部位交叉且在相对于试样保持面交叉的方向上扩展的侧部，且由所述侧部、和接触部或与接触部平缓地连续的部位构成的角部；(2)在接触部的背面侧具有外向部，具有同接触部交叉或同与接触部平缓地连续的部位交叉且在相对于试样保持面交叉的方向上扩展的侧部，且由所述外向部和侧部构成的角部。8.一种太阳能电池的制造方法，该太阳能电池具有半导体基板，其特征在于，具有通过权利要求1～7中任一项所述的试样保持装置对作为太阳能电池的半成品的半成品太阳能电池基板进行保持的基板保持工序。9.如权利要求8所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，在基板保持工序后，具有在该基板上形成透明导电膜的工序。10.一种太阳能电池模块的制造方法，制造太阳能电池被密封材料密封的太阳能电池模块，其特征在于，所述太阳能电池通过权利要求8或9所述的太阳能电池的制造方法而制造。11.一种试样保持装置，将具备半导体基板的太阳能电池的半成品设为需保持并抬起的试样，具有与所述试样相对的试样保持面，在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：末崎恭，三岛良太，
申请(专利权)人：株式会社钟化，
类型：发明
国别省市：日本,JP