感光性树脂组合物、固化膜的制造方法、固化膜、液晶显示装置及有机EL显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种即便在未进行HMDS等的疏水化处理的基板中也可兼具显影时的图案密合性与固化膜对基板的密合性的感光性树脂组合物、固化膜的制造方法、固化膜、液晶显示装置及有机EL显示装置。本发明专利技术的感光性树脂组合物含有：包含满足下述(1)及(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，即(1)含有(a1-1)具有酸基被酸分解性基保护的基团的结构单元、及(a1-2)具有交联性基的结构单元的聚合物，(2)含有(a1-1)具有酸基被酸分解性基保护的基团的结构单元的聚合物、及含有(a1-2)具有交联性基的结构单元的聚合物；通式(1)所表示的化合物；硅烷偶联剂；光酸产生剂；以及溶剂，其中，相对于上述感光性树脂组合物的总固体成分，上述通式(1)所表示的化合物的含量为0.1～5.0质量％，相对于上述通式(1)所表示的化合物的含量，上述硅烷偶联剂的含量的比例以质量比计为大于3.0倍且为50.0倍以下，通式(1)中，n表示4以上的整数，R1表示n价的有机基，R2～R5分别独立地表示碳数1～12的1价的有机基，R6表示碳数1～12的1价的烷基。通式(1)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术是有关于一种感光性树脂组合物(以下有时简称为“本专利技术的组合物”)。另外，本专利技术是有关于一种使用上述感光性树脂组合物的固化膜的制造方法、使感光性树脂组合物固化而成的固化膜、使用上述固化膜的各种图像显示装置。更详细而言，本专利技术是有关于一种适于形成液晶显示装置、有机EL(有机电致发光)显示装置、积体电路元件、固体摄像元件等电子组件的平坦化膜、保护膜或层间绝缘膜的感光性树脂组合物及使用其的固化膜的制造方法。
技术介绍
在有机EL显示装置或液晶显示装置等中设置有由图案形成的层间绝缘膜。在所述层间绝缘膜的形成中，因用于获得必要图案形状的工序数较少且可获得充分的平坦性，因此广泛使用感光性树脂组合物。针对上述显示装置中的层间绝缘膜，除绝缘性、耐热性、硬度以及氧化铟锡(ITO)溅镀适应性优异等固化膜的物性以外，也期望较高的透明性。因此，尝试将透明性优异的丙烯酸类树脂用作膜形成成分。例如，已知有专利文献1～专利文献3所记载。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2011-227106号公报专利文献2：日本特开2011-95433号公报专利文献3：国际公开WO2011/046230号小册子
技术实现思路
专利技术要解决的技术课题近年的平板显示器(以下有时称为“FPD”)的高像素密度化得以发展，从而强烈期望伴随于此的各像素图案尺寸的微细化。随着图案尺寸的微细化，必须使制造时使用的配r>线、各种结构物尺寸微细化，对用于形成这种感光性树脂组合物也要求同样的特性。另一方面，在现有的层间绝缘膜或保护膜制造工序中，为了提高感光性树脂组合物与基板在显影时的密合性(显影密合性)而进行作为基板的前处理的六甲基二硅氮烷(HMDS)处理等表面疏水化处理，但从成本减少、工序简化的观点考虑，欲省略这种处理的要求与日俱增。另外，伴随图案的微细化及表面疏水化处理的省略化，产生了感光性树脂组合物对基板的显影密合性不充分且显影过程中的图案缺损或剥落的问题。由此，在显影后完成的图案尺寸的面内均匀性劣化而难以确保尺寸精度的问题凸显。专利技术人等人进行了研究后结果得知，就提高显影密合性而言，上述通式(1)所表示的具有受阻胺结构的化合物有效，但若过量添加后述通式(1)所表示的具有受阻胺结构的化合物，则在显影后成为固化膜时与基板的密合性(固化膜密合性)劣化。而且，作为提高固化膜密合性的方法，已知有添加硅烷偶联剂，但若仅添加硅烷偶联剂，则显影密合性劣化，因此，难以平衡性良好地兼具显影密合性与固化膜密合性。本专利技术解决这种课题，其目的在于提供一种即便为未进行HMDS等的疏水化处理的基板也可兼具显影时的图案密合性与固化膜对基板的密合性的感光性树脂组合物、以及使用这种感光性树脂组合物的固化膜的制造方法、固化膜、液晶显示装置及有机EL显示装置。用于解决技术课题的手段本申请专利技术人根据这种状况进行了研究，结果发现，通过在感光性树脂组合物中以特定比率配制具有某种特定的杂环结构的化合物((S)成分)与硅烷偶联剂，可解决上述课题。具体而言，通过以下的解决手段<1>、优选为通过解决手段<2>～解决手段<15>解决了上述课题。<1>一种感光性树脂组合物，含有：(A-1)包含满足下述(1)及(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，(1)含有(a1-1)具有酸基被酸分解性基保护的基团的结构单元、及(a1-2)具有交联性基的结构单元的聚合物，(2)含有(a1-1)具有酸基被酸分解性基保护的基团的结构单元的聚合物、及含有(a1-2)具有交联性基的结构单元的聚合物；(S)通式(1)所表示的化合物；(SC)硅烷偶联剂；(B-1)光酸产生剂；以及(C-1)溶剂，其中，相对于上述感光性树脂组合物的总固体成分，上述通式(1)所表示的化合物的含量为0.1～5.0质量％，相对于上述通式(1)所表示的化合物的含量，上述硅烷偶联剂的含量的比例以质量比计为大于3.0倍且为50.0倍以下，通式(1)[化学式1]通式(1)中，n表示4以上的整数，R1表示n价的有机基，R2～R5分别独立地表示碳数1～12的1价的有机基，R6表示碳数1～12的1价的烷基。<2>一种感光性树脂组合物，含有：(A-2)包含满足下述(1)及(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，(1)含有(a2-1)具有酸基的结构单元、及(a2-2)具有交联性基的结构单元的聚合物，(2)含有(a2-1)具有酸基的结构单元的聚合物、及含有(a2-2)具有交联性基的结构单元的聚合物；(B-2)醌二叠氮化物；(S)通式(1)所表示的化合物；(SC)硅烷偶联剂；以及(C-2)溶剂，其中，相对于上述感光性树脂组合物的总固体成分，上述通式(1)所表示的化合物的含量为0.1～5.0质量％，相对于上述通式(1)所表示的化合物的含量，上述硅烷偶联剂的含量的比例以质量比计为大于3.0倍且为50.0倍以下，通式(1)[化学式2]通式(1)中，n表示4以上的整数，R1表示n价的有机基，R2～R5分别独立地表示碳数1～12的1价的有机基，R6表示碳数1～12的1价的烷基。<3>一种感光性树脂组合物，含有：(A-3)聚合性单体；(B-3)光聚合引发剂；(A-4)包含满足下述(1)及(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，(1)含有(a4-1)具有酸基的结构单元、及(a4-2)具有交联性基的结构单元的聚合物，(2)含有(a4-1)具有酸基的结构单元的聚合物、及含有(a4-2)具有交联性基的结构单元的聚合物；(S)通式(1)所表示的化合物；(SC)硅烷偶联剂；以及(C-3)溶剂，其中，相对于上述感光性树脂组合物的总固体成分，上述通式(1)所表示的化合物的含量为0.1～5.0质量％，相对于上述通式(1)所表示的化合物的含量，上述硅烷偶联剂的含量的比例以质量比计为大于3.0倍且为50.0倍以下，通式(1)[化学式3]通式(1)中，n表示4以上的整数，R1表示n价的有机基，R2～R5分别独立地表示碳数1～12的1价的有机基，R6表示碳数1～12的1价的烷基。<4>如<1>至<3>中任一项所记载的感光性树脂组合物，其中，上述通式(1)中，R1为n价的脂肪族烃基、芳香族烃基、杂环基、或包含它们中的一种或两种以上与氮原子、氧原子、-C(＝O)-、-NH-的组合的基团。<5>如<1>至<4>中任一项所记载的感光性树脂组合本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光性树脂组合物，其含有：A‑1：包含满足下述1及2中的至少一个的聚合物的聚合物成分，1：含有具有酸基被酸分解性基保护的基团的结构单元作为a1‑1成分、及具有交联性基的结构单元作为a1‑2成分的聚合物，2：含有具有酸基被酸分解性基保护的基团的结构单元作为a1‑1成分的聚合物、及含有具有交联性基的结构单元作为a1‑2成分的聚合物；S：通式1所表示的化合物；SC：硅烷偶联剂；B‑1：光酸产生剂；以及C‑1：溶剂，其中，相对于所述感光性树脂组合物的总固体成分，所述通式1所表示的化合物的含量为0.1～5.0质量％，所述硅烷偶联剂的含量相对于所述通式1所表示的化合物的含量的比例以质量比计大于3.0倍且为50.0倍以下，通式1[化学式1]通式1中，n表示4以上的整数，R1表示n价的有机基，R2～R5分别独立地表示碳数1～12的1价的有机基，R6表示碳数1～12的1价的烷基。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.10.30 JP 2013-225552;2014.01.27 JP 2014-012291.一种感光性树脂组合物，其含有：
A-1：包含满足下述1及2中的至少一个的聚合物的聚合物成分，
1：含有具有酸基被酸分解性基保护的基团的结构单元作为a1-1成分、及具有交联性基
的结构单元作为a1-2成分的聚合物，
2：含有具有酸基被酸分解性基保护的基团的结构单元作为a1-1成分的聚合物、及含有
具有交联性基的结构单元作为a1-2成分的聚合物；
S：通式1所表示的化合物；
SC：硅烷偶联剂；
B-1：光酸产生剂；以及
C-1：溶剂，
其中，相对于所述感光性树脂组合物的总固体成分，所述通式1所表示的化合物的含量
为0.1～5.0质量％，所述硅烷偶联剂的含量相对于所述通式1所表示的化合物的含量的比
例以质量比计大于3.0倍且为50.0倍以下，
通式1
[化学式1]
通式1中，n表示4以上的整数，R1表示n价的有机基，R2～R5分别独立地表示碳数1～12的
1价的有机基，R6表示碳数1～12的1价的烷基。
2.一种感光性树脂组合物，其含有：
A-2：包含满足下述1及2中的至少一个的聚合物的聚合物成分，
1：含有具有酸基的结构单元作为a2-1成分、及具有交联性基的结构单元作为a2-2成分
的聚合物，
2：含有具有酸基的结构单元作为a2-1成分的聚合物、及含有具有交联性基的结构单元
作为a2-2成分的聚合物；
B-2：醌二叠氮化物；
S：通式1所表示的化合物；
SC：硅烷偶联剂；以及
C-2：溶剂，
其中，相对于所述感光性树脂组合物的总固体成分，所述通式1所表示的化合物的含量
为0.1～5.0质量％，所述硅烷偶联剂的含量相对于所述通式1所表示的化合物的含量的比
例以质量比计大于3.0倍且为50.0倍以下，
通式1
[化学式2]
通式1中，n表示4以上的整数，R1表示n价的有机基，R2～R5分别独立地表示碳数1～12的
1价的有机基，R6表示碳数1～12的1价的烷基。
3.一种感光性树脂组合物，其含有：
A-3：聚合性单体；
B-3：光聚合引发剂；
A-4：包含满足下述1及2中的至少一个的聚合物的聚合物成分，
1：含有具有酸基的结构单元作为a4-1成分、及具有交联性基的结构单元作为a4-2成分
的聚合物，
2：含有具有酸基的结构单元作为a4-1成分的聚合物、及含有具有交联性基的结构单元
作为a4-2成分的聚合物；
S：通式1所表示的化合物；
SC：硅烷偶联剂；以及

【专利技术属性】
技术研发人员：米泽裕之，真崎庆央，山下史绘，柏木大助，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP