一种用于制备CIGS太阳电池吸收层的束流蒸发源制造技术

本发明专利技术公开了一种用于制备CIGS太阳电池吸收层的束流蒸发源，包括：束流源、束流源底盘、上束流源悬挂件、下束流源悬挂件、横向导杆、转动连接片、横向滑动块、纵向导杆、纵向滑动块、以及真空腔室底盘。上述真空腔室底盘位于束流蒸发源的底部，真空腔室底盘上设置有纵向导杆，纵向导杆上设置纵向滑动块，在所述纵向滑动块上安装有横向导杆，横向导杆上设置有横向滑动块，横向滑动块上安装有转动连接片，在转动连接片上安装有下束流源悬挂件，在下束流源悬挂件上安装有上束流源悬挂件，上束流源悬挂件上安装有束流源底盘，束流源底盘上安装有束流源。该用于制备CIGS太阳电池吸收层的束流蒸发源能够实现束流蒸发源角度多方向调整。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳电池真空制备设备领域，特别是涉及一种用于制备CIGS太阳电池吸收层的束流蒸发源。
技术介绍
在真空腔室中用共蒸发的方法蒸镀CIGS太阳电池吸收层的实验中，蒸发源的方向角度的变化对于蒸发结果有非常大的影响，即使是完全相同的蒸发源，在不同的方向角度条件下蒸镀出的薄膜性能也存在相当大的差异，而现有专利中与束流蒸发源的方向角度调整机构等方面相关的专利非常少，仅有的相关专利中给出的束流蒸发源结构在CIGS太阳电池吸收层制备中也并不适用，如何利用简单的结构实现便捷的蒸发源调整是关键所在。专利技术专利200610083452.6(申请号)公开了一种真空系统中可移动、万向蒸发源装置，其更加适用于分子束外延，由于装置本身特点，并不十分适用于真空蒸发腔室。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是：提供一种用于制备CIGS太阳电池吸收层的束流蒸发源。该用于制备CIGS太阳电池吸收层的束流蒸发源能够实现束流蒸发源角度多方向调整。本专利技术为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是：一种用于制备CIGS太阳电池吸收层的束流蒸发源，至少包括：一真空腔室底盘(10)；在所述真空腔室底盘(10)上安装有纵向导杆(8)；在所述纵向导杆(8)上安装有纵向滑动块(9)；在所述纵向滑动块(9)上固定有横向导杆(5)；在所述横向导杆(5)上安装有横向滑动块(7)；在所述横向滑动块(7)上安装有转动连接片(6)；所述转动连接片(6)由上连接片(6-1)和下连接片(6-2)组成；其中：所述下连接片(6-2)的底部与横向滑动块(7)固定于横向滑动块(7)的顶部；所述下连接片(6-2)的顶部与上连接片(6-1)的设置有连接用的圆孔；在所述圆孔内插入螺栓将上连接片(6-1)和下连接片(6-2)连接；所述上连接片(6-1)的顶部连接有下束流源悬挂件(4)，所述下束流源悬挂件(4)包括圆盘形状的下悬挂件本体(4-1)；在所述下悬挂件本体(4-1)的轴心上开设有中心连接孔(4-2)；在所述下悬挂件本体(4-1)上还开设有两个固定孔(4-3)；在所述下束流源悬挂件(4)上设置有上束流源悬挂件(3)；所述上束流源悬挂件(3)包括圆盘形状的上悬挂件本体(3-1)；在所述上悬挂件本体(3-1)上设置有两个上支腿(3-2)，在每个上支腿(3-2)上开设有上连接孔(3-3)；所述上悬挂件本体(3-1)和下悬挂件本体(4-1)之间固定连接；在所述上支腿(3-2)上安装有束流源底盘(2)；所述束流源底盘(2)包括圆盘形状的底盘本体(2-4)；在所述底盘本体(2-4)上设置有热耦导出孔(2-1)和两个下支腿(2-2)；在每个下支腿(2-2)上开设有下连接孔(2-3)；在所述束流源底盘(2)上安装有束流源(1)。进一步：在所述横向滑动块(7)上设置有顶丝孔(7-1)。更进一步：在所述纵向滑动块(9)上设置有顶丝孔。3更进一步：所述束流蒸发源由不锈钢材料制成。本专利技术具有的优点和积极效果是：1.通过采用上述技术方案，本专利技术能够实现蒸发源角度的任意调节；2.由于所以部件的连接均采用机械螺栓、螺母、滑竿连接；因此不需要复杂的电控技术；故障率比较低；且易于维修；3.由于采用不锈钢材料制成，因此具有耐腐蚀、耐氧化、耐高温且放气量小的特点。附图说明：图1为本专利技术优选实施例的结构图；图2为本专利技术优选实施例中束流源底盘的三视图，其中：图2a为主视图；图2b为侧视图；图2c为俯视图；图3为本专利技术优选实施例中上束流源悬挂件的三视图，其中：图3a为主视图；图3b为侧视图；图3c为俯视图；图4为本专利技术优选实施例中下束流源悬挂件的三视图，其中：图4a为主视图；图4b为侧视图；图4c为俯视图；图5为本专利技术优选实施例中转动连接片的主视图；图6为本专利技术优选实施例中横向滑动块的主视图；图7为本专利技术优选实施例中纵向滑动块的俯视图；图8为本专利技术优选实施例中纵向滑动块的侧视图。其中：1、束流源；2、束流源底盘；2-1、热耦导出孔；2-2、下支腿；2-3、下连接孔；2-4、底盘本体；3、上束流源悬挂件；3-1、上悬挂件本体；3-2、上支腿；3-3、上连接孔；4、下束流源悬挂件；4-1、下悬挂件本体；4-2、中心连接孔；4-3、固定孔；5、横向导杆；6、转动连接片；6-1、上连接片；6-2、下连接片；6-3、连接孔；6-4、上安装孔；6-5、下安装孔；7、横向滑动块；7-1、顶丝孔；7-2、顶空；8、纵向导杆；9、纵向滑动块；10、真空腔室底盘；具体实施方式为能进一步了解本专利技术的
技术实现思路
、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下：请参阅图1至图8，一种用于制备CIGS太阳电池吸收层的束流蒸发源，包括：束流源1、束流源底盘2、上束流源悬挂件3、下束流源悬挂件4、横向导杆5、转动连接片6、横向滑动块7、纵向导杆8、纵向滑动块9、以及真空腔室底盘10。上述真空腔室底盘位于束流蒸发源10的底部，真空腔室底盘10上设置有纵向导杆8，纵向导杆8上设置纵向滑动块9，在所述纵向滑动块9上安装有横向导杆5，横向导杆5上设置有横向滑动块7，横向滑动块7上安装有转动连接片6，在转动连接片6上安装有下束流源悬挂件4，在下束流源悬挂件4上安装有上束流源悬挂件3，上束流源悬挂件3上安装有束流源底盘2，束流源底盘2上安装有束流源1；请参阅图2，所述束流源底盘2包括圆盘形状的底盘本体2-4；在所述底盘本体2-4上设置有热耦导出孔2-1和两个下支腿2-2；在每个下支腿2-2上开设有下连接孔2-3；请参阅图3，所述上束流源悬挂件3包括圆盘形状的上悬挂件本体3-1；在所述上悬挂件本体3-1上设置有两个上支腿3-2，在每个上支腿3-2上开设有上连接孔3-3；将下连接孔2-3和上连接孔3-3对准后，插入螺栓，这样就能够实现束流源底盘2和上束流源悬挂件3的固定连接4；在实际使用过程中，旋松连接孔2-3和上连接孔3-3内的螺栓，然后通过旋转进而实现束流源底盘2和上束流源悬挂件3之间的角度，当束流源底盘2和上束流源悬挂件3之间的角度达到需要角度时，紧固上述螺栓，即上述过程实现了束流源在YOZ平面上的角度调整。请参阅图4，所述下束流源悬挂件4包括圆盘形状的下悬挂件本体4-1；在所述下悬挂件本体4-1的轴心上开设有中心连接孔4-2；在所述下悬挂件本体4-1上还开设有两个固定孔4-3；将连接孔3-3和固定孔4-3对齐后，插入螺栓进行紧固，这样就可以实现：上悬挂件本体3-1和下悬挂件本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于制备CIGS太阳电池吸收层的束流蒸发源，其特征在于：至少包括：一真空腔室底盘(10)；在所述真空腔室底盘(10)上安装有纵向导杆(8)；在所述纵向导杆(8)上安装有纵向滑动块(9)；在所述纵向滑动块(9)上固定有横向导杆(5)；在所述横向导杆(5)上安装有横向滑动块(7)；在所述横向滑动块(7)上安装有转动连接片(6)；所述转动连接片(6)由上连接片(6‑1)和下连接片(6‑2)组成；其中：所述下连接片(6‑2)的底部与横向滑动块(7)固定于横向滑动块(7)的顶部；所述下连接片(6‑2)的顶部与上连接片(6‑1)的设置有连接用的圆孔；在所述圆孔内插入螺栓将上连接片(6‑1)和下连接片(6‑2)连接；所述上连接片(6‑1)的顶部连接有下束流源悬挂件(4)，所述下束流源悬挂件(4)包括圆盘形状的下悬挂件本体(4‑1)；在所述下悬挂件本体(4‑1)的轴心上开设有中心连接孔(4‑2)；在所述下悬挂件本体(4‑1)上还开设有两个固定孔(4‑3)；在所述下束流源悬挂件(4)上设置有上束流源悬挂件(3)；所述上束流源悬挂件(3)包括圆盘形状的上悬挂件本体(3‑1)；在所述上悬挂件本体(3‑1)上设置有两个上支腿(3‑2)，在每个上支腿(3‑2)上开设有上连接孔(3‑3)；所述上悬挂件本体(3‑1)和下悬挂件本体(4‑1)之间固定连接；在所述上支腿(3‑2)上安装有束流源底盘(2)；所述束流源底盘(2)包括圆盘形状的底盘本体(2‑4)；在所述底盘本体(2‑4)上设置有热耦导出孔(2‑1)和两个下支腿(2‑2)；在每个下支腿(2‑2)上开设有下连接孔(2‑3)；在所述束流源底盘(2)上安装有束流源(1)。...

【技术特征摘要】
1.一种用于制备CIGS太阳电池吸收层的束流蒸发源，其特征在于：至少包括：
一真空腔室底盘(10)；在所述真空腔室底盘(10)上安装有纵向导杆(8)；在所述
纵向导杆(8)上安装有纵向滑动块(9)；在所述纵向滑动块(9)上固定有横向导杆(5)；
在所述横向导杆(5)上安装有横向滑动块(7)；在所述横向滑动块(7)上安装有转动
连接片(6)；所述转动连接片(6)由上连接片(6-1)和下连接片(6-2)组成；其中：
所述下连接片(6-2)的底部与横向滑动块(7)固定于横向滑动块(7)的顶部；所述下
连接片(6-2)的顶部与上连接片(6-1)的设置有连接用的圆孔；在所述圆孔内插入螺栓
将上连接片(6-1)和下连接片(6-2)连接；所述上连接片(6-1)的顶部连接有下束流
源悬挂件(4)，所述下束流源悬挂件(4)包括圆盘形状的下悬挂件本体(4-1)；在所述
下悬挂件本体(4-1)的轴心上开设有中心连接孔(4-2)；在所述下悬挂件本体(4-1)上
还开设有两个固定孔(4-3)；在所述下束流源悬挂件(4)上设置有上束流源悬...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖运子，赵岳，申绪男，王胜利，刘帅奇，乔在祥，赵彦民，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十八研究所，
类型：发明
国别省市：天津;12