一种相位掩模板以及光纤光栅的制造设备及方法技术

本发明专利技术提出了一种相位掩模板以及光纤光栅的制造设备及方法；所述相位掩模板，用于设置在光纤(5)的前方，以使紫外光束透过相位掩模板(118)形成的干涉条纹打在光纤(5)的纤芯上，从而形成光纤光栅，包括透明衬底(1)，以及开设在透明衬底(1)上的多个不透明的凹槽(2)；该多个凹槽(2)呈扇形栅状图案分布；位于所述扇形栅状图案中部的凹槽与光纤(5)垂直；相邻两个凹槽(2)之间形成有透过部(3)，紫外光束透过多个透过部(3)形成干涉条纹。本发明专利技术所提出的非均匀相位掩模板可以快速调整干涉条纹周期，可与模板抖动算法配合制造复杂光纤光栅，实用性强。

Device and method for manufacturing phase grating mask and optical fiber grating

The invention provides a phase mask and fiber grating manufacturing equipment and method; the phase mask, used to set in front of the optical fiber (5), in order to make the ultraviolet beam through phase mask (118) formed interference fringes in the optical fiber (5) of the fiber core, formed from optical fiber grating, including a transparent substrate (1), and the opening of the transparent substrate (1) a plurality of grooves on the opaque (2); the plurality of grooves (2) fan-shaped grid pattern is located in the middle part of the groove distribution; the fan-shaped grid pattern and vertical optical fiber (5); two adjacent grooves (2) a through portion formed between the (3), UV light through a transmission portion (3) formed interference fringes. The non-uniform phase mask provided by the invention can quickly adjust the interference fringe period, and can be combined with a template dithering algorithm to manufacture a complex optical fiber grating, and the utility model has the advantages of strong practicability.

【技术实现步骤摘要】
一种相位掩模板以及光纤光栅的制造设备及方法
本专利技术涉及光纤器件领域，尤其涉及一种非均匀相位掩模板，包括该非均匀相位掩模板、用于制造光纤光栅的制造设备，以及采用该非均匀相位掩模板制造光纤光栅的方法。
技术介绍
光纤布拉格光栅(FBG)是在单模光纤的纤芯内通过某种方式对其折射率产生周期性的调制而形成的一种全光纤器件。由于其所具有独特的波长选择性反射或过滤光波的性能，光纤布拉格光栅(FBG)成为光纤传感器和通信工业中最重要的器件之一。由于光纤布拉格光栅的光栅周期多为处于亚微米范围之内，这样，高质量的光纤布拉格光栅需要采用一种尖端高精密设备来制造。现有制造光纤布拉格光栅的技术可分为两类：1)相位掩模法；2)双光束干涉法。相位掩模法是采用衍射光栅来将紫外光束拆分，并在相位掩模板的后方形成干涉条纹。这样，通过将光纤靠近设置在相位掩模板后方，则可以在光纤上形成光纤布拉格光栅(FBG)。相位掩模法不需要对紫外光束进行高精密的定位，并且容易实现，因此，大多数FBG生产商采用这种方法。然而，现有相位掩模法不具有改变FBG的布拉格波长的能力，而很多相位掩模板被要求具有能用于制造具有不同布拉格波长的FB本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种相位掩模板，用于设置在光纤(5)的前方，以使紫外光束透过相位掩模板(118)形成的干涉条纹打在光纤(5)的纤芯上，从而形成光纤光栅，其特征在于，包括透明衬底(1)，以及开设在透明衬底(1)上的多个不透明的凹槽(2)；该多个凹槽(2)呈扇形栅状图案分布；位于所述扇形栅状图案中部的凹槽与光纤(5)垂直；相邻两个凹槽(2)之间形成有透过部(3)，紫外光束透过多个透过部(3)形成干涉条纹。

【技术特征摘要】
1.一种相位掩模板，用于设置在光纤(5)的前方，以使紫外光束透过相位掩模板(118)形成的干涉条纹打在光纤(5)的纤芯上，从而形成光纤光栅，其特征在于，包括透明衬底(1)，以及开设在透明衬底(1)上的多个不透明的凹槽(2)；该多个凹槽(2)呈扇形栅状图案分布；位于所述扇形栅状图案中部的凹槽与光纤(5)垂直；相邻两个凹槽(2)之间形成有透过部(3)，紫外光束透过多个透过部(3)形成干涉条纹。2.根据权利要求1所述的相位掩模板，其特征在于，相位掩模板(118)的凹槽(2)在沿平行于光纤(5)的方向上具有均匀周期；相位掩模板(118)的凹槽(2)的沿平行于光纤(5)的方向上的周期在沿垂直于光纤(5)的方向上呈线性变化。3.一种光纤光栅的制造设备，其特征在于，包括：紫外光束发生器(110)，用于引导由紫外光束发生器(110)发出的紫外光束的光束引导单元(111)，用于调整由光束引导单元(111)引出的紫外光束的形状的射束成形单元(113)，用于监测由光束引导单元(111)引出的紫外光束的位置、以便于调整由光...

【专利技术属性】
技术研发人员：张阿平，谭华耀，
申请(专利权)人：香港理工大学，
类型：发明
国别省市：中国香港,81