使用闪光灯的退火方法技术

技术编号:15237213 阅读:141 留言:0更新日期:2017-04-28 22:47
本发明专利技术涉及用于载有涂层的基材的表面退火的方法,所述方法包括:‑使载有待退火涂层(2)的基材(1)在闪光灯(4)下方行进,基材(1)的载有所述涂层(2)的面朝向闪光灯(4);‑穿过位于在所述闪光灯和待退火涂层之间的并包括狭缝的掩模(3),用由所述闪光灯(4)发射的强脉冲光照射该待退火涂层,该狭缝具有垂直于基材的行进方向的纵轴,调节闪光灯的频率和基材的行进速度,使得待退火涂层的每个点接收至少一个光脉冲;其特征在于:在掩模的下表面与待退火涂层的表面之间的距离最多等于1mm,并且狭缝的形状和大小使得该掩模在所有其中在没有掩模的情况下将到达待退火涂层位置的光强度低于阈值光强度(在后文称为“标称光强度”)的区域中遮挡待退火涂层,阈值光强度在后文被称为“标称光强度”。

Annealing method using flash lamp

The invention relates to a method for coating the substrate surface with annealing, the method comprises the following steps: the contains to annealing and coating (2) substrate (1) in flash (4) below the road, the substrate (1) containing the coating (2) face to flash (4); and through including the mask located in the slit between the flash and the annealing coating (3), used by the flash (4) to the emission of intense pulsed light irradiation annealing and coating. The longitudinal axis of the slit has the direction perpendicular to the substrate, and the substrate frequency adjusting flash speed, so that each point after annealing coating receiving at least one light pulse; which is characterized in that the surface between the mask and the annealing coating surface distance up to 1mm, and slit the shape and size of the mask in which all in no circumstances will mask The light intensity of the coating to be annealed is lower than the threshold light intensity (in the area called the \nominal intensity\), and the threshold intensity is referred to as \nominal light intensity\.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】本专利技术涉及用于通过闪光灯使沉积在平面基材上的薄层快速退火的方法和装置。已知对沉积在平面基材上的薄涂层进行局部和快速激光退火(激光闪光加热)。为此,使具有待退火涂层的基材在激光线下行进,或者使激光线在载有涂层的基材上方行进(参见例如WO2008/096089和WO2013/156721)。激光退火允许薄涂层被加热到大约几百度的高温,同时保持下邻的基材。最近,已经提出在这种表面退火方法中用产生强脉冲光(IPL)的灯,也称为闪光灯,替代激光源,如激光二极管。因此,在国际专利申请WO2013/026817中提供了一种制造低辐射涂层的方法,其包括沉积银基薄层的步骤,然后使所述层快速表面退火的步骤,目的是降低其发射率并增加其电导性。对于退火步骤,使涂覆有银层的基材在用于沉积层的装置下游的一组闪光灯下行进。在试图用PlanithermONE®玻璃板(涂覆有薄透明层堆叠体的透明玻璃,其某些层由贵金属制成,通过真空阴极溅射进行沉积)重复这种方法时,申请人在退火后观察到了该涂层的外观的不均匀性。图1显示了在以下条件下用闪光灯退火之后的PlanithermONE®涂层:每个光脉冲的强度:35J/cm2每本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于载有涂层的基材的表面退火的方法,所述方法包括:‑使载有待退火涂层(2)的基材(1)在发射强脉冲光的闪光灯(4)下方行进,基材的载有所述涂层的面朝向闪光灯;‑穿过位于在所述闪光灯和待退火涂层之间、在相对于所述闪光灯的固定位置的并包括狭缝的掩模(3),用由所述闪光灯发射的强脉冲光照射该待退火涂层,该狭缝的纵轴垂直于基材的行进方向,调节闪光灯的频率和基材的行进速度,使得待退火涂层的每个点接收至少一个光脉冲;其特征在于:在掩模的下表面与待退火涂层的表面之间的距离最多等于1mm,优选最多等于500μm,理想地最多等于100μm,并且狭缝的形状和大小使得该掩模在所有其中在没有掩模的情况下光强度将到...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.09.11 FR 14585201.一种用于载有涂层的基材的表面退火的方法,所述方法包括:-使载有待退火涂层(2)的基材(1)在发射强脉冲光的闪光灯(4)下方行进,基材的载有所述涂层的面朝向闪光灯;-穿过位于在所述闪光灯和待退火涂层之间、在相对于所述闪光灯的固定位置的并包括狭缝的掩模(3),用由所述闪光灯发射的强脉冲光照射该待退火涂层,该狭缝的纵轴垂直于基材的行进方向,调节闪光灯的频率和基材的行进速度,使得待退火涂层的每个点接收至少一个光脉冲;其特征在于:在掩模的下表面与待退火涂层的表面之间的距离最多等于1mm,优选最多等于500μm,理想地最多等于100μm,并且狭缝的形状和大小使得该掩模在所有其中在没有掩模的情况下光强度将到达待退火涂层位置的光强度低于阈值光强度的区域中遮挡该待退火涂层,该阈值光强度在后面被称为“标称光强度”。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述狭缝具有基本上矩形的形状。3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,闪光灯的频率,狭缝的宽度和基材的行进速度使得待退火涂层的点的至少90%,优选至少95%,更优选至少98%接收单个光脉冲。4.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,所述狭缝的长度...

【专利技术属性】
技术研发人员:L卡诺瓦E米蒙B迪博
申请(专利权)人:法国圣戈班玻璃厂
类型:发明
国别省市:法国;FR

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