The invention discloses a preparation method of a new type of electric heating type air suction element, the method includes the following steps: (1) preparation of getter alloy materials: getter alloy after crushing the vibrating screen machine screening, getter alloy powder obtained is located between the upper and lower two screen specific size range; the the particle size range of alloy powder in ethanol intake by ultrasonic treatment, air drying spare alloy powder processed; (2) preparation of metal alloy tube: metal alloy tube made arranged profractional mesh structure in the pipe wall, the metal alloy tube after hole ultrasonic cleaning to dry (3;) preparation of getter element: the treated air filling alloy powder to metal alloy tube, prepared suction element. The method has the advantages of simple process, easy control, and can overcome the disadvantages of the existing suction element such as powder dropping, assembly inconvenience and wire breaking, etc. the getter elements produced by the method have higher mechanical strength and machining accuracy.
【技术实现步骤摘要】
一种新型电加热型吸气元件的制备方法
本专利技术涉及一种新型电加热型吸气元件的制备方法,属于电真空吸气元件
技术介绍
吸气材料能够通过物理或化学吸附作用吸收真空器件中的残余活性气体或器件使用过程中释放的活性气体,提高真空系统的极限真空水平,避免气体与精密元件反应导致污染或气体阻尼过大等负面作用,达到维持真空设备或密封器件真空品质与理想工作环境的目的。在使用过程中,一般要求吸气元件具备优良的吸气性能和强度性能,同时安装工艺简单,满足这些要求除了与吸气材料本身特性有关外,更与吸气元件的制备工艺有直接关联。在吸气材质确定的前提下,吸气元件的制备工艺是影响元件吸气性能、强度性能的决定因素。将吸气材料制成吸气元件的方法有多种,主要有以下几类:(1)合金直接破碎法,采用此种方法即将吸气合金熔炼、破碎、制粉、压制成型后直接使用。采用此种方法制备吸气元件工艺过程简单、成本较低,但缺点是吸气元件机械强度很差,在振动条件下使用容易掉粉。(2)粉末冶金工艺,该工艺是将吸气合金粉末采用模压或等静压技术压制成型,或者与成型剂混和调制成浆状直接涂覆在热丝或器件表面成型,然后经过高温、高真空烧结而制得吸气元件。由于吸气元件经过高温烧结,机械强度相对较好,适用范围宽。但该工艺不适用于脆性合金粉末,如锆钒铁、锆铝等,且工艺过程较复杂,影响因素多,成本相对较高。(3)注射成型法,用粉末注射成型的方法制备吸气元件,形状和质量一致性高,批生产能力强,但该工艺需要经过原料混炼、注射、两步脱脂、高真空烧结等多步工艺过程,制备工艺较为繁琐,并且对吸气材料也有一定的选择性。(4)真空镀膜法,随着 ...
【技术保护点】
一种新型电加热型吸气元件的制备方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:(1)准备吸气合金材料:将破碎后的吸气合金采用振筛机筛分,得到位于上、下层两个筛网之间的特定粒径范围的吸气合金粉末;以下层筛网的孔径为标准特制成与烧杯配合为一体的筛网,将该粒径范围的吸气合金粉末平铺在筛网上,向烧杯中注入无水乙醇以没过吸气合金粉末;将烧杯放置在超声波容器中进行超声处理,处理完毕的吸气合金粉末待无水乙醇挥发后在真空烘箱中以80℃×3h的工艺烘干备用;(2)制备金属合金管:采用激光或机械打孔在金属合金管壁上打出多个直径为1‑100μm的微孔,具体方法为:沿管壁的轴向打出一排微孔,再转动金属合金管依次沿径向打出同样的微孔,各个微孔之间间隔一定距离,这些微孔排列成点阵网状结构,打完孔的金属合金管用超声波清洗后晾干备用;(3)制备吸气元件:将合金管一头用夹具直接夹紧,或者将镍条或镍丝插入管内2‑3mm再用夹具直接夹紧,之后用点焊机焊接牢固,从合金管的另一端灌装步骤(1)得到的吸气合金粉末,灌装完毕,同样用夹具直接夹紧或者插入镍丝或镍条夹紧并焊接牢固,制得吸气元件。
【技术特征摘要】
1.一种新型电加热型吸气元件的制备方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:(1)准备吸气合金材料:将破碎后的吸气合金采用振筛机筛分,得到位于上、下层两个筛网之间的特定粒径范围的吸气合金粉末;以下层筛网的孔径为标准特制成与烧杯配合为一体的筛网,将该粒径范围的吸气合金粉末平铺在筛网上,向烧杯中注入无水乙醇以没过吸气合金粉末;将烧杯放置在超声波容器中进行超声处理,处理完毕的吸气合金粉末待无水乙醇挥发后在真空烘箱中以80℃×3h的工艺烘干备用;(2)制备金属合金管:采用激光或机械打孔在金属合金管壁上打出多个直径为1-100μm的微孔,具体方法为:沿管壁的轴向打出一排微孔,再转动金属合金管依次沿径向打出同样的微孔,各个微孔之间间隔一定距离,这些微孔排列成点阵网状结构,打完孔的金属合金管用超声波清洗后晾干备用;(3)制备吸气元件:将合金管一头用夹具直接夹紧,或者将镍条或镍丝插入管内2-3mm再用夹具直接夹紧,之后用点焊机焊接牢固,从合金管的另一端灌装步骤(1)得到的吸气合金粉末,灌装完毕,同样用夹具直接夹紧或者插入镍丝或镍条夹紧并焊接牢固,制得吸气元件。2.根据权利要求1所述的新型电加热型吸气元件的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中的超声处理方式为:每处理3分钟停歇2分钟,重复进行3次;之后换取新的无水乙醇重...
【专利技术属性】
技术研发人员:张艳,杨志民,崔建东,苑鹏,陈博昊,吴然嵩,崔航,徐晓强,
申请(专利权)人:北京有色金属研究总院,
类型:发明
国别省市:北京,11
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