用于识别的微电容超声波换能器线性阵列装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于识别的微电容超声波换能器线性阵列装置，包括外壳（7），所述外壳（7）内安装阵列芯片PCB引线板（4），所述阵列芯片PCB引线板（4）上表面电连接CMUT阵列芯片（3），所述外壳（7）上位于CMUT阵列芯片（3）前方密封安装透声强化玻璃（1），所述CMUT阵列芯片（3）与透声强化玻璃（1）之间充填硅油透声介质（2）。本发明专利技术装置具有结构简单、微型化、低成本、易阵列加工、适于大批量生产等优点，可实现智能终端外壳无孔式设计，提高智能终端的防水防尘性能；同时也有效提高了湿手及水下指纹识别的识别精度、效率以及安全可靠性。

【技术实现步骤摘要】
用于识别的微电容超声波换能器线性阵列装置
本专利技术涉及MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem)传感器领域中的微电容超声波换能器阵列，具体是一种用于防水智能终端指纹识别的微电容超声波换能器线阵装置，可实现在湿手状态下和水下环境中指纹及其表皮底层结构的三维成像和识别。
技术介绍
随着互联网通讯和信息化时代的来临，越来越多的高科技智能产品（手机、平板电脑、笔记本等）被广泛应用到日常生活中，移动信息通讯带来的方便快捷使得利用智能终端存储隐私信息和管理电子财产成为普遍现象，与此同时，随之而来的是日益突出的身份验证识别安全隐患，正如传统“账号+密码”和磁卡身份验证识别方法存在着遗忘丢失、复制泄露、破解窃取等问题。生物特征识别技术（指纹、虹膜、DNA、笔迹、步态等）作为一种更加便捷、安全、可靠的识别技术日益成为人们研究的焦点。在众多生物识别技术中，因指纹属性又具备唯一性、不变性、便捷性、十指组合安全性、易采集存储性等特征，使指纹识别技术成为目前应用于移动智能终端最为广泛和成熟的身份识别技术。一个指纹识别系统，最关键最首要的任务就是如何高效、便捷、可靠地获取丰富的指本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于识别的微电容超声波换能器线性阵列装置，其特征在于：包括外壳（7），所述外壳（7）内安装阵列芯片PCB引线板（4），所述阵列芯片PCB引线板（4）上表面电连接CMUT阵列芯片（3），所述外壳（7）上位于CMUT阵列芯片（3）前方密封安装透声强化玻璃（1），所述CMUT阵列芯片（3）与透声强化玻璃（1）之间充填硅油透声介质（2）；所述壳体内位于阵列芯片PCB引线板（4）背面封装屏蔽干扰信号的铜箔（5），所述壳体内为阵列芯片PCB引线板（4）和铜箔（5）的四周封装环氧树脂被衬吸声材料（6）；所述阵列芯片PCB引线装置（4）的引出导线（24）穿出外壳（7）。

【技术特征摘要】
1.一种用于识别的微电容超声波换能器线性阵列装置，其特征在于：包括外壳（7），所述外壳（7）内安装阵列芯片PCB引线板（4），所述阵列芯片PCB引线板（4）上表面电连接CMUT阵列芯片（3），所述外壳（7）上位于CMUT阵列芯片（3）前方密封安装透声强化玻璃（1），所述CMUT阵列芯片（3）与透声强化玻璃（1）之间充填硅油透声介质（2）；所述壳体内位于阵列芯片PCB引线板（4）背面封装屏蔽干扰信号的铜箔（5），所述壳体内为阵列芯片PCB引线板（4）和铜箔（5）的四周封装环氧树脂被衬吸声材料（6）；所述阵列芯片PCB引线装置（4）的引出导线（24）穿出外壳（7）。2.根据权利要求1所述的用于识别的微电容超声波换能器线性阵列装置，其特征在于：所述外壳（7）材料为PVC。3.根据权利要求1或2所述的用于识别的微电容超声波换能器线性阵列装置，其特征在于：所述CMUT阵列芯片（3）通过N个阵元（8）排成一排构成，每个阵元由2×X个敏感单元（11）排列构成；具体如下：包括公共硅衬底（17），所述公共硅衬底（17）的上表面为氧化层（16）、其下表面覆盖下电极（18），所述氧化层（16）的上表面开设有若干真空腔（15），所述氧化层（16）的上表面键合振动薄膜（14），所述振动薄膜（14）的上表面设隔离层（13），围绕隔离层（13）的四周边缘处及其内部开设有下沉的隔离槽（9），所述隔离槽（9）贯穿隔离层（13）和振动薄膜（14）后，其槽底开设于氧化层（16）上；所述隔离层（13）的上表面上正对每个真空腔（15）的中心位置处设有上电极（12）；所述氧化层（16）上的真空腔（15）位于同一隔离区域内后形成一个阵元（8）；所述隔离层（13）的上表面位于一个阵元内的两端边缘处...

【专利技术属性】
技术研发人员：张睿，陈立潮，张永梅，潘理虎，谢斌红，薛晨阳，张文栋，
申请(专利权)人：太原科技大学，
类型：发明
国别省市：山西,14