一种感测膜片以及MEMS麦克风制造技术

本发明专利技术公开了一种感测膜片及MEMS麦克风，包括位于中部区域的敏感部，以及位于敏感部外侧边缘且与所述敏感部一体成型的固定部；还包括从固定部延伸至敏感部边缘位置且非封闭的缝隙部，所述缝隙部在感测膜片上围成了根部位于固定部上、自由端延伸至敏感部上边缘位置的保持部；所述敏感部被配置为在受到冲击时相对于保持部发生位移，以在保持部与敏感部之间形成气流流通通道。本发明专利技术的感测膜片，不同于传统的泄压阀结构，对敏感部的振动特性影响较小，敏感部的动态稳定性更好。

A sensing diaphragm and an MEMS microphone

The invention discloses a sensing diaphragm and a MEMS microphone, including the sensitive department is located in the central area, and is located in the outer edge of the fixed part of the sensitive and integrated with the sensitive part; also includes fixing part extending to the sensitive edge position and non gap closed, the gap in the sense the membrane encloses roots in the fixed part, a free end edge extends to the sensitive part of the position; the sensitive portion is configured to be relative to the holding Department displacement at the time of impact, in order to maintain the air flow channel is formed between the Ministry and the Ministry of sensitive. The sensing diaphragm of the invention is different from the traditional pressure relief valve structure, and has less influence on the vibration characteristics of the sensitive part, and the dynamic stability of the sensitive part is better.

【技术实现步骤摘要】
一种感测膜片以及MEMS麦克风
本专利技术涉及一种感测膜片，尤其涉及一种适用于发声的振膜；本专利技术还涉及一种MEMS麦克风。
技术介绍
MEMS感测组件现已应用普及在消费性电子产品中，如何加快产品生产工艺是目前零组件供货商关注的焦点，例如手机生产组装过程中所产生的灰尘碎削通过气枪直接清理，是目前成本最低的方案。因此对MEMS传感器必须提出大声压或大气压的抗吹气改善方案，避免在组装过程，因气枪清理导致麦克风发生破裂失效。例如在麦克风领域，目前的改善方案为在MEMS麦克风的振膜上设置泄压孔或者泄压阀结构。但是泄压孔的结构会减少振膜的有效面积；在振膜上设置的泄压阀结构会直接影响振膜的振动特性，尤其影响振膜的低频特性，而且振膜的动态稳定性比较差。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是提供一种感测膜片的新技术方案。根据本专利技术的第一方面，提供了一种感测膜片，包括位于中部区域的敏感部，以及位于敏感部外侧边缘且与所述敏感部一体成型的固定部；还包括从固定部延伸至敏感部边缘位置且非封闭的缝隙部，所述缝隙部在感测膜片上围成了根部位于固定部上、自由端延伸至敏感部上边缘位置的保持部；所述敏感部被配置为在受到本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感测膜片，其特征在于：包括位于中部区域的敏感部(2)，以及位于敏感部(2)外侧边缘且与所述敏感部(2)一体成型的固定部(5)；还包括从固定部(5)延伸至敏感部(2)边缘位置且非封闭的缝隙部(4)，所述缝隙部(4)在感测膜片上围成了根部位于固定部(5)上、自由端延伸至敏感部(2)上边缘位置的保持部(3)；所述敏感部(2)被配置为在受到冲击时相对于保持部(3)发生位移，以在保持部(3)与敏感部(2)之间形成气流流通通道。

【技术特征摘要】
1.一种感测膜片，其特征在于：包括位于中部区域的敏感部(2)，以及位于敏感部(2)外侧边缘且与所述敏感部(2)一体成型的固定部(5)；还包括从固定部(5)延伸至敏感部(2)边缘位置且非封闭的缝隙部(4)，所述缝隙部(4)在感测膜片上围成了根部位于固定部(5)上、自由端延伸至敏感部(2)上边缘位置的保持部(3)；所述敏感部(2)被配置为在受到冲击时相对于保持部(3)发生位移，以在保持部(3)与敏感部(2)之间形成气流流通通道。2.根据权利要求1所述的感测膜片，其特征在于：所述保持部(3)至少设置有一个。3.根据权利要求2所述的感测膜片，其特征在于：所述保持部(3)至少设置有三个，均匀分布在敏感部(2)边缘的周向上。4.根据权利要求1所述的感测膜片，其特征在于：所述缝隙部(4)包括从固定部(5)延伸至敏感部...

【专利技术属性】
技术研发人员：詹竣凱，周宗燐，蔡孟錦，王宇，
申请(专利权)人：歌尔股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东,37