基于MES系统的半导体制造控制方法及系统技术方案

本发明专利技术提出了一种基于MES系统的半导体制造控制方法及系统，其中，基于MES系统的半导体制造控制方法包括：从MES系统中获取半导体的生产数据；根据接收到的来自作业监测账户的创建命令和半导体的生产数据，创建生产异常单据，并向MES系统发送停止作业命令，以供MES系统停止对半导体的生产过程；将半导体异常单据上传至管理账户，以供在管理账户接收对半导体的处理指令；以及执行来自管理账户的处理指令。通过以上技术方案，实现了签核过程即为处理过程，简化了审批过程，提高了生产效率，同时，还具有实时性高、操作简便、功能性和实用性强等特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及终端
，具体而言，涉及一种基于MES系统的半导体制造控制方法和一种基于MES系统的半导体制造控制系统。
技术介绍
在半导体的生产过程中，难免会出现如环境污染造成晶圆硅片等半导体表面灰尘污染、机台异常而导致半导体产品损坏或其它因素造成半导体产品经量测不合格等异常情况。作业人员很难第一时间发现并处理，这就要求发挥作业人员的主观灵动性，使作业人员根据自己的经验提出疑问并暂停作业，向上级反应问题，并等待专业人员的结论来确定后续作业是否进行。然而，这样的生产制造过程中，由于人工操作的局限性，作业人员发现问题时很可能无法及时上报处理，即使在上报后，由于人工审批流程的复杂性也会造成时间和成本的浪费。因此，需要一种新的技术方案，可以在作业过程中及时发现半导体并立即处理。
技术实现思路
本专利技术正是基于上述问题，提出了一种新的技术方案，可以在作业过程中及时发现半导体并立即处理，以提升生产效率。有鉴于此，本专利技术的一方面提出了一种基于MES系统的半导体制造控制方法，包括：从所述MES系统中获取半导体的生产数据；根据接收到的来自作业监测账户的创建命令和所述半导体的所述生产数据，创建生产异常单据，并向所述MES系统发送停止作业命令，以供所述MES系统停止对所述半导体的生产过程；将所述半导体异常单据上传至管理账户，以供在所述管理账户接收对所述半导体的处理指令；以及执行来自所述管理账户的所述处理指令。在该技术方案中，通过半导体的生产数据的获取可以使作业人员第一时间发现MES系统(制造企业生产过程执行管理系统)中的半导体表面异常、机台异常、量测数据不合格等异常情况，并自动暂停作业，向上级管理人员反映问题，以及在上级管理人员发出处理指令后，不再对作业人员另行通知，而是直接控制MES系统执行该处理指令，避免了成本和时间的浪费。通过该技术方案，采用Weblogic(一种用于开发、集成、部署和管理的大型分布式页面应用)融合嵌套于MES系统，实现了签核过程即为处理过程，简化了审批过程，提高了生产效率，同时，还具有实时性高、操作简便、功能性和实用性强等特点。在上述技术方案中，优选地，在所述从所述MES系统中获取半导体的生产数据之前，还包括：根据接收到的账户创建命令，创建所述作业监测账户和所述管理账户。在该技术方案中，可以在系统中预先为作业人员创建作业监测账户和为上级管理人员创建管理账户，从而提升了系统管理的灵活性，便于进一步通过管理账户直接发出处理指令，以简化审批过程，提高生产效率。在上述技术方案中，优选地，所述管理账户的数量为一个或多个，其中，当所述管理账户的数量为多个时，在所述创建所述作业监测账户和所述管理账户之后，还包括：根据接收到的设置命令，为多个所述管理账户分别设置管理权限和管理等级。在该技术方案中，当管理账户的数量为多个时，需要为多个管理账户各自设置对应的管理权限和管理等级，以便在作业监测账户上传生产异常单据后，按照由低至高的管理等级依次获取管理账户的审批结果，直至执行命令所需的最高等级的管理账户审批后，才对半导体进行处理，从而提升了系统管理的有效性和实用性。在上述技术方案中，优选地，在所述将所述半导体异常单据上传至管理账户之后，还包括：按照所述管理等级，将所述半导体异常单据依次发送至多个所述管理账户，以供多个所述管理账户依次根据各自的所述管理权限对所述半导体异常单据发出所述处理指令。在该技术方案中，需要按照由低至高的管理等级依次获取管理账户的审批结果，直至执行命令所需的最高等级的管理账户审批后，才对半导体进行处理。另外，不同等级的管理账户的管理权限也有所不同，可由用户根据实际需要进行灵活设置，每个管理账户只能在自己的管理权限范围内发出指令，而对于超出管理权限的指令，系统采取不执行或不上传的方式处理。在上述技术方案中，优选地，所述半导体的所述生产数据包括以下至少之一或其组合：所述半导体的编号、所述半导体对应的批次晶装盒、所述半导体的生产机台编号、所述生产机台的工作参数；所述处理指令包括：分批、报废、释放或待观察。在该技术方案中，半导体的生产数据包括但不限于以下至少之一或其组合：半导体的编号、半导体对应的批次晶装盒、半导体的生产机台编号、生产机台的工作参数，以及处理指令包括但不限于：分批、报废、释放或待观察。通过该技术方案，多样化的生产数据可以使上级管理人员更加准确地判断半导体的异常情况，从而便于发出正确有效的处理指令。本专利技术的另一方面提出了一种基于MES系统的半导体制造控制系统，其特征在于，包括：生产数据获取单元，从所述MES系统中获取半导体的生产数据；异常单据创建单元，根据接收到的来自作业监测账户的创建命令和所述半导体的所述生产数据，创建生产异常单据；停止单元，在创建所述生产异常单据时，向所述MES系统发送停止作业命令，以供所述MES系统停止对所述半导体的生产过程；异常单据上传单元，将所述半导体异常单据上传至管理账户，以供在所述管理账户接收对所述半导体的处理指令；以及执行单元，执行来自所述管理账户的所述处理指令。在该技术方案中，通过半导体的生产数据的获取可以使作业人员第一时间发现MES系统(制造企业生产过程执行管理系统)中的半导体表面异常、机台异常、量测数据不合格等异常情况，并自动暂停作业，向上级管理人员反映问题，以及在上级管理人员发出处理指令后，不再对作业人员另行通知，而是直接控制MES系统执行该处理指令，避免了成本和时间的浪费。通过该技术方案，采用Weblogic(一种用于开发、集成、部署和管理的大型分布式页面应用)融合嵌套于MES系统，实现了签核过程即为处理过程，简化了审批过程，提高了生产效率，同时，还具有实时性高、操作简便、功能性和实用性强等特点。在上述技术方案中，优选地，还包括：账户创建单元，在所述从所述MES系统中获取半导体的生产数据之前，根据接收到的账户创建命令，创建所述作业监测账户和所述管理账户。在该技术方案中，可以在系统中预先为作业人员创建作业监测账户和为上级管理人员创建管理账户，从而提升了系统管理的灵活性，便于进一步通过管理账户直接发出处理指令，以简化审批过程，提高生产效率。在上述技术方案中，优选地，所述管理账户的数量为一个或多个，其中，当所述管理账户的数量为多个时，还包括：设置单元，在所述创建所述作业监测账户和所述管理账户之后，根据接收到的设置命令，为多个所述管理账户分别设置管理权限和管理等级。在该技术方案中，当管理账户的数量为多个时，需要为多个管理账户各自设置对应的管理权限和管理等级，以便在作业监测账户上传生产异常单据后，按照由低至高的管理等级依次获取管理账户的审批结果，直至执行命令所需的最高等级的管理账户审批后，才对半导体进行处理，从而提升了系统管理的有效性和实用性。在上述技术方案中，优选地，还包括：管理账户处理单元，在所述将所述半导体异常单据上传至管理账户之后，按照所述管理等级，将所述半导体异常单据依次发送至多个所述管理账户，以供多个所述管理账户依次根据各自的所述管理权限对所述半导体异常单据发出所述处理指令。在该技术方案中，需要按照由低至高的管理等级依次获取管理账户的审批结果，直至执行命令所需的最高等级的管理账户审批后，才对半导体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于MES系统的半导体制造控制方法，其特征在于，包括：从所述MES系统中获取半导体的生产数据；根据接收到的来自作业监测账户的创建命令和所述半导体的所述生产数据，创建生产异常单据，并向所述MES系统发送停止作业命令，以供所述MES系统停止对所述半导体的生产过程；将所述半导体异常单据上传至管理账户，以供在所述管理账户接收对所述半导体的处理指令；以及执行来自所述管理账户的所述处理指令。

【技术特征摘要】
1.一种基于MES系统的半导体制造控制方法，其特征在于，包括：从所述MES系统中获取半导体的生产数据；根据接收到的来自作业监测账户的创建命令和所述半导体的所述生产数据，创建生产异常单据，并向所述MES系统发送停止作业命令，以供所述MES系统停止对所述半导体的生产过程；将所述半导体异常单据上传至管理账户，以供在所述管理账户接收对所述半导体的处理指令；以及执行来自所述管理账户的所述处理指令。2.根据权利要求1所述的基于MES系统的半导体制造控制方法，其特征在于，在所述从所述MES系统中获取半导体的生产数据之前，还包括：根据接收到的账户创建命令，创建所述作业监测账户和所述管理账户。3.根据权利要求2所述的基于MES系统的半导体制造控制方法，其特征在于，所述管理账户的数量为一个或多个，其中，当所述管理账户的数量为多个时，在所述创建所述作业监测账户和所述管理账户之后，还包括：根据接收到的设置命令，为多个所述管理账户分别设置管理权限和管理等级。4.根据权利要求3所述的基于MES系统的半导体制造控制方法，其特征在于，在所述将所述半导体异常单据上传至管理账户之后，还包括：按照所述管理等级，将所述半导体异常单据依次发送至多个所述管理账户，以供多个所述管理账户依次根据各自的所述管理权限对所述半导体异常单据发出所述处理指令。5.根据权利要求1至4中任一项所述的基于MES系统的半导体制造控制方法，其特征在于，所述半导体的所述生产数据包括以下至少之一或其组合：所述半导体的编号、所述半导体对应的批次晶装盒、所述半导体的生产机台编号、所述生产机台的工作参数；所述处理指令包括：分批、报废、释放或待观察。6.一种基于MES系统的半导体制造控制系统，其特征在于，包括：生产数据获取单...

【专利技术属性】
技术研发人员：詹祥宇，
申请(专利权)人：北大方正集团有限公司，深圳方正微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11