感光性树脂组合物、硬化膜及其制造方法、液晶显示装置、有机电激发光显示装置及触摸屏制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种耐化学品性、耐光性及溶剂溶解性优异的感光性树脂组合物，硬化膜的制造方法，硬化膜，液晶显示装置，有机电激发光显示装置及触摸屏。感光性树脂组合物含有聚苯并噁唑前体；产生pKa为3以下的酸的光酸产生剂或者醌二叠氮化合物；以及溶剂，聚苯并噁唑前体含有合计为所有重复单元的70mol％以上的通式(1)及通式(2)表示的重复单元，通式(1)表示的重复单元与通式(2)表示的重复单元的比率以摩尔比计为9:1～3:7。Y

Photosensitive resin composition, method for producing hardened film, cured film, liquid crystal display device, organic electroluminescent display device, and touch screen

The invention provides a chemical resistance, light fastness and excellent solvent soluble photosensitive resin composition, method of manufacturing hardened film hardened film, liquid crystal display device, organic electroluminescence display device and touch screen. Photosensitive resin composition containing PbO precursors; pKa acid under 3 light generating agent or quinone two azide; and solvent, PBO precursors containing the total formula all repeat unit of 70mol% (1) and the general formula (2) expressed repeat unit of formula (1) and a repeating unit represented by general formula (2) ratio of repeating units of the 9:1 ~ 3:7 with molar ratio meter. Y

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、液晶显示装置、有机电激发光显示装置及触摸屏
本专利技术涉及一种感光性树脂组合物。更详细而言，本专利技术涉及一种对于形成液晶显示装置、有机电激发光显示装置、触摸屏、集成电路元件、固体摄像元件等电子零件的平坦化膜、保护膜及层间绝缘膜等而言适宜的感光性树脂组合物。另外，本专利技术涉及一种硬化膜的制造方法、使感光性树脂组合物硬化而成的硬化膜、使用硬化膜的液晶显示装置、有机电激发光显示装置等图像显示装置、及触摸屏等输入装置。
技术介绍
在液晶显示装置及有机电激发光显示装置等图像显示装置、以及触摸屏等输入装置中，多数情况下设置有进行了图案形成的层间绝缘膜。在形成层间绝缘膜时，因必需的用以获得图案形状的步骤数少，且可获得充分的平坦性，故广泛使用感光性树脂组合物。近年来，为了实现制造的效率化或图像显示装置的高性能化，尝试以较从前高的温度(例如300℃左右)进行热处理或制膜。作为耐热性高的材料，已知的是聚苯并噁唑。正在进行使用聚苯并噁唑前体来制备感光性树脂组合物并形成各种微细图案的尝试(专利文献1、专利文献2)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2008-224970号公报专利文献2：日本专利特表2006-526812号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题作为使用了聚苯并噁唑前体的感光性树脂组合物的要求特性，要求聚苯并噁唑前体的溶剂溶解性优异、制成硬化膜时的耐化学品性及耐光性优异等。专利文献1及专利文献2中记载的专利技术在制成硬化膜时的耐光性并不充分。由此，本专利技术的目的在于提供一种耐化学品性、耐光性及溶剂溶解性优异的感光性树脂组合物。另外，本专利技术的目的在于提供一种硬化膜的制造方法、硬化膜、液晶显示装置、有机电激发光显示装置及触摸屏。解决问题的技术手段专利技术人进行了研究，结果发现，通过使用以既定的比例含有后述的通式(1)所表示的重复单元及通式(2)所表示的重复单元的聚苯并噁唑前体可解决所述课题。即，本专利技术提供以下内容。＜1＞一种感光性树脂组合物，其含有：聚苯并噁唑前体；选自产生pKa为3以下的酸的光酸产生剂及醌二叠氮化合物中的至少一种；以及溶剂，且聚苯并噁唑前体以合计为聚苯并噁唑前体中的所有重复单元的70mol％以上的比例含有下述通式(1)所表示的重复单元及下述通式(2)所表示的重复单元，通式(1)所表示的重复单元与通式(2)所表示的重复单元的比率以摩尔比计为9:1～3:7；[化1]在通式(1)及通式(2)中，X1及X2分别独立地表示四价的有机基，R1～R4分别独立地表示氢原子、烷基、酸分解性基或-CORc所表示的基团，且R1～R4的至少一个表示氢原子或酸分解性基，Rc表示烷基或芳基，Y1表示碳数3～15的环状的脂肪族基，Y2表示碳数4～20的直链或分支的脂肪族基。＜2＞根据＜1＞所述的感光性树脂组合物，其中感光性树脂组合物含有产生pKa为3以下的酸的光酸产生剂，聚苯并噁唑前体中，聚苯并噁唑前体的所有重复单元所具有的酸基的10％～60％经酸分解性基保护。＜3＞根据＜1＞或＜2＞所述的感光性树脂组合物，其中聚苯并噁唑前体具有在末端由单官能酰氯封闭的结构。＜4＞根据＜1＞至＜3＞中任一项所述的感光性树脂组合物，其中通式(1)中的Y1为亚环己基或双亚环己基。＜5＞根据＜1＞至＜4＞中任一项所述的感光性树脂组合物，其中在聚苯并噁唑前体中，通式(1)中的X1及通式(2)中的X2分别独立地为选自下述式(X-1)～式(X-4)中的一种；[化2]在式(X-1)～式(X-4)中，*1或*2的任一个表示与-OR1或-OR3的连结键，另一个表示与聚合物主链的连结键，*3或*4的任一个表示与-OR2或-OR4的连结键，另一个表示与聚合物主链的连结键。＜6＞一种硬化膜的制造方法，其包括：将根据＜1＞至＜5＞中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上的步骤；自所涂布的感光性树脂组合物中去除溶剂的步骤；利用活性放射线对去除了溶剂的感光性树脂组合物进行曝光的步骤；利用显影液对经曝光的感光性树脂组合物进行显影的步骤；以及对经显影的感光性树脂组合物进行热硬化的步骤。＜7＞根据＜6＞所述的硬化膜的制造方法，其中在显影步骤后且热硬化步骤前，包括对经显影的感光性树脂组合物进行曝光的步骤。＜8＞一种硬化膜，其是使根据＜1＞至＜5＞中任一项所述的感光性树脂组合物硬化而成。＜9＞根据＜8＞所述的硬化膜，其为层间绝缘膜。＜10＞一种液晶显示装置，其具有根据＜8＞或＜9＞所述的硬化膜。＜11＞一种有机电激发光显示装置，其具有根据＜8＞或＜9＞所述的硬化膜。＜12＞一种触摸屏，其具有根据＜8＞或＜9＞所述的硬化膜。专利技术的效果根据本专利技术，可提供一种耐化学品性、耐光性及溶剂溶解性优异的感光性树脂组合物。另外，可提供一种使用感光性树脂组合物的硬化膜的制造方法、硬化膜、液晶显示装置、有机电激发光显示装置及触摸屏。附图说明图1表示液晶显示装置的一例的构成概念图。图2为液晶显示装置的另一例的构成概念图。图3表示有机EL(Electroluminescence，电激发光)显示装置的一例的构成概念图。图4为表示静电电容方式的触摸屏的构成例的剖面图。图5为表示前面板的一例的说明图。图6为表示第一透明电极图案及第二透明电极图案的一例的说明图。图7为表示具有触摸屏的功能的液晶显示装置的一例的概略图。图8为表示具有触摸屏的功能的液晶显示装置的一例的概略图。具体实施方式以下，对本专利技术的内容加以详细说明。以下记载的构成要件的说明有时是根据本专利技术的具代表性的实施方式来进行，但本专利技术不限定于此种实施方式。再者，在本申请说明书中，“～”是以包括其前后所记载的数值作为下限值及上限值的含义而使用。在本说明书中的基团(原子团)的表述中，未记载经取代及未经取代的表述包含不具有取代基的基团(原子团)，并且也包含具有取代基的基团(原子团)。例如所谓“烷基”，不仅包含不具有取代基的烷基(未经取代的烷基)，而且也包含具有取代基的烷基(经取代的烷基)。在本说明书中，“(甲基)丙烯酸酯”表示丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯，“(甲基)丙烯酸”表示丙烯酸及甲基丙烯酸，“(甲基)丙烯酰基”表示丙烯酰基及甲基丙烯酰基。在本说明书中，固体成分为25℃下的固体成分。在本说明书中，聚合物的重量平均分子量及数量平均分子量定义为由凝胶渗透色谱仪(GelPermeationChromatograph，GPC)测定所得的聚苯乙烯换算值。聚合物的重量平均分子量及数量平均分子量例如可通过使用HLC-8120(东曹(股)制造)，使用TSK凝胶多孔HXL-M(TSKgelMultiporeHXL-M)(东曹(股)制造，7.8mmID×30.0cm)作为管柱，且使用四氢呋喃(Tetrahydrofuran，THF)作为洗脱液而求出。本专利技术的感光性树脂组合物含有(A)聚苯并噁唑前体；(B1)产生pKa为3以下的酸的光酸产生剂和/或(B2)醌二叠氮化合物；以及(C)溶剂。而且，(A)聚苯并噁唑前体含有合计为所有重复单元的70mol％以上的下述通式(1)所表示的重复单元及下述通式(2)所表示的重复单元，通式(1)所表示的重复单元与通式(2)所表示的重复单元的比率以摩尔比计为9:1～3:7。[化3]在通式(1)及通式(2)中，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光性树脂组合物，其含有：聚苯并噁唑前体；选自产生pKa为3以下的酸的光酸产生剂及醌二叠氮化合物中的至少一种；以及溶剂，且所述聚苯并噁唑前体以合计为所述聚苯并噁唑前体中的所有重复单元的70mol％以上的比例含有下述通式(1)所表示的重复单元及下述通式(2)所表示的重复单元，通式(1)所表示的重复单元与通式(2)所表示的重复单元的含量的比率以摩尔比计为9:1～3:7；[化1]

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.09.04 JP 2014-180049;2015.07.01 JP 2015-132971.一种感光性树脂组合物，其含有：聚苯并噁唑前体；选自产生pKa为3以下的酸的光酸产生剂及醌二叠氮化合物中的至少一种；以及溶剂，且所述聚苯并噁唑前体以合计为所述聚苯并噁唑前体中的所有重复单元的70mol％以上的比例含有下述通式(1)所表示的重复单元及下述通式(2)所表示的重复单元，通式(1)所表示的重复单元与通式(2)所表示的重复单元的含量的比率以摩尔比计为9:1～3:7；[化1]在通式(1)及通式(2)中，X1及X2分别独立地表示四价的有机基，R1～R4分别独立地表示氢原子、烷基、酸分解性基或-CORc所表示的基团，且R1～R4的至少一个表示氢原子或酸分解性基，Rc表示烷基或芳基，Y1表示碳数3～15的环状的脂肪族基，Y2表示碳数4～20的直链或分支的脂肪族基。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中所述感光性树脂组合物含有产生pKa为3以下的酸的光酸产生剂，所述聚苯并噁唑前体中，所述聚苯并噁唑前体的所有重复单元所具有的酸基的10％～60％经酸分解性基保护。3.根据权利要求1或2项所述的感光性树脂组合物，其中所述聚苯并噁唑前体具有在末端由单官能酰氯封闭的结构。4.根据权利要求1至...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉田健太，雨宫拓马，山田悟，中川干雄，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP