用于拆卸传送轴的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于拆卸传送轴的装置。包括：至少两条横杆、套轴组件及固定杆；每条横杆的一端设有N个可伸缩的拉伸段，每条横杆的另一端与所述固定杆连接；各条横杆之间相对应的拉伸段分别围成一容纳套轴组件的固定空间，且N个所述套轴组件分别与其对应的所述拉伸段固定连接。用本实用新型专利技术的拆卸传送轴的装置拆卸高温退火炉的传送轴时，只需要一个工作人员就可以方便地将传送轴从高温退火炉中拆卸下来，这样的作业方式，可以减少人力，拆卸方便快捷。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体加工设备
，尤其涉及一种用于拆卸传送轴的装置。
技术介绍
薄膜晶体管液晶显示器(ThinFilmTransistorLiquidCrystalDisplay，简称TFT-LCD)，具有体积小、功耗低、无辐射等特点，在当前的平板显示器市场中占据了主导地位。制作薄膜晶体管液晶显示器可以用离子注入的方法，离子注入是把掺杂剂的原子引入固体中的一种材料改性方法。简单地说，离子注入的过程，就是在真空系统中，将想要掺杂的某原子的离子经过加速以后，注入上述固体材料，从而在所选择的(即被注入的)区域形成一个具有特殊性质的表面层(注入层)。当用离子注入方法制作液晶显示器时，最后要用到直线型高温退火设备，高温退火设备中有传送轴，用于在直线型高温退火设备的不同腔室之间传送固体材料。当高温退火设备中的传送轴需要被拆卸下来时，一般都需要多人协同作业，首先将腔室左右两端固定传送轴的连接固定轴承拆卸，然后腔室左边的人推动传送轴使它的尾部进入腔室，站在腔室前面的人需要将手放在腔室内托着传送轴，以防传送轴在腔室内晃动，将传送轴撞碎，腔室右边的人需要将传送轴拉出，交接给另一个人，将传送轴放置在安全的位置，这样的作业方式，需要较多的人力，拆卸繁琐，而且浪费时间。
技术实现思路
本技术提供一种用于拆卸传送轴的装置，以解决通常拆卸高温退火设备中的传送轴时，需要多人协同作业，耗费较多的人力，拆卸繁琐，且浪费时间的问题。本技术提供一种用于拆卸传送轴的装置，包括：至少两条横杆、套轴组件及固定杆；每条横杆的一端设有N个可伸缩的拉伸段，每条横杆的另一端与所述固定杆连接；各条横杆之间相对应的拉伸段分别围成一容纳套轴组件的固定空间，且N个所述套轴组件分别与其对应的所述拉伸段固定连接。进一步地，所述N个所述套轴组件分别与其对应的所述拉伸段固定连接，具体为：N个所述套轴组件的外缘分别与对应的固定空间中各所述拉伸段沿拉伸方向的前端固定连接。进一步地，还包括分别用于支撑各条横杆的支撑杆；所述支撑杆的一端与所述横杆中间的拉伸段沿拉伸方向的前端固定连接。进一步地，还包括用于将各横杆与各固定杆固定的卡扣；所述卡扣为两端开口的直角结构，所述卡扣的两个开口端分别与所述横杆及所述固定杆连接。进一步地，还包括固定钳，所述固定钳固定在所述横杆最前端的套轴组件上；所述固定钳用于固定所述传送轴。进一步地，所述固定钳包括：两个钳柄；所述钳柄包括手柄和呈半圆弧状的钳臂，当两个所述手柄呈夹紧状态时，两个所述钳臂形成一闭合的环形以夹紧所述传送轴。进一步地，所述套轴组件可以是圆环形组件或椭圆环形组件或方形组件。进一步地，所述圆环形组件的内径大于等于所述传送轴的外径。进一步地，所述椭圆环形组件的内短轴大于等于所述传送轴的外径。进一步地，所述方形组件的任一边长大于等于所述传送轴的外径。本技术的拆卸传送轴的装置，包括：至少两条横杆、套轴组件及固定杆；每条横杆的一端设有N个可伸缩的拉伸段，每条横杆的另一端与所述固定杆连接；各条横杆之间相对应的拉伸段分别围成一容纳套轴组件的固定空间，且N个所述套轴组件分别与其对应的所述拉伸段连接。用本技术的拆卸传送轴的装置拆卸高温退火炉的传送轴时，固定杆固定在直线型高温退火炉腔室内将拆卸传送轴的装置整体固定，在横杆的各拉伸段被压缩的情况下，将传送轴的前端部分放置到各套轴组件中，且传送轴前端的一小段伸出横杆上位于伸出最前端的套轴组件外，可以用手握着传送轴伸出套轴组件外的一小段，也可以在最前端的套轴组件外连接一个固定传送轴的固定钳，用固定钳将传送轴伸出套轴组件外的一小段固定，同时拉拽横杆上位于伸出最前端的套轴组件，即可实现一个工作人员就可以方便地将传送轴从高温退火炉中拆卸下来，这样的作业方式，可以减少拆卸传送轴的人力，拆卸方便快捷。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术用于拆卸传送轴的装置实施例一的结构示意图；图2为本技术用于拆卸传送轴的装置中横杆条数为三时的示意图；图3为本技术用于拆卸传送轴的装置中横杆条数为四时的示意图；图4为本技术用于拆卸传送轴的装置中套轴组件为圆环形组件时的示意图；图5为本技术用于拆卸传送轴的装置中套轴组件为椭圆环形组件时的示意图；图6为本技术用于拆卸传送轴的装置中套轴组件为方形组件时的示意图；图7为本技术用于拆卸传送轴的装置实施例二的结构示意图；图8为本技术用于拆卸传送轴的装置实施例三的结构示意图；图9为本技术用于拆卸传送轴的装置中卡扣的结构示意图；图10为本技术用于拆卸传送轴的装置实施例四的结构示意图；图11为本技术用于拆卸传送轴的装置中固定钳的结构示意图；图12为本技术用于拆卸传送轴的装置中固定钳和套轴组件进行组合的示意图。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。图1为本技术用于拆卸传送轴的装置实施例一的结构示意图，拆卸传送轴的装置包括：至少两条横杆1、套轴组件2及固定杆3，每条横杆1的一端设有与套轴组件2的个数相一致的可伸缩的拉伸段11，本实施例中，如图1所示，横杆1两条，套轴组件2以圆环形的套轴组件为例，有七个，固定杆3有两条。可选地，本实施例中，每条横杆1的一端设有与套轴组件2的个数相一致的七个可伸缩的拉伸段11，每条横杆1的另一端连接固定杆3，每条横杆1一端的可伸缩的拉伸段11的个数不局限于七，可以是N个，N大于等于2，且与套轴组件2的个数一致。横杆1的构造与可伸缩天线的构造相似，一端由可以伸缩的拉伸段11构成，另一端连接有固定杆3，固定杆3用于在拆卸传送轴时，固定在直线型高温退火炉的腔室内，将整个拆卸传送轴的装置固<本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于拆卸传送轴的装置，其特征在于，包括：至少两条横杆、套轴组件及固定杆；每条横杆的一端设有N个可伸缩的拉伸段，每条横杆的另一端与所述固定杆连接；各条横杆之间相对应的拉伸段分别围成一容纳套轴组件的固定空间，且N个所述套轴组件分别与其对应的所述拉伸段固定连接。

【技术特征摘要】
1.一种用于拆卸传送轴的装置，其特征在于，包括：至少两条横杆、套
轴组件及固定杆；
每条横杆的一端设有N个可伸缩的拉伸段，每条横杆的另一端与所述固
定杆连接；
各条横杆之间相对应的拉伸段分别围成一容纳套轴组件的固定空间，且N
个所述套轴组件分别与其对应的所述拉伸段固定连接。
2.根据权利要求1所述的用于拆卸传送轴的装置，其特征在于，N个所
述套轴组件分别与其对应的所述拉伸段固定连接，具体为：N个所述套轴组
件的外缘分别与对应的固定空间中各所述拉伸段沿拉伸方向的前端固定连
接。
3.根据权利要求1所述的用于拆卸传送轴的装置，其特征在于，还包括
分别用于支撑各条横杆的支撑杆；
所述支撑杆的一端与所述横杆中间的拉伸段沿拉伸方向的前端固定连
接。
4.根据权利要求1所述的用于拆卸传送轴的装置，其特征在于，还包括
用于将各横杆与各固定杆固定的卡扣；
所述卡扣为两端开口的直角结构，所述卡扣的两个开口端分别与所述横
杆及所述固定杆连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙健，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32