【技术实现步骤摘要】
示例性实施例涉及一种薄膜晶体管阵列面板和一种用于制造该薄膜晶体管阵列面板的方法。
技术介绍
通常,薄膜晶体管(TFT)在诸如液晶显示器或有机发光显示器等的平板显示器中用作独立地驱动每个像素的开关元件。薄膜晶体管阵列面板可以包括薄膜晶体管、连接到薄膜晶体管的像素电极、向薄膜晶体管传输栅极信号的栅极线和向薄膜晶体管传输数据信号的数据线等。薄膜晶体管包括连接到栅极线以接收栅极信号的栅电极、形成在栅电极上的半导体层、形成在半导体层上且连接到数据线以接收数据信号的源电极以及被形成为与源电极分开且连接到像素电极的漏电极。在这种情况下,栅极线、栅电极、数据线、源电极和漏电极等可以由金属布线形成。为了提高分辨率,已经进行了可以提高薄膜晶体管阵列面板上每单位面积的像素集成度的研究,并且为了高速处理图像信号,已经展开了关于使用电子迁移率高的氧化物半导体或电阻更低的铜布线的研究。在这种情况下,为了通过使用低电阻铜布线实现高分辨率显示器,可以形成厚的铜布线。在这种情况下,一旦形成了厚的铜布线,则包括可形成在铜布线上的源电极和漏电极的其他金属布线可因为可能由铜布线的厚度导致的台阶而断开。这会导致其他布线的裂纹。在该
技术介绍
部分中公开的以上信息仅用于增强对本专利技术的背景的理解,因此以上信息可能包含不构成对于本领域普通技术人员而言在该国家已经知晓的现有技术的信息。
技术实现思路
示例性实施例提供一种薄膜晶 ...
【技术保护点】
一种薄膜晶体管阵列面板,所述薄膜晶体管阵列面板包括:第一栅极绝缘层,设置在基底上并包括暴露所述基底的一部分的栅极开口;栅电极,设置在所述栅极开口中;第二栅极绝缘层,设置在所述第一栅极绝缘层和所述栅电极上;半导体层,形成在所述第二栅极绝缘层上;源电极和漏电极,被设置为在所述半导体层上彼此分开;钝化层,设置在所述第二栅极绝缘层、所述源电极和所述漏电极上;以及像素电极,设置在所述钝化层上并连接到所述漏电极,其中,所述栅电极具有呈倒锥形状的侧面。
【技术特征摘要】
2014.11.26 KR 10-2014-01664411.一种薄膜晶体管阵列面板,所述薄膜晶体管阵列面板包括:
第一栅极绝缘层,设置在基底上并包括暴露所述基底的一部分的栅极开
口;
栅电极,设置在所述栅极开口中;
第二栅极绝缘层,设置在所述第一栅极绝缘层和所述栅电极上;
半导体层,形成在所述第二栅极绝缘层上;
源电极和漏电极,被设置为在所述半导体层上彼此分开;
钝化层,设置在所述第二栅极绝缘层、所述源电极和所述漏电极上;以
及
像素电极,设置在所述钝化层上并连接到所述漏电极,
其中,所述栅电极具有呈倒锥形状的侧面。
2.根据权利要求1所述的薄膜晶体管阵列面板,其特征在于,所述栅电
极由铜制成。
3.根据权利要求2所述的薄膜晶体管阵列面板,其特征在于,所述栅电
极具有1μm或更大的厚度。
4.根据权利要求3所述的薄膜晶体管阵列面板,其特征在于,所述第二
栅极绝缘层具有平坦的上表面。
5.根据权利要求1所述的薄膜晶体管阵列面板,其特征在于,所述第一
栅极绝缘层和所述栅电极具有相同的厚度。
6.根据权利要求1所述的薄膜晶体管阵列面板,其特征在于,所述第一
栅极绝缘层和所述第二栅极绝缘层由相同的材料制成。
7.根据权利要求1所述的薄膜晶体管阵列面板,其特征在于,所述栅电
极具有定位成比所述第一栅极绝缘层的上表面高或低的上表面。
8.一种用于制造薄膜晶体管阵列面板的方法,所述方法包括以下步骤:
在基底上形成第一栅极绝缘层;
在所述第一栅极绝缘层中形成暴露所述基底的一部分的栅极开口;
在所述栅极开口中形成栅电极;
在所述第一栅极绝缘层和所述栅电极上形成第二栅极绝缘层;
在所述第二栅极绝缘层上形成半导体层;
在所述半导体层上形成彼此分开的源电极和漏电极;
在所述第二栅极绝缘层、所述源电极和所述漏电极上形成钝化层;以及
在所述钝化层上形成连接到所述漏电极的像素电极。
9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,形成栅极开口的步骤还包
括以下步骤:
在所述第一栅极绝缘层上形成第一抗蚀剂层;
在所述第一抗蚀剂层上形成第二抗蚀剂层;
对所述第一抗蚀剂层和所述第二抗蚀剂层进行曝光和显影,以在...
【专利技术属性】
技术研发人员:洪泌荀,朴贵铉,周振豪,
申请(专利权)人:三星显示有限公司,
类型:发明
国别省市:韩国;KR
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