电容反馈型可调谐法布里珀罗滤波器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种电容反馈型可调谐法布里珀罗滤波器，包括两相对设置的支架、分别设置在两支架上且相对的平面腔镜、多个连接两支架且均匀分布在两平面腔镜外周的压电陶瓷，支架上设有与平面腔镜同光轴、用于供光线进出的通光孔；两所述平面腔镜相对的腔面上分别对应的镀有多个金属电极构成多对电容传感器，根据各电容传感器的电容值得到两腔面之间的间隙值，根据各电容传感器的电容值控制两腔面的平行度及两腔面之间的腔长。本实用新型专利技术通过在两个平面腔镜上镀金属膜构成多个平行平板电容器对，利用这些电容器的电容值，可以实时地测量平行平板之间的微小夹角以及各部分的间隙数值，以便对平行度和法布里珀罗腔长(输出波长)进行控制。

【技术实现步骤摘要】
电容反馈型可调谐法布里珀罗滤波器
本技术涉及一种光谱测试和传感系统中使用的光器件，尤其涉及一种电容反馈型可调谐法布里珀罗滤波器。
技术介绍
扫描法布里珀罗滤波器是一种通带可调谐的光滤波器件，具有结构灵活，插入损耗低，调谐速度快，调谐范围广，精细度高等优点，受到广泛重视。在光通信领域，扫描法布里珀罗滤波器可用于波分复用的解复用；在光纤传感领域，可作为位移、应变传感器件，还可作为光纤光栅传感器的波长解调器件。此外，在光纤激光器、光谱分析等领域，扫描法布里珀罗滤波器也有重要应用。在光谱仪器方面，目前已有用法布里珀罗腔扫描滤波的方法来实现光谱分辨率增强，即在光栅光谱仪的基础上加入一块扫描法布里珀罗滤波器可使原本不可分辨的波长在时域扫描过程中得到分辨，从而提高光谱分辨率。法布里珀罗滤波器基于多光束干涉原理，当一束相干光入射到法布里珀罗腔中，入射光在法布里珀罗腔中来回多次反射，产生多光束干涉形成光学谐振。在每次反射过程中，相邻两束反射光或透射光的相位差都相等，其相位差满足以下关系：当相位差是2π的倍数时，形成相长干涉，透射光最强，因此通过调节法布里珀罗腔的腔长d或折射率n均可改变法布里一珀罗滤波本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电容反馈型可调谐法布里珀罗滤波器，其特征在于：包括两相对设置的支架、分别设置在两支架上且相对的平面腔镜、多个连接两支架且均匀分布在两平面腔镜外周的压电陶瓷，支架上设有与平面腔镜同光轴、用于供光线进出的通光孔；两所述平面腔镜相对的腔面上分别对应的镀有多个金属电极构成多对电容传感器，根据各电容传感器的电容值得到两腔面之间的间隙值，根据各电容传感器的电容值控制两腔面的平行度及两腔面之间的腔长。

【技术特征摘要】
1.一种电容反馈型可调谐法布里珀罗滤波器，其特征在于：包括两相对设置的支架、分别设置在两支架上且相对的平面腔镜、多个连接两支架且均匀分布在两平面腔镜外周的压电陶瓷，支架上设有与平面腔镜同光轴、用于供光线进出的通光孔；两所述平面腔镜相对的腔面上分别对应的镀有多个金属电极构成多对电容传感器，根据各电容传感器的电容值得到两腔面之间的间隙值，根据各电容传感器的电容值控制两腔面的平行度及两腔面之间的腔长。2.根据权利要求1所述的电容反馈型可调谐法布里珀罗滤波器，其特征在于：通过电容公式C＝εS/d得到两腔面之间的间隙值，其中ε为两相对的所述金属电极间介质的介电常数，S为所述金属电极的极板面积，d为两腔面之间的间隙值；将多个间隙值取平均作为两腔面之间的腔长。3.根据权利要求1所述的电容反馈型可调谐法布里珀罗滤波器，其特征在于：通过将各电容传感器与信号处理电路电性连接，信号处理电路与反馈控制...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡志坚，陆逸凡，吴建宏，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：新型
国别省市：江苏,32