一种沉积炉测温装置制造方法及图纸

技术编号:14999815 阅读:135 留言:0更新日期:2017-04-04 05:03
本实用新型专利技术公开了一种沉积炉测温装置,包括沉积炉、盖板、固定套、第一密封座、第一压盖、氮气喷气管、第二密封座、第二压盖、热电偶,工作时,沉积剂随氮气通过喷气接头进入氮气喷气管,含有沉积剂的氮气通过设置于分气盘上的分气孔均匀的喷向沉积炉进行沉积反应,由于氮气喷气管与第一压盖间隙相连且与第一密封座间隙相连以及热电偶与第二压盖间隙相连且与第二密封座间隙相连,使得氮气喷气管与热电偶拆装方便快捷,同时由于第一密封圈和第二密封圈的密封作用,有效防止外界空气与沉积炉内空气进行气体交换,提高分子筛品质。该装置结构简单,氮气喷气管与热电偶拆装方便快捷,且密封效果好,有效提高分子筛品质。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种测温装置,尤其涉及一种沉积炉测温装置
技术介绍
在国内有二十几家生产碳分子筛的工厂,基本都是沿用二十世纪八十年代由日本泊来的传统沉积炉,其主要结构为:传统沉积炉的中心轴线上一端是沉积剂加入管和插入炉内内的热电偶,另一端是进料、出料及尾气排出口,由于传统沉积炉沉积剂加入管和热电偶为相互独立式安装,导致操作困难以及密封效果差。鉴于上述缺陷,实有必要设计一种沉积炉测温装置。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于:提供一种沉积炉测温装置,来解决由于传统沉积炉沉积剂加入管和热电偶为相互独立式安装,导致拆装困难以及密封效果差的问题。为解决上述技术问题,本技术的技术方案是:一种沉积炉测温装置,包括沉积炉、盖板、固定套、第一密封座、第一压盖、氮气喷气管、第二密封座、第二压盖、热电偶,所述的固定套贯穿盖板,所述的固定套与盖板焊接相连,所述的第一密封座位于固定套顶部,所述的第一密封座与固定套焊接相连,所述的第一压盖位于第一密封座上端,所述的第一压盖与第一密封座螺纹相连,所述的氮气喷气管贯穿第一压盖且贯穿第一密封座,所述的氮气喷气管与第一压盖间隙相连且与第一密封座间隙相连,所述的第二密封座位于氮气喷气管顶部,所述的第二密封座与氮气喷气管焊接相连,所述的第二压盖位于第二密封座上端,所述的第二压盖与第二密封座螺纹相连,所述的热电偶贯穿第二压盖且贯穿第二密封座,所述的热电偶与第二压盖间隙相连且与第二密封座间隙相连。本技术进一步的改进如下:进一步的,所述的第一密封座还设有第一密封圈,所述的第一密封圈位于氮气喷气管外壁,所述的第一密封圈与第一密封座紧配相连且与氮气喷气管弹性相连,第一密封圈有效密封第一密封座与氮气喷气管结合面。进一步的,所述的氮气喷气管外壁上端左侧还设有喷气接头,所述的喷气接头与氮气喷气管焊接相连,沉积剂随氮气通过喷气接头进入氮气喷气管。进一步的,所述的氮气喷气管底部还设有分气盘,所述的分气盘位于热电偶外壁,所述的分气盘与氮气喷气管螺纹相连且与热电偶间隙相连。进一步的,所述的分气盘还设有若干分气孔,所述的分气孔贯穿分气盘,所述的分气孔均布于分气盘,含有沉积剂的氮气通过设置于分气盘上的分气孔均匀的喷向沉积炉。进一步的,所述的第二密封座还设有第二密封圈,所述的第二密封圈位于热电偶外壁,所述的第二密封圈与第二密封座紧配相连且与热电偶弹性相连,第二密封圈有效密封第二密封座与热电偶结合面。与现有技术相比,该沉积炉测温装置,工作时,沉积剂随氮气通过喷气接头进入氮气喷气管,含有沉积剂的氮气通过设置于分气盘上的分气孔均匀的喷向沉积炉进行沉积反应,由于氮气喷气管与第一压盖间隙相连且与第一密封座间隙相连以及热电偶与第二压盖间隙相连且与第二密封座间隙相连,使得氮气喷气管与热电偶拆装方便快捷,同时由于第一密封圈和第二密封圈的密封作用,有效防止外界空气与沉积炉内空气进行气体交换,提高分子筛品质。该装置结构简单,氮气喷气管与热电偶拆装方便快捷,且密封效果好,有效提高分子筛品质。附图说明图1示出本技术主视图剖视图图2示出本技术分气盘俯视图沉积炉1盖板2固定套3第一密封座4第一压盖5氮气喷气管6第二密封座7第二压盖8热电偶9第一密封圈401喷气接头601分气盘602分气孔603第二密封圈701具体实施方式如图1、图2所示,一种沉积炉测温装置,包括沉积炉1、盖板2、固定套3、第一密封座4、第一压盖5、氮气喷气管6、第二密封座7、第二压盖8、热电偶9,所述的固定套3贯穿盖板2,所述的固定套3与盖板2焊接相连,所述的第一密封座4位于固定套3顶部,所述的第一密封座4与固定套3焊接相连,所述的第一压盖5位于第一密封座4上端,所述的第一压盖5与第一密封座4螺纹相连,所述的氮气喷气管6贯穿第一压盖5且贯穿第一密封座4,所述的氮气喷气管6与第一压盖5间隙相连且与第一密封座4间隙相连,所述的第二密封座7位于氮气喷气管6顶部,所述的第二密封座7与氮气喷气管6焊接相连,所述的第二压盖8位于第二密封座7上端,所述的第二压盖8与第二密封座7螺纹相连,所述的热电偶9贯穿第二压盖8且贯穿第二密封座7,所述的热电偶与第二压盖8间隙相连且与第二密封座7间隙相连,所述的第一密封座4还设有第一密封圈401,所述的第一密封圈401位于氮气喷气管6外壁,所述的第一密封圈401与第一密封座4紧配相连且与氮气喷气管6弹性相连,第一密封圈401有效密封第一密封座4与氮气喷气管6结合面,所述的氮气喷气管6外壁上端左侧还设有喷气接头601,所述的喷气接头601与氮气喷气管6焊接相连,沉积剂随氮气通过喷气接头601进入氮气喷气管6,所述的氮气喷气管6底部还设有分气盘602,所述的分气盘602位于热电偶9外壁,所述的分气盘602与氮气喷气管6螺纹相连且与热电偶9间隙相连,所述的分气盘602还设有若干分气孔603,所述的分气孔603贯穿分气盘602,所述的分气孔603均布于分气盘602,含有沉积剂的氮气通过设置于分气盘602上的分气孔603均匀的喷向沉积炉1,所述的第二密封座7还设有第二密封圈701,所述的第二密封圈701位于热电偶9外壁,所述的第二密封圈701与第二密封座7紧配相连且与热电偶9弹性相连,第二密封圈701有效密封第二密封座7与热电偶9结合面,该沉积炉测温装置,工作时,沉积剂随氮气通过喷气接头601进入氮气喷气管6,含有沉积剂的氮气通过设置于分气盘602上的分气孔603均匀的喷向沉积炉1进行沉积反应,由于氮气喷气管6与第一压盖5间隙相连且与第一密封座4间隙相连以及热电偶9与第二压盖8间隙相连且与第二密封座7间隙相连,使得氮气喷气管6与热电偶9拆装方便快捷,同时由于第一密封圈401和第二密封圈701的密封作用,有效防止外界空气与沉积炉1内空气进行气体交换,提高分子筛品质。该装置结构简单,氮气喷气管与热电偶拆装方便快捷,且密封效果好,有效提高分子筛品质。本技术不局限于上述具体的实施方式,本领域的普通技术人员从上述构思出发,不经过创造性的劳动,所做出的种种变换,均落在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...
一种沉积炉测温装置

【技术保护点】
一种沉积炉测温装置,包括沉积炉、盖板,其特征在于还包括固定套、第一密封座、第一压盖、氮气喷气管、第二密封座、第二压盖、热电偶,所述的固定套贯穿盖板,所述的固定套与盖板焊接相连,所述的第一密封座位于固定套顶部,所述的第一密封座与固定套焊接相连,所述的第一压盖位于第一密封座上端,所述的第一压盖与第一密封座螺纹相连,所述的氮气喷气管贯穿第一压盖且贯穿第一密封座,所述的氮气喷气管与第一压盖间隙相连且与第一密封座间隙相连,所述的第二密封座位于氮气喷气管顶部,所述的第二密封座与氮气喷气管焊接相连,所述的第二压盖位于第二密封座上端,所述的第二压盖与第二密封座螺纹相连,所述的热电偶贯穿第二压盖且贯穿第二密封座,所述的热电偶与第二压盖间隙相连且与第二密封座间隙相连。

【技术特征摘要】
1.一种沉积炉测温装置,包括沉积炉、盖板,其特征在于还包括固定套、第一
密封座、第一压盖、氮气喷气管、第二密封座、第二压盖、热电偶,所述的固
定套贯穿盖板,所述的固定套与盖板焊接相连,所述的第一密封座位于固定套
顶部,所述的第一密封座与固定套焊接相连,所述的第一压盖位于第一密封座
上端,所述的第一压盖与第一密封座螺纹相连,所述的氮气喷气管贯穿第一压
盖且贯穿第一密封座,所述的氮气喷气管与第一压盖间隙相连且与第一密封座
间隙相连,所述的第二密封座位于氮气喷气管顶部,所述的第二密封座与氮气
喷气管焊接相连,所述的第二压盖位于第二密封座上端,所述的第二压盖与第
二密封座螺纹相连,所述的热电偶贯穿第二压盖且贯穿第二密封座,所述的热
电偶与第二压盖间隙相连且与第二密封座间隙相连。
2.如权利要求1所述的沉积炉测温装置,其特征在于所述的第一密封座...

【专利技术属性】
技术研发人员:胡耀明
申请(专利权)人:池州山立分子筛有限公司
类型:新型
国别省市:安徽;34

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1