基板处理装置、升降销的位置检测、调节和异常检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够在短时间内正确定位升降销的高度位置的基板处理装置。从控制部(50)的驱动控制部(51)向升降销装置的驱动部发出电动机的驱动指令。接受该驱动指令，电动机以与指令脉冲对应的旋转速度和转矩旋转驱动，使升降销上升驱动。抵接检测部(53)监视来自伺服放大器内的是输出值。例如，在作为伺服放大器内的偏差计数器的指令脉冲的累计值的滞留脉冲的绝对值超过阈值时，判定升降销的前端与载置物的下表面抵接。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具有用于使例如平板显示器(FPD)用玻璃基板等基板升降的基板升降装置、对基板实施处理的基板处理装置、升降销的高度位置检测方法和高度位置调节方法以及升降销的异常检测方法。
技术介绍
在对基板进行例如蚀刻、成膜等处理的基板处理装置中，在载置基板的载置台设置有能够相对于基板载置面突出和没入的多个升降销。通过使这些升降销上升或下降而进行基板的交接。在对基板进行处理的期间，升降销收纳在形成于载置台的孔中。关于升降销的控制，在专利文献1中提案了一种半导体基板处理装置，其具有：对驱动升降销的电动机所承受的负载的变化常时进行监视的监视部；和在由监视得到的负载的变化量超过额定值时，判定升降销的动作发生异常的判断部。此外，在专利文献2中提案了下述技术：在由静电卡盘静电吸附着半导体基板时，使升降销的前端从静电卡盘的吸附面起仅上升规定量，基于来自驱动升降销的电动机驱动器的电动机转矩信号来检测半导体基板对静电卡盘的吸附状态。进而，关于半导体制造装置中的电动机的控制，专利文献3提案了在电动机为非驱动状态时也常时监视编码器所产生的脉冲的技术。此外，专利文献4提案了下述技术：在被动体到达目标位置前，对AC伺服电动机流通对偏差进行比例积分而得的电流，在被动体到达目标位置时，在AC伺服电动机流通与偏差成比例的值的电流。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2010-278271号公报(图4等)专利文献2：日本特开2008-277706号公报(权利要求的范围等)专利文献3：日本特开2000-152676号公报(权利要求的范围等)专利文献4：日本特开平9-201083号公报(图2等)
技术实现思路
专利技术想要解决的技术问题FPD用的玻璃基板近年来具有大型化不断发展且其厚度变薄的倾向。为了稳定地支承大型且薄的玻璃基板，必须增加升降销的数量。因此，在现有技术中避开玻璃基板的面内的产品化领域(设置元件、配线等的区域)而配置升降销，而今后也存在着在玻璃基板的面内的产品化区域的下方配置升降销的需求。但是，在产品化区域的下方配置升降销的情况下，在对基板进行处理的期间，当升降销的位置过高时会与基板接触，而成为发生处理不均的原因。另一方面，在对基板进行处理的期间，当升降销的位置过低时，由于电场落入基板与升降销的前端之间的空隙，成为产生例如蚀刻斑等处理不均的原因。由此，正确地掌握升降销的位置对于确保产品的可靠性是很重要的。但是，一直以来并没有确立自动地掌握升降销的位置的方案，而是操作者例如使用度盘式指示器等计测设备测定每个升降销的位置，因此定位所耗费的时间长，存在装置的停机时间长期化的问题。本专利技术的目的是提供能够在短时间正确掌握升降销的高度位置的基板处理装置。用于解决技术课题的技术方案本专利技术的基板处理装置包括：载置基板的载置台；基板升降装置，其包括设置成能够相对于上述载置台的基板支承面突出和没入而进行上述基板的交接的升降销、和作为使该升降销上升或下降的驱动部的伺服电动机；和控制上述基板升降装置的控制部。而且，在本专利技术的基板处理装置中，上述控制部包括抵接检测部，其监视来自上述伺服电动机的电动机驱动器的输出值，检测上述升降销的前端与载置于上述基板支承面的载置物的下表面抵接的高度位置。此外，在本专利技术的基板处理装置中可以是，将作为上述伺服电动机的指令脉冲与反馈脉冲的差的滞留脉冲作为上述输出值进行监视，或者将上述伺服电动机的转矩值作为上述输出值进行监视。此外，本专利技术的基板处理装置中可以是，上述控制部还包括高度位置调节部，其在上述升降销的前端与上述载置物的下表面抵接后，使上述升降销下降规定量。此外，本专利技术的基板处理装置中可以是，上述控制部还包括异常检测部，其基于至上述升降销的前端与上述载置物的下表面抵接为止的移动量或至抵接后停止为止的移动量，检测上述升降销的异常。此外，在本专利技术的基板处理装置中可以是，上述控制部还包括设定上述升降销的驱动速度的驱动速度设定部。此时可以是，上述驱动速度设定部设定下述速度：为了进行上述基板的交接而驱动上述升降销的第一驱动速度；为了检测上述升降销的前端与载置于上述基板支承面的上述载置物的下表面抵接的高度位置而驱动上述升降销的、比上述第一驱动速度小的第二驱动速度。本专利技术的升降销的高度位置检测方法是在包括载置基板的载置台、设置成能够相对于上述载置台的基板支承面突出和没入地移位的升降销、和作为使上述升降销上升或下降的驱动部的伺服电动机的基板处理装置中检测上述升降销的高度位置的方法。该升降销的高度位置检测方法包括：使上述升降销从第一高度位置上升的上升步骤；和检测步骤，根据来自上述伺服电动机的电动机驱动器的输出值，检测上述升降销的前端与载置于上述基板支承面的载置物的下表面的抵接。本专利技术的升降销的高度位置调节方法是在包括载置基板的载置台、设置成能够相对于上述载置台的基板支承面突出和没入地移位的升降销、和作为使上述升降销上升或下降的驱动部的伺服电动机的基板处理装置中调节上述升降销的高度位置的方法。该高度位置调节方法包括：使上述升降销从第一高度位置上升的上升步骤；检测步骤，根据上述伺服电动机的电动机驱动器的输出值，检测上述升降销的前端与载置于上述基板支承面的载置物的下表面的抵接；和在上述检测步骤中检测出已抵接时，使上述升降销在第二高度位置停止的停止步骤。此外，本专利技术的升降销的高度位置调节方法可以还包括以上述升降销的前端与上述载置物的下表面抵接的高度位置或上述第二高度位置为基准，使上述升降销下降至第三高度位置的下降步骤。本专利技术的升降销的异常检测方法是在包括载置基板的载置台、设置成能够相对于上述载置台的基板支承面突出和没入的升降销、和作为使上述升降销上升或下降的驱动部的伺服电动机的基板处理装置中检测上述升降销的异常的方法。该升降销的异常检测方法包括：使上述升降销从第一高度位置上升的上升步骤；检测步骤，根据来自上述伺服电动机的电动机驱动器的输出值，检测上述升降销的前端与载置于上述基板支承面的载置物的下表面的抵接；和异常检测步骤，基于从上述第一高度位置起至上述升降销的前端与上述载置物的下表面抵接的高度位置为止的移动量、或至抵接后使上述升降销停止的第二高度位置为止的移动量，检测上述升降销的异常。上述本专利技术的升降销的高度位置检测方法、升降销的高度位置调节方法和升降销的异常检测方法中可以是，将作为上述伺服电动机的指令脉冲与反馈脉冲的差的滞留脉冲作为上述输出值进行监视，或者将上述伺服电动机的扭矩值作为上述输出值进行监视。此外，上述本专利技术的升降销的高度位置检测方法、升降销的高度位置调节方法和升降销的异常检测方法中可以是，上述伺服电动机设置成能够切换下述速度：为了进行上述基板的交接而驱动上述升降销的第一驱动速度；和为了检测上述升降销的前端与上述载置物的下表面的抵接而驱动上述升降销的、比上述第一驱动速度小的第二驱动速度，以上述第二驱动速度进行上述上升步骤。专利技术效果根据本专利技术，通过以来自驱动部的电动机驱动器的输出值作为指标，能够以与例如利用度盘式指示器的手动定位同等或更高的精度，迅速且自动地检测升降销的前端到达载置物的下表面的情况。由此，能够大幅缩短升降销的定位所需的时间，因此能够减少装置的停机时间，提高基板处理的效率。附图说明图1是表示本专利技术的一实施方式的等离本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板处理装置，其特征在于，包括：载置基板的载置台；基板升降装置，其包括设置成能够相对于所述载置台的基板支承面突出和没入而进行所述基板的交接的升降销、和作为使该升降销上升或下降的驱动部的伺服电动机；和控制所述基板升降装置的控制部，所述控制部包括抵接检测部，其监视来自所述伺服电动机的电动机驱动器的输出值，检测所述升降销的前端与载置于所述基板支承面的载置物的下表面抵接的高度位置。

【技术特征摘要】
2015.09.01 JP 2015-172109;2016.08.12 JP 2016-158381.一种基板处理装置，其特征在于，包括：载置基板的载置台；基板升降装置，其包括设置成能够相对于所述载置台的基板支承面突出和没入而进行所述基板的交接的升降销、和作为使该升降销上升或下降的驱动部的伺服电动机；和控制所述基板升降装置的控制部，所述控制部包括抵接检测部，其监视来自所述伺服电动机的电动机驱动器的输出值，检测所述升降销的前端与载置于所述基板支承面的载置物的下表面抵接的高度位置。2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于：将作为所述伺服电动机的指令脉冲与反馈脉冲的差的滞留脉冲作为所述输出值进行监视。3.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于：将所述伺服电动机的转矩值作为所述输出值进行监视。4.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于：所述控制部还包括高度位置调节部，其在所述升降销的前端与所述载置物的下表面抵接后，使所述升降销下降规定量。5.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于：所述控制部还包括异常检测部，其基于至所述升降销的前端与所述载置物的下表面抵接为止的移动量或至抵接后停止为止的移动量，检测所述升降销的异常。6.如权利要求1～5中任一项所述的基板处理装置，其特征在于：所述控制部还包括设定所述升降销的驱动速度的驱动速度设定部。7.如权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于：所述驱动速度设定部设定下述速度：为了进行所述基板的交接而驱动所述升降销的第一驱动速度；和为了检测所述升降销的前端与载置于所述基板支承面的所述载置物的下表面抵接的高度位置而驱动所述升降销的、比所述第一驱动速度小的第二驱动速度。8.一种升降销的高度位置检测方法，其在包括载置基板的载置台、设置成能够相对于所述载置台的基板支承面突出和没入地移位的升降销、和作为使所述升降销上升或下降的驱动部的伺服电动机的基板处理装置中检测所述升降销的高度位置，所述升降销的高度位置检测方法的特征在于，包括：使所述升降销从第一高度位置上升的上升步骤；和检测步骤，根据来自所述伺服电动机的电动机驱动器的输出值，检测所述升降销的前端与载置于所述基板支承面的载置物的下表面的抵接。9.如权利要求8所述的升降销的高度位置检测方法，其特征在于：将作为所述伺服电动机的指令脉冲与反馈脉冲的差的滞留脉冲作为所述输出值进行监视。10.如权利要求8所述的升降销的高度位置检测方法，其特征在于：将所述伺服电动机的转矩值作为所述输出值进行监视。11.如权利要求8所述的升降销的高度位置检测方法，其特征在于：所述伺服电动机设置成能够切换下述速度：为了进行所述基板的交接而驱动所述升降销的第一驱动速度；和为了检测所述升降销的前端与所述载置物的下表面的抵接而驱动所述升降销的、比所...

【专利技术属性】
技术研发人员：末木英人，三浦知久，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP