一种用于热蒸发镀膜仪的防污染窗口制造技术

本发明专利技术公开了一种用于热蒸发镀膜仪的防污染窗口，包括凝结舱、猫眼、半导体制冷器及扫动模块，所述凝结舱内设置了制冷器座、扫动模块座、扫动杆腔及风道，将半导体制冷器的导冷片设于风道内，使喇叭口周边降温，金属蒸汽则凝结在喇叭口四周，阻碍其凝结在曲面镜上。将观察孔分为猫眼孔及喇叭口两段，并将猫眼设于猫眼孔内；将扫动模块的摇杆设于凝结舱的扫动杆腔内，且摇杆上的毛刷扫刷在猫眼的曲面镜及喇叭端口上，以清除少量没有凝结在喇叭口四周且靠近曲面镜的金属蒸汽；本发明专利技术有效地提高了热蒸发镀膜仪窗口的整洁度及清晰度，使实验人员能够随时随地并且长时间地观察蒸发容器中金属熔化的情况，控制打开挡板的最佳时机，确保完成高质量的镀膜。

Anti pollution window for thermal evaporation coating instrument

The invention discloses an anti pollution coating apparatus for window thermal evaporation, including condensation tank, cat's eye, and a sweep of semiconductor refrigeration module, the module is arranged in the refrigerator setting seat, sweep module seat, sweep rod chamber and air duct, the semiconductor refrigerator cold conduction sheet is arranged on the air duct to cool the bell around the metal vapor is condensed in the bell mouth around, hinder the condensation on the mirror surface. The observation hole is divided into two sections and the cat eye bell, and the cat in the cat hole; will sweep the rocker is arranged on the module condensation tank sweeping rod cavity, and brush rocker on the brush in the cat's eye curved mirror and speaker port, to remove a small amount there is no condensation in the bell mouth around and near the metal vapor a curved mirror; the invention can effectively improve the thermal evaporation device window clean degree and clarity, the laboratory personnel can whenever and wherever possible and the long time observation of molten metal evaporation in the container, the best time to open the control plate, ensure the high quality of the finished coating.

【技术实现步骤摘要】
一种用于热蒸发镀膜仪的防污染窗口
本专利技术涉及热蒸发镀膜
，用于对蒸发容器中金属熔化过程的观察，尤其是一种用于热蒸发镀膜仪的防污染窗口。
技术介绍
热蒸发镀膜是采用在真空的环境中，通过电加热使蒸发容器中待形成薄膜的固体原材料熔化，其原子或分子从表面气化逸出，形成蒸汽流，蒸镀到蒸发容器上方的样品表面，凝结形成固态薄膜的技术，称为热蒸发镀膜技术。热蒸发镀膜技术是历史最悠久的物理气相淀积PVD技术之一，主要用于蒸发Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni、Cd、Pb等金属材料，可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。现有的热蒸发镀膜仪中，在蒸发容器和固定样品的样品板之间设有挡板，挡板在抽真空、加大电流以使金属熔化的过程中都是关闭的，即挡板阻隔在蒸发容器和样品之间，阻挡了两者之间气流的流通，防止金属表面的杂质污染样品，造成镀膜质量的降低。只有待蒸发容器内镀膜的金属材料完全熔化后，挡板才能够打开，使纯净的金属蒸汽蒸镀到样品表面，凝结成固态薄膜。在使用热蒸发镀膜仪蒸镀金属时，实验人员需要通过窗口观察蒸发容器中金属的熔化程度，以控制打开挡板的时机。存在的问题是，若窗口前没有物体遮挡，弥漫在真空室内的金属蒸汽会凝结在窗口的镜片上，久而久之，观察窗口的镜片被金属薄膜覆盖，使实验人员无法从观察窗口清楚地观察到金属的熔化程度，且金属薄膜不易清洗。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对现有技术的不足而提供的一种用于热蒸发镀膜仪的防污染窗口，本专利技术在凝结舱内设置了观察孔、扫动杆腔、及垂直的风道，将观察孔分为猫眼孔及喇叭口两段，并将猫眼设于猫眼孔内；将半导体制冷器的导冷片设于风道内，使喇叭口周边降温，金属蒸汽则凝结在喇叭口四周，阻碍其凝结在曲面镜上；将扫动模块的摇杆设于凝结舱的扫动杆腔内，且摇杆上的毛刷扫刷在猫眼的曲面镜上及喇叭口端口上，以清除少量没有凝结在喇叭口四周且靠近曲面镜的金属蒸汽；本专利技术有效地提高了热蒸发镀膜仪窗口的整洁度及清晰度，使实验人员能够随时随地并且长时间地观察蒸发容器中金属熔化的情况，控制打开挡板的最佳时机，确保完成高质量的镀膜。实现本专利技术目的的具体技术方案是：一种用于热蒸发镀膜仪的防污染窗口，特点是它包括凝结舱、猫眼、半导体制冷器及扫动模块；所述凝结舱为水平设有观察孔顶部设有制冷器座及底部设有扫动模块座的矩形腔体，其中，观察孔沿轴向由一段猫眼孔及一段喇叭口构成，且猫眼孔与喇叭口之间设有扫动杆腔，制冷器座至喇叭口周边设有垂直的风道；所述猫眼由壳体、曲面镜、凹透镜及凸透镜构成，壳体为筒状体，曲面镜及凹透镜依次设于壳体的一端、凸透镜设于壳体的另一端；所述半导体制冷器由风扇与半导体制冷片连接构成，半导体制冷片的上方设有导热片、下方设有导冷片；所述扫动模块由底座、步进电机、曲柄、连杆及摇杆构成，摇杆为中部及一端分别设有铰接点、另一端两侧设有毛刷的杆件，底座上设有摇杆轴座及电机座，其中，底座、曲柄、连杆及摇杆构成曲柄摇杆机构，步进电机设于底座的电机座上，摇杆一端的铰接点与底座的摇杆轴座铰接，曲柄的一端与步进电机的输出轴固定连接，连杆与曲柄的另一端及摇杆中部的铰接点连接；所述猫眼设于凝结舱上观察孔的猫眼孔内，半导体制冷器经半导体制冷片设于凝结舱顶部的制冷器座上，且半导体制冷器的导冷片位于凝结舱的风道内，扫动模块经底座设于凝结舱底部的扫动模块座上，扫动模块的摇杆位于凝结舱的扫动杆腔内，且摇杆上的毛刷扫刷在猫眼的曲面镜上及喇叭口端口上；所述的猫眼上设有曲面镜的一端朝向观察孔的喇叭口；所述的猫眼的曲面镜的镜片内中含有氧化铁和氧化钴等着色剂。本专利技术在凝结舱内设置了观察孔、扫动杆腔、及垂直的风道，将观察孔分为猫眼孔及喇叭口两段，并将猫眼设于猫眼孔内；将半导体制冷器的导冷片设于风道内，使喇叭口周边降温，金属蒸汽则凝结在喇叭口四周，阻碍其凝结在曲面镜上；将扫动模块的摇杆设于凝结舱的扫动杆腔内，且摇杆上的毛刷扫刷在猫眼的曲面镜上及喇叭口端口上，以清除少量没有凝结在喇叭口四周且靠近曲面镜的金属蒸汽；本专利技术有效地提高了热蒸发镀膜仪窗口的整洁度及清晰度，使实验人员能够随时随地并且长时间地观察蒸发容器中金属熔化的情况，控制打开挡板的最佳时机，确保完成高质量的镀膜。附图说明图1为本专利技术的结构示意图；图2为扫动模块的结构示意图。具体实施方式参阅图1、图2，一种用于热蒸发镀膜仪的防污染窗口，包括凝结舱1、猫眼2、半导体制冷器3及扫动模块4；所述凝结舱1为水平设有观察孔11、顶部设有制冷器座12及底部设有扫动模块座13的矩形腔体，其中，观察孔11沿轴向由一段猫眼孔111及一段喇叭口112构成，且猫眼孔111与喇叭口112之间设有扫动杆腔14，制冷器座12至喇叭口112周边设有垂直的风道15。所述猫眼2由壳体21、曲面镜22、凹透镜23及凸透镜24构成，壳体21为筒状体，曲面镜22及凹透镜23依次设于壳体21的一端、凸透镜24设于壳体21的另一端。所述半导体制冷器3由风扇31与半导体制冷片32连接构成，且半导体制冷片32的上方设有导热片33、下方设有导冷片34。所述扫动模块4由底座42、步进电机43、曲柄44、连杆45及摇杆46构成，摇杆46为中部及一端分别设有铰接点、另一端两侧设有毛刷的杆件，底座42上设有摇杆轴座421及电机座422，其中，底座42、曲柄44、连杆45及摇杆46构成曲柄摇杆机构，步进电机43设于底座42的电机座422上，摇杆46一端的铰接点与底座42的摇杆轴座421铰接，曲柄44的一端与步进电机43的输出轴固定连接，连杆45与曲柄44的另一端及摇杆46中部的铰接点连接。所述猫眼2设于凝结舱1上观察孔11的猫眼孔111内，半导体制冷器3经半导体制冷片32设于凝结舱1顶部的制冷器座12上，且半导体制冷器3的导冷片34位于凝结舱1的风道15内，扫动模块4经底座42设于凝结舱1底部的扫动模块座13上，扫动模块4的摇杆46位于凝结舱1的扫动杆腔14内，且摇杆46上的毛刷扫刷在猫眼2的曲面镜22上及喇叭口112端口上。所述的猫眼2上设有曲面镜22的一端朝向观察孔11的喇叭口112。所述的猫眼2的曲面镜22的镜片内中含有氧化铁和氧化钴等着色剂。实施例参阅图1、图2，本专利技术提供了一种用于热蒸发镀膜仪的防污染窗口，包括凝结舱1、猫眼2、半导体制冷器3及扫动模块4，使用时，只需将凝结舱1的喇叭口112与蒸发容器的观察口对准并安装即可，为便于操作，本专利技术在凝结舱1外面设置了扫动模块4开关及半导体制冷器3开关，供实验人员操控。通过扫动模块4开关控制步进电机43的转速，以控制摇杆46的停止、启动及摆动速度；通过半导体制冷器3开关控制风扇31与半导体制冷片32的停止、启动及制冷程度。参阅图1、图2，本专利技术在凝结舱1内设置了观察孔11、制冷器座12、扫动模块座13、扫动杆腔14及垂直的风道15，将观察孔11分为猫眼孔111及喇叭口112两段，并将猫眼2设于猫眼孔111内；将半导体制冷器3的导冷片34设于风道15内，使喇叭口112周边降温，金属蒸汽则凝结在喇叭口112四周，阻碍其凝结在曲面镜22上；将扫动模块4经底座42设于凝结舱1底部的扫动模块座13上，扫动模块4的摇杆46设于凝结舱1的扫动杆腔14内，且摇杆46上的毛刷扫刷在猫眼2的曲面镜本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于热蒸发镀膜仪的防污染窗口，其特征在于它包括凝结舱（1）、猫眼（2）、半导体制冷器（3）及扫动模块（4），所述凝结舱（1）为水平设有观察孔（11）、顶部设有制冷器座（12）及底部设有扫动模块座（13）的矩形腔体，其中，观察孔（11）沿轴向由一段猫眼孔（111）及一段喇叭口（112）构成，且猫眼孔（111）与喇叭口（112）之间设有扫动杆腔（14），制冷器座（12）至喇叭口（112）周边设有垂直的风道（15）；所述猫眼（2）由壳体（21）、曲面镜（22）、凹透镜（23）及凸透镜（24）构成，壳体（21）为筒状体，曲面镜（22）及凹透镜（23）依次设于壳体（21）的一端、凸透镜（24）设于壳体（21）的另一端；所述半导体制冷器（3）由风扇（31）与半导体制冷片（32）连接构成，且半导体制冷片（32）的上方设有导热片（33）、下方设有导冷片（34）；所述扫动模块（4）由底座（42）、步进电机（43）、曲柄（44）、连杆（45）及摇杆（46）构成，摇杆（46）为中部及一端分别设有铰接点、另一端两侧设有毛刷的杆件，底座（42）上设有摇杆轴座（421）及电机座（422），其中，底座（42）、曲柄（44）、连杆（45）及摇杆（46）构成曲柄摇杆机构，步进电机（43）设于底座（42）的电机座（422）上，摇杆（46）一端的铰接点与底座（42）的摇杆轴座（421）铰接，曲柄（44）的一端与步进电机（43）的输出轴固定连接，连杆（45）与曲柄（44）的另一端及摇杆（46）中部的铰接点连接；所述猫眼（2）设于凝结舱（1）上观察孔（11）的猫眼孔（111）内，半导体制冷器（3）经半导体制冷片（32）设于凝结舱（1）顶部的制冷器座（12）上，且半导体制冷器（3）的导冷片（34）位于凝结舱（1）的风道（15）内，扫动模块（4）经底座（42）设于凝结舱（1）底部的扫动模块座（13）上，扫动模块（4）的摇杆（46）位于凝结舱（1）的扫动杆腔（14）内，且摇杆（46）上的毛刷扫刷在猫眼（2）的曲面镜（22）上及喇叭口（112）端口上。...

【技术特征摘要】
1.一种用于热蒸发镀膜仪的防污染窗口，其特征在于它包括凝结舱（1）、猫眼（2）、半导体制冷器（3）及扫动模块（4），所述凝结舱（1）为水平设有观察孔（11）、顶部设有制冷器座（12）及底部设有扫动模块座（13）的矩形腔体，其中，观察孔（11）沿轴向由一段猫眼孔（111）及一段喇叭口（112）构成，且猫眼孔（111）与喇叭口（112）之间设有扫动杆腔（14），制冷器座（12）至喇叭口（112）周边设有垂直的风道（15）；所述猫眼（2）由壳体（21）、曲面镜（22）、凹透镜（23）及凸透镜（24）构成，壳体（21）为筒状体，曲面镜（22）及凹透镜（23）依次设于壳体（21）的一端、凸透镜（24）设于壳体（21）的另一端；所述半导体制冷器（3）由风扇（31）与半导体制冷片（32）连接构成，且半导体制冷片（32）的上方设有导热片（33）、下方设有导冷片（34）；所述扫动模块（4）由底座（42）、步进电机（43）、曲柄（44）、连杆（45）及摇杆（46）构成，摇杆（46）为中部及一端分别设有铰接点、另一端两侧设有毛刷的杆件，底座（42）上设有摇杆轴座（421）及电机座（422），其中，底座（42）、曲...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文武，杨佳燕，杨宇，沙婷婷，赵柯洋，胡志高，褚君浩，
申请(专利权)人：华东师范大学，
类型：发明
国别省市：上海,31