一种红外纳秒激光与红外皮秒激光合束设备及其合束方法技术

本发明专利技术公开了一种红外纳秒激光与红外皮秒激光合束设备及其合束方法，该设备包括红外皮秒激光器、红外纳秒激光器、激光合束模块以及激光振镜扫描光路模块；所述红外皮秒激光器和红外纳秒激光器分别输出红外皮秒和红外纳秒激光，所述激光合束模块将输出的红外皮秒激光和红外纳秒激光合为一束并输出合束激光，所述激光振镜扫描光路模块接收合束光，并交替输出红外皮秒激光和红外纳秒激光；本发明专利技术可以把红外纳秒激光快速去除材料与红外皮秒激光器热影响小，裂痕细小，表面碎屑少的优势结合，快速完成特定高质的激光加工要求。

Infrared nanosecond laser and infrared picosecond laser beam combining device and beam combining method thereof

The invention discloses an infrared nanosecond and picosecond infrared laser beam combining device and beam method, the device includes a module and infrared picosecond laser, infrared nanosecond laser, laser beam and laser scanning optical module; the infrared picosecond laser and infrared laser output infrared nanosecond picosecond and nanosecond laser infrared. The laser beam module infrared picosecond laser output and the infrared nanosecond laser is a beam and output beam of laser, the laser scanning optical module receives light, and alternatively outputting infrared picosecond excitation light and infrared nanosecond laser; the invention can quickly remove the infrared nanosecond laser and infrared material picosecond laser with small thermal effect, small cracks, combined with the advantage of fewer surface debris, rapid completion of specific laser processing quality requirements.

【技术实现步骤摘要】
一种红外纳秒激光与红外皮秒激光合束设备及其合束方法
本专利技术涉及激光焊接等领域，尤其涉及一种红外纳秒激光与红外皮秒激光合束设备及其合束方法。
技术介绍
随着近代电子产品加工技术的迅猛发展，客户对产品的要求日益提高，红外纳秒激光可以快速去除材料，而红外皮秒激光器热影响小，裂痕细小，表面碎屑少，但实际情况下单一激光加工的局限性逐步显现。
技术实现思路
为了克服现有的相关产品的所有不足，本专利技术提出一种新型的红外纳秒激光与红外皮秒激光合束设备及其合束方法，该激光设备可以把红外纳秒激光快速去除材料的优势与红外皮秒激光器热影响小，裂痕细小，表面碎屑少的优势结合，快速完成特定的高质量的红外激光加工要求。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本专利技术所提供的一种红外纳秒激光与红外皮秒激光合束设备，包括：红外皮秒激光器、红外纳秒激光器、激光合束模块以及激光振镜扫描光路模块；所述红外皮秒激光器和红外纳秒激光器分别输出红外皮秒激光和红外纳秒激光，所述激光合束模块将输出的红外皮秒激光和红外纳秒激光合为一束并输出合束激光，所述激光振镜扫描光路模块接收合束光，并交替输出红外皮秒激光和红外纳秒激光。作为本专利技术的进一步改进，所述红外皮秒激光器包括红外皮秒激光发射器、第一45度全反镜和第二45度全反镜，所述红外皮秒激光发射器输出红外皮秒激光，红外皮秒激光经过第一45度全反镜和第二45度全反镜两次全反射后进入激光合束模块。作为本专利技术的进一步改进，所述红外纳秒激光器包括红外纳秒激光发射器、第三45度全反镜和第四45度全反镜，所述红外纳秒激光发射器输出红外纳秒激光，红外纳秒激光经过第三45度全反镜和第四45度全反镜两次全反射后进入激光合束模块。作为本专利技术的进一步改进，所述的红外纳秒激光与红外皮秒激光合束设备还可以包括一个红光预览合束模块，所述红光预览合束模块包括红光预览激光发射器和红光预览模块，所述红光预览激光发射器输出预览红光，所述红光预览模块将红外皮秒和红外纳秒合束光以及红光反射后输出到激光振镜扫描光路模块。作为本专利技术的进一步改进，所述激光合束模块包括合束镜片、校位孔和玻片模块，所述合束镜片、校位孔和玻片模块中心位于同一轴线上，红外皮秒激光和红外纳秒激光在合束镜片处合束且经过45度全反射，并通过校位孔和玻片模块进入红光预览模块。作为本专利技术的进一步改进，所述激光振镜扫描光路模块负责接收红光预览模块输出的合束光和红光，并将信息反馈给系统，实时调整激光的输出。作为本专利技术的进一步改进，所述红外纳秒激光与红外皮秒激光合束设备还可以包括有一支架平台，所述支架平台固定设置在红外皮秒激光器一侧朝外的上边缘处，所述红外纳秒激光器、激光合束模块以及红光预览合束模块固定设置在支架平台上方。本专利技术所提供的一种红外纳秒激光与红外皮秒激光合束方法，包括以下步骤：步骤a：所述红外皮秒激光器输出红外皮秒激光；步骤b：所述红外纳秒激光器输出红外纳秒激光；步骤c：所述激光合束模块将输出的红外皮秒激光和红外纳秒激光合为一束并输出合束激光；步骤d：所述激光合束模块输出的合束光经过红光预览模块反射后进入激光振镜扫描光路模块；步骤e：所述激光振镜扫描光路模块接收合束光和红光，并交替输出红外皮秒激光和红外纳秒激光。作为本专利技术的进一步改进，所述红外纳秒激光与红外皮秒激光合束方法还可以包括一个步骤：所述红光预览合束模块输出预览红光，预览红光经过红光预览模块反射后进入激光振镜扫描光路模块。与现有技术相比，本专利技术有以下优点：1、红外纳秒激光的光热作用与红外皮秒激光器光化学烧蚀作用结合，把红外纳秒激光快速去除材料的优势与红外皮秒激光器热影响小，裂痕细小，表面碎屑少的优势结合，快速完成特定的高质量的红外激光加工要求2、合束光路通过数字化扫描光路，由激光打标软件根据打标图形控制红外纳秒激光与红外皮秒激光的出光顺序，达到红外纳秒激光与红外皮秒激光快速切换的集成控制效果。3、通过红光预览便于机台装调，打开红光，即可以判定激光出光中心位置，调节产品位置预览打标的位置；在没有出光的情况下，完成产品的对位调试，提高了调试的安全性，降低产品在调试中的损耗，快速，直接，高效，安全。附图说明图1为本专利技术红外纳秒激光与红外皮秒激光合束设备整体示意图；图2为本专利技术红外皮秒激光器结构示意图；图3为本专利技术红外纳秒激光器机构示意图；图4为本专利技术激光合束模块结构示意图；图5为本专利技术红外纳秒激光与红外皮秒激光合束方法流程图；附图标记：1-红外皮秒激光器；2-红外纳秒激光器；3-激光合束模块；4-红光预览合束模块；5-激光振镜扫描光路模块；6-支架平台；11-红外皮秒激光发射器；12-第一45度全反镜；13-第二45度全反镜；21-红外纳秒激光发射器；22-第三45度全反镜；23-第四45度全反镜；31-合束镜片；32-校位孔；33-玻片模块；41-红光激光发射器；42-红光预览模块；具体实施方式为了便于理解本专利技术，下面将参照相关附图对本专利技术进行更全面的描述。附图中给出了本专利技术的较佳实施例。但是，本专利技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本专利技术的公开内容的理解更加透彻全面。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术。参阅图1所示，所述红外纳秒激光与红外皮秒激光合束设备包括红外皮秒激光器1、红外纳秒激光器2、激光合束模块3、红光预览合束模块4、激光振镜扫描光路模块5以及支架平台6；所述支架平台6固定设置在红外皮秒激光器1一侧朝外的上边缘处，所述红外纳秒激光器2、激光合束模块3以及红光预览合束模块4分别固定设置在支架平台6上方，所述激光振镜扫描光路模块5与支架平台6位于同一高度。参阅图2所示，所述红外皮秒激光器1包括红外皮秒激光发射器11、第一45度全反镜12和第二45度全反镜13，所述红外皮秒激光发射器11输出红外皮秒激光，所述第一45度全反镜12和第二45度全反镜13相对于射入光路呈45度角倾斜，红外皮秒激光经过第一45度全反镜12和第二45度全反镜13两次全反射后进入激光合束模块3。参阅图3所示，所述红外纳秒激光器2包括红外纳秒激光发射器21、第三45度全反镜22和第四45度全反镜23，所述红外纳秒激光发射器21输出红外纳秒激光，所述第三45度全反镜22和第四45度全反镜23相对于射入光路呈45度角倾斜，红外纳秒激光经过第三45度全反镜22和第四45度全反镜23两次全反射后进入激光合束模块3。参阅图4所示，所述激光合束模块3包括合束镜片31、校位孔32和玻片模块33，所述合束镜片31、校位孔32和玻片模块33中心位于同一轴线上，所述合束镜片31是45度全反镜，所述校位孔32和玻片模块33保证输出光路的一致性，所述红外皮秒激光器1和红外纳秒激光器2输出的红外皮秒激光和红外纳秒激光在合束镜片31处合束且经过45度全反射，通过校位孔32和玻片模块33进入红光预览合束模块4。所述红光预览合束模块4包括红光预览激光发射器41和红光预览模块42，所述红光预览激光发射器41输出预览红光，所述红光预览模块42与激光本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种红外纳秒激光与红外皮秒激光合束设备，其特征在于，包括：红外皮秒激光器(1)、红外纳秒激光器(2)、激光合束模块(3)以及激光振镜扫描光路模块(5)；所述红外皮秒激光器(1)和红外纳秒激光器(2)分别输出红外皮秒激光和红外纳秒激光，所述激光合束模块(3)将输出的红外皮秒激光和红外纳秒激光合为一束并输出合束激光，所述激光振镜扫描光路模块(5)接收合束光，并交替输出红外皮秒激光和红外纳秒激光。

【技术特征摘要】
1.一种红外纳秒激光与红外皮秒激光合束设备，其特征在于，包括：红外皮秒激光器(1)、红外纳秒激光器(2)、激光合束模块(3)以及激光振镜扫描光路模块(5)；所述红外皮秒激光器(1)和红外纳秒激光器(2)分别输出红外皮秒激光和红外纳秒激光，所述激光合束模块(3)将输出的红外皮秒激光和红外纳秒激光合为一束并输出合束激光，所述激光振镜扫描光路模块(5)接收合束光，并交替输出红外皮秒激光和红外纳秒激光。2.如权利要求1所述的红外纳秒激光与红外皮秒激光合束设备，其特征在于：所述红外皮秒激光器(1)包括红外皮秒激光发射器(11)、第一45度全反镜(12)和第二45度全反镜(13)，所述红外皮秒激光发射器(11)输出红外皮秒激光，红外皮秒激光经过第一45度全反镜(12)和第二45度全反镜(13)两次全反射后进入激光合束模块(3)。3.如权利要求1所述的红外纳秒激光与红外皮秒激光合束设备，其特征在于：所述红外纳秒激光器(2)包括红外纳秒激光发射器(21)、第三45度全反镜(22)和第四45度全反镜(23)，所述红外纳秒激光发射器(21)输出红外纳秒激光，红外纳秒激光经过第三45度全反镜(22)和第四45度全反镜(23)两次全反射后进入激光合束模块(3)。4.如权利要求1所述的红外纳秒激光与红外皮秒激光合束设备，其特征在于：所述的红外纳秒激光与红外皮秒激光合束设备还可以包括一个红光预览合束模块(4)，所述红光预览合束模块(4)包括红光预览激光发射器(41)和红光预览模块(42)，所述红光预览激光发射器(41)输出预览红光，所述红光预览模块(42)将红外皮秒和红外纳秒合束光以及红光反射后输出到激光振镜扫描光路模块(5)。5.如权利要求4所述的红外纳秒激光与红外皮秒...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱冉，刘亮，杨柯，乐舟南，曹洪涛，吕启涛，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44