基于同心球聚焦元件的多光谱干涉仪制造技术

基于同心球聚焦元件的多光谱干涉仪，属于光学测量领域，为解决现有干涉仪只能提供一种测量通道的问题，前置干涉成像系统，该系统由复色光源和干涉仪光学系统组成，该干涉仪为复色光源发出的光入射到扩束镜，扩束后发出的光入射到第一分光板，光经第一分光板反射后被准直透镜准直成平行光束，平行光束垂直依次入射到标准平晶及待测件上；光经标准平晶和待测件反射，反射光经过第一分光板透射到第二分光板上，经第二分光板经进入准直透镜出射成平行光，平行光再经分光光栅将复色光分成不同谱段的光，不同谱段的光通过同心球聚焦元件聚焦到中继成像系统上，再由CMOS探测器进行干涉成像检测和分析；本发明专利技术具有共光路多光轴特性，实现多光谱干涉检测。

Multi spectral interferometer based on concentric sphere focusing element

Multi spectral concentric spherical focusing element interferometer based on, which belongs to the field of optical measurement, provides a measure to solve the problems of the existing channel interferometer can lead the interferometric imaging system, the system consists of polychromatic source and interferometer optical system. The interferometer for color light emitted from the light incident to the beam expander. A beam after the incident light to the first light, light through the first light reflected by the collimating lens collimation into a parallel beam and parallel beam vertical successively to the standard flat and samples; light by standard flat samples and reflection, reflecting light through the first light transmission to second points light, after second minutes after entering the light collimating lens exit into parallel light and parallel light through optical grating of polychromatic light into different spectral light, different spectrum light through concentric spherical focusing elements to focus In the relay imaging system, the CMOS detector is used for interference imaging detection and analysis, and the invention has the characteristics of common optical path and multi optical axis characteristics, and realizes multi spectral interference detection.

【技术实现步骤摘要】
基于同心球聚焦元件的多光谱干涉仪
本专利技术新型提供一种基于同心球聚焦元件的多光谱干涉仪，属于光学测量领域。
技术介绍
随着人们对干涉技术研究不断加深，目前在军事和民用领域中，多光谱干涉仪得到广泛应用。因此，如何快速、精确的得到多个不同谱段的干涉图像，对于干涉成像技术的研究是非常重要的。目前，光干涉检测技术是一种以光波干涉原理为基础的计量测试方法，是公认的检测光学元件、光学系统最有效、最准确的手段之一。干涉仪釆用干涉检测技术，实现波长量级的非接触式测量，具有比其它类型的检测仪器更高的灵敏度与更好的易用性。斐索激光干涉仪主要用于元件的表面面形测量，它具有非接触、无损伤、精确度高等突出优点，目前，已成为光学元件检测的首选方式。菲索干涉仪通常由光源、扩束镜、准直镜、标准参考镜、成像镜、系统光阑、面阵探测器等部分组成。但传统的斐索干涉仪缺点主要表现为：1、光源为单色光源，不能同时得到多个谱段的干涉图像；2、需要通过数值分析和解算获得多光谱信息，实时性低；3、结构上是多个单光轴组合成像，视场受限，分辨率低；4、系统光阑固定，入射光线方向自由度低，系统成像范围受限。中国专利申请号为“CN2014本文档来自技高网...

【技术保护点】
基于同心球聚焦元件的多光谱干涉仪，其包括：前置干涉成像系统，该系统由复色光源(1)和干涉仪光学系统组成，该干涉仪光学系统包括扩束镜(2)、第一分光板(3)、准直透镜(4)、标准平晶(5)和第二分光板(7)；准直分光系统，该系统由准直透镜(8)和分光光栅(9)组成；其特征是，其还包括多通道频‑空转换采样系统，该系统由同心球聚焦元件(10)、中继成像系统(11)和CMOS探测器(12)组成，中继成像系统(11)的入瞳与同心球聚焦元件(10)的中心位置重合；复色光源(1)发出的光入射到扩束镜(2)，扩束后发出的光入射到第一分光板(3)，光经第一分光板(3)反射后被准直透镜(4)准直成平行光束，平行光...

【技术特征摘要】
1.基于同心球聚焦元件的多光谱干涉仪，其包括：前置干涉成像系统，该系统由复色光源(1)和干涉仪光学系统组成，该干涉仪光学系统包括扩束镜(2)、第一分光板(3)、准直透镜(4)、标准平晶(5)和第二分光板(7)；准直分光系统，该系统由准直透镜(8)和分光光栅(9)组成；其特征是，其还包括多通道频-空转换采样系统，该系统由同心球聚焦元件(10)、中继成像系统(11)和CMOS探测器(12)组成，中继成像系统(11)的入瞳与同心球聚焦元件(10)的中心位置重合；复色光源(1)发出的光入射到扩束镜(2)，扩束后发出的光入射到第一分光板(3)，光经第一分光板(3)反射后被准直透镜(4)准直成平行光束，平行光束垂直依次入射到标准平晶(5)及待测件(6)上；光经标准平晶(5)和待测件(6)反射，反射光经过第一分光板(3)透射到第二分光板(7)上，经第二分...

【专利技术属性】
技术研发人员：付跃刚，林鹤，赵宇，胡源，刘智颖，王加科，
申请(专利权)人：长春理工大学，
类型：发明
国别省市：吉林,22