显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术构思涉及一种显示装置。根据本发明专利技术构思的示例性实施例的显示装置包括：基底；第一栅极导体，设置在基底上；第一栅极绝缘体，设置在第一栅极导体上，其中，第一栅极导体的边缘从第一栅极绝缘体的边缘凹进，第一栅极绝缘体的边缘分别与第一栅极导体的边缘平行。

display device

The invention relates to a display device. According to the present invention has an exemplary embodiment of the display device includes: a substrate; a first gate conductor disposed on the substrate; a first gate insulator, which in the first set, the first gate conductor on the gate conductor edge from the first edge of the recessed gate insulator, a gate insulator edge are respectively connected with the first gate conductor parallel to the edge.

【技术实现步骤摘要】
显示装置
本专利技术构思涉及一种显示装置及其制造方法。
技术介绍
显示装置通常包括：像素，包括开关元件；显示面板，设置有显示信号线；栅极驱动器，将栅极信号传输到显示信号线中的栅极线，以将像素中的开关元件导通或截止；数据驱动器，将数据电压施加到数据线；以及信号控制器，控制栅极驱动器和数据驱动器。作为最通常使用的平板显示装置之一，液晶显示装置包括两个显示面板和设置在两个显示面板之间的液晶层，在两个显示面板中形成诸如像素电极和共电极等的场发生电极。液晶显示器通过向场发生电极施加电压在液晶层中产生电场，用电场确定液晶层的液晶分子的方向，并且控制入射光的偏振从而显示图像。当适当地控制液晶分子时，可以提高液晶显示器的透射率。液晶显示器的每个像素中包括的至少一个像素电极与开关元件连接，开关元件与诸如栅极线和数据线等的显示信号线连接。开关元件是诸如薄膜晶体管等的三端元件，并将数据电压传输到像素电极。在液晶显示器中，对液晶层产生电场的像素电极和共电极可以设置在其中形成开关元件的一个显示面板中。液晶显示器的像素电极和共电极中的至少一个可以包括多个分支电极。当液晶层中产生电场时，液晶分子在液晶层中的取向方向通过由分支电极产生的边缘场确定。诸如栅极驱动器和数据驱动器的驱动电路可以作为集成电路芯片安装到显示装置，可以作为柔性印刷电路膜安装到显示装置并因此可以作为载带封装(TCP)附着到显示装置，或者可以安装在印刷电路板上。然而，最近已经将不需要薄膜晶体管沟道的高迁移率的栅极驱动器与显示信号线和开关元件通过同一工艺集成到显示面板，而不是将该栅极驱动器形成为额外的芯片。这样的栅极驱动器包括由非独立连接的多个级(stage)形成的移位寄存器和将驱动信号传输到移位寄存器的多条信号线。多个级包括电容器和多个薄膜晶体管。每个级连接到对应的栅极线，并且多个级根据预定顺序向各条栅极线依次输出栅极信号。可以通过光刻工艺形成显示装置的像素电极、共电极和薄膜晶体管的多个图案。在光刻工艺中，根据将在各个曝光工艺中被图案化的图案分别使用光掩模。在本
技术介绍
部分中公开的以上信息仅是为了增强对本专利技术构思的背景的理解，因此以上信息可能包含不形成已经在本国被本领域的普通技术人员所知的现有技术的信息。
技术实现思路
本专利技术构思已经做出了减少显示装置的制造工艺中的曝光工艺的次数和光掩模的数量的努力，从而简化制造工艺并减少制造成本。另外，根据本专利技术构思，可防止由不必要的半导体层导致的显示故障。根据本专利技术构思的示例性实施例的显示装置包括：基底；第一栅极导体，设置在基底上；第一栅极绝缘体，设置在第一栅极导体上，其中，第一栅极导体的边缘从第一栅极绝缘体的边缘凹进，第一栅极绝缘体的边缘分别与第一栅极导体的边缘平行。所述显示装置还可以包括设置在基底上并在平面图中与第一栅极导体分隔开的共电极层。所述显示装置还可以包括：设置在共电极层上并在平面图中与第一栅极导体分隔开的第一绝缘层，其中，第一绝缘层的边缘从共电极层的边缘突出预定的距离。第一栅极绝缘体可以覆盖设置在第一栅极导体的外围处的第一空间。第一绝缘层可以覆盖设置在共电极层的边缘的外围处的第二空间。第一空间和第二空间中的至少一个宽度可以大于或等于大约0.5μm。所述显示装置还可以包括设置在第一栅极绝缘体上的第一半导体，其中，第一半导体的边缘与第一栅极绝缘体的边缘对齐。所述显示装置还可以包括设置在第一半导体上的源电极和漏电极，其中，源电极和漏电极与第一栅极导体电断开，第一空间置于源电极与第一栅极导体之间和漏电极与第一栅极导体之间。源电极和漏电极可以与共电极层电断开，第二空间置于源电极与共电极层之间和漏电极与共电极层之间。所述显示装置还可以包括：第二绝缘层，设置在第一绝缘层上；以及像素电极，设置在第二绝缘层上，其中，像素电极可以通过形成在第二绝缘层中的接触孔与漏电极连接。所述显示装置还可以包括设置在第一绝缘层上的第二绝缘层，其中，第二绝缘层、第一半导体和第一栅极绝缘体可以包括与第一栅极导体叠置的第一接触孔。所述显示装置还可以包括：漏电极，设置在第一绝缘层上；以及连接构件，设置在第二绝缘层上，其中，第二绝缘层可以包括与漏电极叠置的第二接触孔，连接构件可以通过第一接触孔和第二接触孔电连接第一栅极导体与漏电极。所述显示装置还可以包括设置在基底上并传输共电压的共电压线，其中，共电极层可以不与共电压线的一部分或共电压线的外围叠置。所述显示装置还可以包括设置在第一绝缘层上的第二绝缘层，其中，第二绝缘层和第一绝缘层包括不与共电极层部分叠置并可以设置在共电极层的上表面上的边缘。所述显示装置还可以包括：第二栅极导体，设置在基底上；以及第二栅极绝缘体，设置在第二栅极导体上，其中，共电极层和第一绝缘层可以覆盖第二栅极导体和第二栅极绝缘体。第二栅极绝缘体可以覆盖设置在第二栅极导体的外围处的第一空间。第二栅极导体可以与第一栅极导体连接。共电极层可以包括接触基底的上表面的部分。根据本专利技术构思的另一示例性实施例，提供了一种用于制造显示装置的方法。所述方法包括：在基底上顺序地形成栅极导电层、栅极绝缘层和半导体层；在半导体层上形成第一掩模图案，第一掩模图案包括第一部分、第二部分和第三部分，其中，第一掩模图案的第二部分的厚度比第一掩模图案在第一部分中的厚度薄，第一掩模图案的第三部分的厚度比第一掩模图案在第二部分中的厚度薄；通过利用第一掩模图案作为蚀刻掩模蚀刻半导体层和栅极绝缘层来形成多个半导体图案和多个栅极绝缘体；在蚀刻半导体层和栅极绝缘层之后，通过利用第一掩模图案作为蚀刻掩模蚀刻栅极导电层来形成多个栅极导体，其中，当形成多个栅极导体时，将栅极导体层底切成沿着多个栅极半导体图案和多个栅极绝缘体的边缘具有凹进部分。所述方法还可以包括：在形成多个栅极导体之后，通过去除第一掩模图案的第二部分形成第二掩模图案，以暴露多个半导体，其中，第一掩模图案的第二部分与栅极线上的掩模图案对应；去除栅极线上的暴露的多个半导体。所述方法还可以包括：在去除暴露的多个半导体之后，在基底的整个表面上顺序地形成共电极层和第一绝缘层；去除第二掩模图案以及设置在第二掩模图案上的共电极层和第一绝缘层。所述方法还可以包括去除在第一绝缘层下面的共电极层，以使共电极层被底切成沿着第一绝缘层的边缘具有凹进部分。所述方法还可以包括：在第一绝缘层上形成多个数据导体；在数据导体上形成第二绝缘层；通过蚀刻第二绝缘层或蚀刻第一绝缘层和第二绝缘层而形成暴露数据导体或栅极导体的多个接触孔。当蚀刻第二绝缘层时，可以一起蚀刻半导体图案的一部分和栅极绝缘体的一部分。所述方法还可以包括在第二绝缘层上形成像素电极层。根据本专利技术构思的示例性实施例的显示装置包括：基底；栅极导体，设置在基底上；岛状栅极绝缘体，设置在栅极导体上；半导体层，形成在岛状栅极绝缘体上；源电极和漏电极，电连接到半导体层；以及像素电极，连接到漏电极。在平面图中，栅极导体可以从岛状栅极绝缘体的边缘凹进。栅极导体的凹进部分可以沿着岛状栅极绝缘体的边缘形成空间。空间可以形成其中没有形成绝缘层的气隙。所述显示装置还可以包括形成在基底上并与栅极导体分隔开的共电极层。所述显示装置还可以包括形成在共电极层上的第一绝缘层，其中，共电极层从第一绝缘层的边缘凹进。共电极层的凹进部分可本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示装置，所述显示装置包括：基底；第一栅极导体，设置在所述基底上；以及第一栅极绝缘体，设置在所述第一栅极导体上，其中，所述第一栅极导体的边缘从所述第一栅极绝缘体的边缘凹进，所述第一栅极绝缘体的所述边缘分别与所述第一栅极导体的所述边缘平行。

【技术特征摘要】
2015.08.27 KR 10-2015-01208131.一种显示装置，所述显示装置包括：基底；第一栅极导体，设置在所述基底上；以及第一栅极绝缘体，设置在所述第一栅极导体上，其中，所述第一栅极导体的边缘从所述第一栅极绝缘体的边缘凹进，所述第一栅极绝缘体的所述边缘分别与所述第一栅极导体的所述边缘平行。2.根据权利要求1所述的显示装置，所述显示装置还包括设置在所述基底上并在平面图中与所述第一栅极导体分隔开的共电极层。3.根据权利要求2所述的显示装置，所述显示装置还包括设置在所述共电极层上并在平面图中与所述第一栅极导体分隔开的第一绝缘层，其中，所述第一绝缘层的边缘从所述共电极层的边缘突出预定的距离。4.根据权利要求3所述的显示装置，其中，所述第一栅极绝缘体覆盖设置在所述第一栅极导体的外围处的第一空间。5.根据权利要求4所述的显示装置，其中，所述第一绝缘层覆盖设置在所述共电极层的所述边缘的外围处的第二空间。6.根据权利要求5所述的显示...

【专利技术属性】
技术研发人员：全映宰，朴宰贤，李尚柱，崔宰豪，玄慧媛，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR