超纯水制造装置以及超纯水制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能以减少占地面积且廉价的方式制造充分满足了要求水质的高纯度的超纯水的超纯水制造装置以及超纯水制造方法。本发明专利技术提供一种超纯水制造装置，其具备前处理系统、一次纯水系统以及子系统，一次纯水系统顺次具备高压型反渗透膜分离装置、脱气装置、紫外线氧化装置以及离子交换装置。

Ultrapure water manufacturing device and method for producing ultrapure water

The invention provides an ultra pure water manufacturing device capable of producing an ultra pure water with high purity that can meet the requirement of water quality in a reduced area and inexpensive manner, and a manufacturing method of ultrapure water. The invention provides a manufacturing device of ultra pure water, the water treatment system, a system and a system with pure water, in high pressure type reverse osmosis membrane separation device, degassing device, ultraviolet oxidation device and ion exchange device.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】超纯水制造装置以及超纯水制造方法
本专利技术涉及一种超纯水制造装置以及超纯水制造方法。
技术介绍
在电子设备、特别是半导体的制造工序中作为洗净水大量使用的超纯水，是通过利用由前处理系统、一次纯水系统以及子系统构成的超纯水制造系统对原水(从工业用水、水道水、井水、电子设备制造工序排出的已使用的超纯水等)进行处理而制造。例如，在专利文献1中，提出了一种超纯水制造装置，其具备一次纯水系统以及对该一次纯水系统的处理水进行处理的子系统，至少在该一次纯水系统设置反渗透膜分离装置，所述超纯水制造装置的特征在于，设置于该一次纯水系统的反渗透膜分离装置是高压型反渗透膜分离装置，并且以单级方式设置。在专利文献2中，提出了一种超纯水制造装置，其具有前处理系统、对通过该前处理系统处理的前处理水进行处理而制成一次纯水的一次纯水系统、以及对一次纯水进行处理的子系统，所述超纯水制造装置的特征在于，该一次纯水系统构成为以反渗透膜分离装置、脱气装置、电去离子装置、紫外线氧化装置以及非再生型离子交换装置的顺序连接。另外，在专利文献3中，提出了一种超纯水制造装置，其由一次纯水系统和二次纯水系统构成，所述超纯水制造装置的特本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超纯水制造装置，具备前处理系统、一次纯水系统以及子系统，其中，所述一次纯水系统顺次具备高压型反渗透膜分离装置、脱气装置、紫外线氧化装置以及离子交换装置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.12.19 JP 2014-2569391.一种超纯水制造装置，具备前处理系统、一次纯水系统以及子系统，其中，所述一次纯水系统顺次具备高压型反渗透膜分离装置、脱气装置、紫外线氧化装置以及离子交换装置。2.如权利要求1所述的超纯水制造装置，其中，所述高压型反渗透膜分离装置在膜面有效压力为2.0MPa、25℃的条件下具有0.6～1.3m3/m2/天的纯水透过通量。3.如权利要求1或2所述的超纯水制造装置，其中，所述离子交换装置具有以下a)～d)中任一种再生型离子交换装置，a)串联地连接填充有强酸性阳离子交换树脂的阳离子交换塔、填充有强碱性阴离子交换树脂的阴离子交换塔而成的二床二塔式再生型离子交换装置；b)以使强酸性阳离子交换树脂...

【专利技术属性】
技术研发人员：育野望，
申请(专利权)人：栗田工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP