The invention discloses a vertical multistage quartz tube cleaning machine, including: cleaning platform, rotating arranged in the body, cleaning the surface of the platform around the center through a plurality of mounting holes, the mounting hole is arranged on the inner side of the quartz tube is fixed on the turntable, the turntable, driven by its rotation, and driven by the revolution of the cleaning platform; one to a plurality of outer nozzle, vertically arranged in the body, and is located in the quartz tube outside, a plurality of nozzles arranged along the outer side wall of the nozzle for spraying, cleaning liquid or gas to clean or dry quartz tube; a plurality of nozzles corresponding to the turntable, and the turntable across the bottom into the quartz tube, the side wall of the nozzle and also the top is provided with a plurality of nozzle for spray cleaning liquid or gas to clean or dry quartz tube; a method of cleaning a corresponding disposable and open; The utility model has the advantages of comprehensive and effective cleaning for a plurality of quartz tubes, and the classification and recovery of the waste liquid after cleaning, and the structure is simple and easy to realize.
【技术实现步骤摘要】
一种立式多工位石英管清洗机及清洗方法
本专利技术涉及半导体清洗设备
,更具体地,涉及一种立式多工位石英管清洗机及使用该清洗机清洗石英管的清洗方法。
技术介绍
石英管配合使用在扩散炉中,常用于半导体加工中对硅片进行高温扩散。在进行高温扩散工艺时,是将硅片连同硅片托架一起放入石英管中进行工艺。为了使扩散更稳定,PN结分布更均匀,必须保证石英管内压力稳定和气密性良好。通常,都是采用负压技术来检测石英管的气密性,只有当气密性符合要求时,方可进行工艺。石英管在长期的扩散工艺中会产生结垢,而扩散工艺对石英管洁净度的要求非常严格,不允许石英管的管壁有其他金属杂质或离子存在。由于石英管表面的洁净度直接影响了硅片的良品率,因此,对石英管的定期清洗显得尤为重要。中国专利技术专利申请CN101181711公开了一种自动立式石英管清洗机及其清洗工艺,石英管可以在一个柜内完成清洗工艺中的各道工序,但是其清洗能力不高,一次只能清洗一个石英管。中国技术专利CN205289141U公开了一种石英管同轴传动卧式清洗机,其工件是在清洗槽内完成清洗过程,尽管每次清洗完后都会清洗工艺槽,但是清洗过程中也难免会造成交叉污染,而且不仅浪费水,清洗能力也不高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷,提供一种立式多工位石英管清洗机及清洗方法,可一次性对多个石英管进行全面有效清洗,同时可实现对清洗后废液的分类回收,其结构简单、易实现。为实现上述目的,本专利技术的技术方案如下:一种立式多工位石英管清洗机,包括:清洗平台,转动设于本体内,所述清洗平台表面绕其中心贯通设有若干安装孔,所 ...
【技术保护点】
一种立式多工位石英管清洗机,其特征在于,包括:清洗平台,转动设于本体内,所述清洗平台表面绕其中心贯通设有若干安装孔,所述安装孔内侧设有转盘,所述石英管固定在转盘上,受其带动进行自转,并在清洗平台带动下进行公转;一至若干外喷管,竖直设于本体内,并位于石英管外侧,沿所述外喷管侧壁设有多数个喷口,用于喷射清洗液或气体,以清洗或干燥石英管外壁;若干内喷管,与转盘一一对应,并由转盘下方穿过进入石英管内,沿所述内喷管侧壁及顶部也设有多数个喷口,用于喷射清洗液或气体,以清洗或干燥石英管内壁。
【技术特征摘要】
1.一种立式多工位石英管清洗机,其特征在于,包括:清洗平台,转动设于本体内,所述清洗平台表面绕其中心贯通设有若干安装孔,所述安装孔内侧设有转盘,所述石英管固定在转盘上,受其带动进行自转,并在清洗平台带动下进行公转;一至若干外喷管,竖直设于本体内,并位于石英管外侧,沿所述外喷管侧壁设有多数个喷口,用于喷射清洗液或气体,以清洗或干燥石英管外壁;若干内喷管,与转盘一一对应,并由转盘下方穿过进入石英管内,沿所述内喷管侧壁及顶部也设有多数个喷口,用于喷射清洗液或气体,以清洗或干燥石英管内壁。2.根据权利要求1所述的立式多工位石英管清洗机,其特征在于,所述外喷管竖直固定于本体内壁,所述内喷管活动设于本体内,并受驱动在石英管内进行上下移动,所述内、外喷管分别通过阀门连接至不同的清洗液管路或气体管路。3.根据权利要求1所述的立式多工位石英管清洗机,其特征在于,所述清洗平台支承于环形导轨上,并受电机驱动进行旋转。4.根据权利要求3所述的立式多工位石英管清洗机,其特征在于,所述清洗平台通过对应设于转盘下方的中空滑块支承于环形导轨上,所述转盘与中空滑块之间通过轴承副进行转动连接,所述内喷管依次穿过中空滑块、轴承副及转盘进入石英管内,并受驱动在石英管内进行上下移动。5.根据权利要求1所述的立式多工位石英管清洗机,其特征在于,所述清洗平台表面贯通设有多数个网孔,不同状态的清洗废液经网孔汇入清洗平台下方的对应排液管路,以进行分类回收及循环利用。6.根据权利要求5所述的立式多工位石英管清洗机,其特征在于,所述清洗平台下方设有储液槽,用于收集经网孔汇入的化学清洗液,并通过循环泵连接至内、外喷管,对化学清洗液进行循环利用。7.根据权利要求1所述的立式多工位石英管清洗机,其特征在于,所述本体内壁设有传感器,用于检测石英管的公转通过。8.根据权利要求1所述的立式多工位石英管清洗机,其特征在于,所述本体内还设有移动...
【专利技术属性】
技术研发人员:李广义,
申请(专利权)人:北京北方华创微电子装备有限公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
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