【技术实现步骤摘要】
,含该聚合物的感光树脂组合物及应用的制作方法
本专利技术涉及一种含硫和/或氮原子的聚合物,特别涉及含有该聚合物的感光树脂组合物,以及含有该树脂组合物的喷墨头制程用光阻剂。通过含硫和/或氮原子基团的导入,含有此聚合物的光阻剂与金属之间的附着力可得以提高。喷墨头在彩色喷墨打印机中为关键组件之一,其包括上层板,干膜光阻剂中间层,和下层板。上层板通常是由贵金属(例如Cu,Au,Ni,或Ni-Au)、玻璃、或塑料所形成,并且设有墨水喷孔。下层板通常是一热稳定基板,例如硅晶圆,其上设有微电路以提供喷墨头的加热源。在喷墨头的制程中,干膜光阻剂中间层需经过曝光、显影的步骤来形成所需线路,从而定义出墨水信道(ink passageway)。制程中所需的光阻剂组合物包括光引发剂、反应单体、粘结剂、固化剂、附着促进剂和添加剂等。干膜光阻剂的隆起(tenting)特性、耐碱性和对Ni-Au附着性及密合性对于喷墨头品质有极大的影响。为了增加光阻剂与Cu,Au,Ni-Au等金属的附着力,曾有人在光阻剂配方中添加部分含磷或含硫化合物,当作附着促进剂。例如,Chandrasekaran在U. ...
【技术保护点】
一种含异原子的聚合物,其是由以下方法而制得: 将一含环氧乙烷基的聚合物与一单羧酸化合物反应,以进行环氧乙烷基开环反应,而产生一醇基, 其中该单羧酸化合物包括一含有异原子的单羧酸化合物,该异原子选自于由硫、氮、及其混合物所组成的族群。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:杨胜俊,宋清潭,许永岱,
申请(专利权)人:财团法人工业技术研究院,长春人造树脂厂股份有限公司,
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]
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