检查装置以及检查方法制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检查装置以及检查方法
本专利技术涉及对对象物的表面的缺陷进行检测的技术。
技术介绍
一直以来，采用如下装置，即，向立体的对象物照射光并拍摄，基于拍摄图像来对对象物的外观进行检查。例如，在日本特开2005-17234号公报的外观检查装置中，在对电路板上的圆顶状焊锡的外观进行检查时，在从圆顶状焊锡的左右两侧照射平行光的状态下，获取第一图像，在从圆顶状焊锡的前后两侧照射平行光的状态下，获取第二图像。然后，求出第一图像数据和第二图像数据之差的绝对值即合成图像，在合成图像上呈放射状地存在带状的阴影的情况下，检测出芯片部件在圆顶状焊锡的安装不良。另外，在日本特开2009-162573号公报的形状识别装置中，设置有对被检查物进行拍摄的照相机、以照相机为中心进行旋转的照明部，一边变更照明部的照明角度一边依次进行被检查物的拍摄。在该形状识别装置中，被检查物上的突起(不良形状)的影子根据照明角度的变化而发生变化，所以能够推定突起的形状。另一方面，在通过锻造或铸造形成的金属部件(例如汽车部件)中，通过喷丸等进行表面加工，该表面成为微小的凹凸分布的梨皮状的立体结构。在将这样的金属部件作为...
【技术保护点】
一种检查装置，对对象物的表面的缺陷进行检测，其特征在于，具有：拍摄部，通过对对象物进行拍摄来获取拍摄图像；存储部，存储与所述拍摄图像对应的参照图像；缺陷检测部，检测出在第一缺陷候补区域和第二缺陷候补区域中重复的区域作为缺陷区域，或者，基于所述拍摄图像与所述参照图像的差分图像的各像素的值与所述参照图像的对应的像素的值之比来检测出缺陷区域，所述第一缺陷候补区域是基于所述拍摄图像的各像素的值与所述参照图像的对应的像素的值之差检测出的区域，所述第二缺陷候补区域是基于所述拍摄图像的各像素的值与所述参照图像的对应的像素的值之比检测出的区域。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.09.29 JP 2014-1982071.一种检查装置，对对象物的表面的缺陷进行检测，其特征在于，具有：拍摄部，通过对对象物进行拍摄来获取拍摄图像；存储部，存储与所述拍摄图像对应的参照图像；缺陷检测部，检测出在第一缺陷候补区域和第二缺陷候补区域中重复的区域作为缺陷区域，或者，基于所述拍摄图像与所述参照图像的差分图像的各像素的值与所述参照图像的对应的像素的值之比来检测出缺陷区域，所述第一缺陷候补区域是基于所述拍摄图像的各像素的值与所述参照图像的对应的像素的值之差检测出的区域，所述第二缺陷候补区域是基于所述拍摄图像的各像素的值与所述参照图像的对应的像素的值之比检测出的区域。2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述缺陷检测部将在所述拍摄图像和所述参照图像中用于求出所述比的像素限制为所述第一缺陷候补区域所包含的像素，或者，将在所述拍摄图像和所述参照图像中用于求出所述差的像素限制为所述第二缺陷候补区域所包含的像素。3.如权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，所述第二缺陷候补区域将所述拍摄图像的像素的值比所述参照图像的对应的像素的值低的缺陷候补区域和所述拍摄图像的像素的值比所述参照图像的对应的像素的值高的缺陷候补区域进行区别而包含。4.如权利要求1～3中任一项所述的检查装置，其特征在于，所述缺陷检测部基于所述拍摄图像的各像素的值和对所述拍摄图像实施了膨胀处理或收缩处理的图像的对应的像素的值之差来检测出第三缺陷候补区域，检测出在所述第一缺陷候补区域、所述第二缺陷候补区域以及所述第三缺陷候补区域中重复的区域作为所述缺陷区域。5.如权利要求1～4中任一项所述的检查装置，其特征在于，所述对象物在表面具有梨皮状的区域。6.如权利要求5所述的检查装置，其特征在于，还具有：第一照明部，仅从一个方向向所述对象物的表面中的规定的对象区域照射光；第二照明部，从多个方向向所述对象区域照射光；检测控制部，使所述缺陷检测部使用从所述第一照明部照射光并由所述拍摄部获取的第一拍摄图像和与所述第一拍摄图像对应的第一参照图像来检测出第一缺陷区域，使所述缺陷检测部使用从所述第二照明部照射光并由所述拍摄部获取的第二拍摄图像和与所述第二拍摄图像对应的第二参照图像来检测出第二缺陷区域；缺陷更新部，将在所述第一缺陷区域以及所述第二缺陷区域中重...
【专利技术属性】
技术研发人员：永田泰史，佐佐泰志，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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