高温管式加热炉的制备装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种高温管式加热炉的制备装置，解决现有制备方式缩短加热丝寿命的问题。包括支架、转轴和炉体支撑装置；转轴置于分立的第一立杆和第二立杆之间；炉体支撑装置包括传动臂组和支撑臂；传动臂组包括第一传动臂组和第二传动臂组；第一传动臂组包括多个一端可转动的固定于第一传动臂座上的第一传动臂，第一传动臂座固定于转轴上；第二传动臂组包括多个一端可转动的固定于第二传动臂座上的第二传动臂，第二传动臂座可活动的套接于转轴上；第二传动臂座背向第一传动臂座的一侧连接有第一传动杆；驱动装置驱动第一传动杆伸缩，使得第二传动臂座可沿转轴轴向移动；第一传动臂的另一端和第二传动臂的另一端都可转动的固定于支撑臂的底侧。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于管式加热炉
，具体地说，涉及一种高温管式加热炉的制备装置。
技术介绍
管式加热炉主要用作半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。现有的管式加热炉的制备过程中，加热炉体内的加热丝由绝缘子分立夹持；如图7所示，为保证各个绝缘子1在制备过程中不会散落，需要使用连接杆2将绝缘子连接固定。这种固定方式，使得加热丝在加热过程中受热膨胀之后，受到固定绝缘子的夹持而形变，从而影响了加热丝的使用寿命。
技术实现思路
本技术提供了一种高温管式加热炉的制备装置，解决现有制备方式会缩短加热丝寿命的技术问题。为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案予以实现：提出一种高温管式加热炉的制备装置，包括支架、转轴和炉体支撑装置；所述支架包括分立的第一立杆和第二立杆；所述转轴置于所述第一立杆和第二立杆之间；所述炉体支撑装置包括传动臂组和支撑臂；所述传动臂组包括第一传动臂组和第二传动臂组；所述第一传动臂组包括多个一端可转动的固定于第一传动臂座上的第一传动臂，所述第一传动臂座固定于所述转轴上；所述第二传动臂组包括多个一端可转动的固定于第二传动臂座上的第二传动臂，所述第二传动臂座可活动的套接于所述转轴上；于所述第二传动臂座背向所述第一传动臂座的一侧连接有第一传动杆；所述第一传动杆由一驱动装置驱动；所述驱动装置可驱动所述第一传动杆伸缩，使得所述第二传动臂座可沿所述转轴轴向移动；所述第一传动臂的另一端和所述第二传动臂的另一端都可转动的固定于所述支撑臂的底侧。进一步的，所述第一传动臂座为环形座，套接于所述转轴外围，并与所述转轴固定；多个第一传动臂沿所述第一传动臂座圆周等间隔设置；所述第二传动臂座为环形座，套接于所述转轴外围；多个第二传动臂沿所述第二传动臂座圆周等间隔设置；第一传动臂和第二传动臂的个数相同；且一个第一传动臂和一个第二传动臂对应同一直线固定。进一步的，所述传动臂组还包括第三传动臂组和第四传动臂组；所述第三传动臂组包括多个一端可转动的固定于第三传动臂座上的第三传动臂，所述第三传动臂座固定于所述转轴上，且位于所述第一传动臂座背向所述第二传动臂座的一侧；所述第四传动臂组包括多个一端可转动的固定于第四传动臂座上的第四传动臂，所述第四传动臂座可活动的套接于所述转轴上，且位于所述第三传动臂座与所述第一传动臂座之间；于所述第四传动臂座背向所述第三传动臂座的一侧，与所述第一传动臂座之间连接有第二传动杆；所述第三传动臂的另一端和所述第四传动臂的另一端都可转动的固定于所述支撑臂的底侧。进一步的，所述支撑臂开设有装配绝缘子的槽。进一步的，所述第一立杆和所述第二立杆的顶部连接有横梁；所述横梁上装配有冲压泵。进一步的，所述转轴的一端连接有可驱动所述转轴旋转的旋转驱动装置。进一步的，所述转轴由第一转轴和第二转轴拼装而成；所述第一转轴的一端为L型结构，所述第二转轴靠近所述第一转轴的一端为倒L型结构，L型结构和倒L型结构互补，可使得第一转轴与第二转轴拼装为完成的转轴；在L型结构与到L型结构拼装部分的外围，套接有固定套管；所述第一立杆或所述第二立杆由上部的转动部分和下部的固定部分组成；所述转轴连接于转动部分。与现有技术相比，本技术的优点和积极效果是：本技术实施例提出的高温管式加热炉的制备装置，在制备加热炉体之前，驱动装置驱动第一传动杆推动第二传动臂座向第一传动臂座的方向移动，移动过程中，由于第一传动臂底座固定，使得第二传动臂座与第一传动臂座之间的距离减小，这使得第二传动臂受阻后向竖直状态转变，从而顶起支撑杆，支撑杆继而带动第一传动臂向竖直状态转换，最终使得第一传动臂和第二传动臂从收附状态转换为支起状态，实现支撑杆被撑起的效果，多个支撑杆环形置于转轴外侧，从而能够支撑起整个加热炉体的管状内壁。在制备加热炉时，将预先缠绕好的螺旋形的加热丝套在多个支撑臂的外围，并控制支撑臂撑起，在支撑臂的槽中相邻两圈加热丝中间中增加一个绝缘子后使用管束或者拔口环将加热丝两端固定；然后在加热丝外围增加镐棉等耐高温绝缘材料，由冲压泵冲压紧实，最后在外层包裹不锈钢形成最终的加热炉炉体。在加热炉体制备完成后，驱动装置驱动第一传动杆向反方向移动，第一传动杆带动第二传动臂座向远离第一传动臂座方向移动，由于二者之间距离的增大，第一传动臂和第二传动臂向转轴方向收附，使支撑臂撑起的管状内径缩小，使得制备的加热炉体能够被取出。使用本技术实施例提出的制备装置制备管式加热炉时，绝缘子无需使用连接杆连接固定，而是彼此分立的夹持于加热丝之间，这使得绝缘子之间存在可活动空间，当加热炉体工作时，加热丝升温变形，分立的绝缘子之间由于存在可活动空间而能够容纳变形的加热丝，但不会限制加热丝的形变，从而不会影响加热丝的寿命，解决了现有制备方式会缩短加热丝寿命的技术问题。结合附图阅读本技术实施方式的详细描述后，本技术的其他特点和优点将变得更加清楚。附图说明图1为本技术实施例提出的高温管式加热炉的制备装置的工作状态结构图；图2为本技术实施例提出的炉体支撑装置和加热丝装配示意图；图3为本技术实施例提出的高温管式加热炉的制备装置的非工作状态结构图；图4为本技术实施例提出的支撑臂的结构图；图5为本技术实施例提出的转轴结构图；图6为本技术实施例提出的转轴结构图；图7为现有技术绝缘子的装配结构图。具体实施方式下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步详细地说明。如图1所示，为本技术实施例提出的高温管式加热炉的制备装置的结构图，包括支架、转轴和炉体支撑装置；支架包括分立的第一立杆11和第二立杆12；转轴13置于第一立杆11和第二立杆12之间。炉体支撑装置包括传动臂组和支撑臂14；传动臂组包括第一传动臂组和第二传动臂组；第一传动臂组包括多个一端可转动的固定于第一传动臂座15上的第一传动臂16，第一传动臂座15固定于转轴13上；第二传动臂组包括多个一端可转动的固定于第二传动臂座17上的第二传动臂18，第二传动臂座17可活动的套接于转轴13上。于第二传动臂座17背向第一传动臂座的一侧连接有第一传动杆29；第一传动杆19由一驱动装置20驱动；驱动装置20可驱动第一传动杆伸缩，使得第二传动臂座17可沿转轴轴向移动。第一传动臂16的另一端和第二传动臂18的另一端都可转动的固定于支撑臂14的底侧。第一传动臂可转动的与第一传动臂座和支撑臂固定的方式可以采用现有的任一种能够实现第一传动臂相对第一传动臂座和支撑臂转动的装置实现，如图1所示的一种实施例方式是：在第一传动臂座和支撑臂底侧安装固定叶片21，固定叶片上开设有通孔，第一传动臂通过轴承或者连接轴与固定叶片连接。同理，第二传动臂可转动的与第二传动臂座和支撑臂固定的方式与第一传动臂的相同，不予赘述。多个支撑臂等间隔的围绕转轴等距离的设置（图1中仅示出两个支撑臂情况，事实上，为实现管式炉体，支撑臂的数量优选为8个或者更多），能够支撑起一个管式空间，本文档来自技高网...

【技术保护点】
高温管式加热炉的制备装置，其特征在于，包括支架、转轴和炉体支撑装置；所述支架包括分立的第一立杆和第二立杆；所述转轴置于所述第一立杆和第二立杆之间；所述炉体支撑装置包括传动臂组和支撑臂；所述传动臂组包括第一传动臂组和第二传动臂组；所述第一传动臂组包括多个一端可转动的固定于第一传动臂座上的第一传动臂，所述第一传动臂座固定于所述转轴上；所述第二传动臂组包括多个一端可转动的固定于第二传动臂座上的第二传动臂，所述第二传动臂座可活动的套接于所述转轴上；于所述第二传动臂座背向所述第一传动臂座的一侧连接有第一传动杆；所述第一传动杆由一驱动装置驱动；所述驱动装置可驱动所述第一传动杆伸缩，使得所述第二传动臂座可沿所述转轴轴向移动；所述第一传动臂的另一端和所述第二传动臂的另一端都可转动的固定于所述支撑臂的底侧。

【技术特征摘要】
1.高温管式加热炉的制备装置，其特征在于，包括支架、转轴和炉体支撑装置；
所述支架包括分立的第一立杆和第二立杆；所述转轴置于所述第一立杆和第二立杆之间；
所述炉体支撑装置包括传动臂组和支撑臂；所述传动臂组包括第一传动臂组和第二传动臂组；所述第一传动臂组包括多个一端可转动的固定于第一传动臂座上的第一传动臂，所述第一传动臂座固定于所述转轴上；所述第二传动臂组包括多个一端可转动的固定于第二传动臂座上的第二传动臂，所述第二传动臂座可活动的套接于所述转轴上；
于所述第二传动臂座背向所述第一传动臂座的一侧连接有第一传动杆；所述第一传动杆由一驱动装置驱动；所述驱动装置可驱动所述第一传动杆伸缩，使得所述第二传动臂座可沿所述转轴轴向移动；
所述第一传动臂的另一端和所述第二传动臂的另一端都可转动的固定于所述支撑臂的底侧。
2.根据权利要求1所述的高温管式加热炉的制备装置，其特征在于，所述第一传动臂座为环形座，套接于所述转轴外围，并与所述转轴固定；多个第一传动臂沿所述第一传动臂座圆周等间隔设置；
所述第二传动臂座为环形座，套接于所述转轴外围；多个第二传动臂沿所述第二传动臂座圆周等间隔设置；
第一传动臂和第二传动臂的个数相同；且一个第一传动臂和一个第二传动臂对应同一直线固定。
3.根据权利要求1所述的高温管式加热炉的制备装置，其特征在于，所述传动臂组还包括第三传动臂组和第四传动臂组；
所述第三传动臂组包括多个一端可...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘刚，
申请(专利权)人：刘刚，
类型：新型
国别省市：山东;37