靶材侧面切槽刀具制造技术

本发明专利技术提供一种靶材侧面切槽刀具，所述刀具包括：刀杆，所述刀杆在延伸方向上包括第一端面和第二端面，以及位于所述第一端面和第二端面之间的侧面；刀头，设置于所述刀杆第一端面和侧面交界处，设置有刀头的侧面为连接侧面，所述刀头包括与所述第一端面相连接的第一刀面，与所述第一刀面相背且与所述连接侧面相连的背面，所述背面与所述连接侧面之间的夹角为钝角。本发明专利技术通过使刀具的刀头与刀杆的夹角呈钝角，采用所述刀具对靶材侧面进行加工时，可以避免刀杆与靶材发生摩擦，同时避免对所述刀具进入靶材侧面深度的影响，采用所述刀具加工靶材后，在所述靶材侧面形成斜槽且所述靶材侧面斜槽尺寸满足工艺规格。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体领域，尤其涉及一种靶材侧面切槽刀具。
技术介绍
物理气相沉积法(PhysicalVaporDeposition；PVD)是半导体芯片制造中最为普遍的工艺之一，而PVD用溅射靶材是配线材料、液晶平板显示器、光学镜头、电子成像、太阳能电池等制造工艺中尤为重要的原材料之一。靶材的纯度越高或靶材的晶粒取向越均匀，溅射薄膜的性能越好，纯度较高的靶材已被越来越广泛地使用，例如：纯度达到99.8％以上的纯钛靶材已成为常用材料之一。但采用高纯钛的靶材侧面通常为V型斜槽，而V型斜槽的形状和尺寸特殊，现有市场上没有适合加工此类型靶材侧面V型斜槽的刀具。
技术实现思路
本专利技术解决的问题是提供一种靶材侧面切槽刀具，以得到具有侧面V型斜槽的靶材。为解决上述问题，本专利技术提供一种靶材侧面切槽刀具。待切槽靶材设置于一背板上，所述靶材位于背板的中心区域且露出背板的边缘区域，所述刀具包括：刀杆，所述刀杆在延伸方向上包括第一端面和第二端面，所述第一端面用于在切槽时面向所述靶材侧面，所述刀杆还包括位于所述第一端面和第二端面之间的侧面；刀头，凸出设置于所述刀杆第一端面和侧面交界处，设置有刀头的侧面为连接侧面；所述刀头包括与所述第一端面相连接的第一刀面，与所述第一刀面相背且与所述连接侧面相连的背面，以及位于所述第一刀面和背面之间且背向所述刀杆的第二刀面；所述第二刀面与所述第一刀面用于在切槽时去除靶材侧面的部分材料形成斜槽；所述第二刀面与所述背面相连接处为第一棱，用于在切削过程中抵靠在背板的边缘区域；所述背面与所述连接侧面之间角度为钝角。可选的，所述背面与所述连接侧面之间角度为165°至170°。可选的，所述刀头还包括：位于第一刀面和背面之间且与所述第二刀面相连的弧形凹槽面。可选的，所述弧形凹槽面的圆弧半径为6.5mm至7.5mm。可选的，所述刀杆在垂直于延伸方向上的横截面为四边形，所述刀杆与所述弧形凹槽面相连的侧面为第一侧面，所述第一侧面与所述连接侧面相连。可选的，所述第一侧面还包括：所述第一侧面还包括：与所述连接侧面相连接处的第二棱；与所述第二棱相对的第三棱，所述第三棱与所述第二棱相平行，所述第二棱与所述第三棱的间距为13mm至14mm。可选的，所述弧形凹槽面与所述第二刀面相连接处为第四棱；所述弧形凹槽面与所述第一侧面相连接处为第五棱，所述第四棱与所述第五棱相平行，所述第四棱与所述第五棱的间距为11mm至12mm。可选的，所述第四棱与所述第一端面在面向第一侧面方向的投影呈20°至25°的夹角。可选的，所述第一刀面与所述第二刀面相连接处为第六棱，所述第六棱和所述第四棱以圆角结构相连接，所述第一棱和所述第四棱以圆角结构相连接。可选的，所述圆角结构的圆角半径为0.15mm至0.25mm。可选的，所述第一刀面与所述第二刀面相连接处为第六棱，面向所述连接侧面的方向的投影面上，所述第六棱凸出于所述第一棱。可选的，在面向第一侧面方向的投影面上，所述第六棱至所述第二端面的距离为135mm至140mm。可选的，在面向所述连接侧面的投影面上，所述第六棱与所述第一棱呈5°至7°的夹角。可选的，所述第一侧面与其相对侧面之间的间距为11mm至13mm。与现有技术相比，本专利技术的技术方案具有以下优点：所述刀具的背面与连接侧面之间的夹角为钝角，也就是说将所述刀具的刀头与刀杆之间的夹角设计成钝角，采用所述刀具对靶材侧面进行加工时，能够避免所述刀杆与靶材发生摩擦，进而避免对所述刀具的刀头进入靶材侧面深度的影响，采用所述刀具对靶材侧面进行加工后，在所述靶材侧面形成斜槽且所述靶材侧面斜槽的尺寸及形状满足工艺规格。附图说明图1和图2是本专利技术靶材侧面切槽刀具一实施例在不同角度的结构示意图；图3是本专利技术靶材侧面切槽刀具一实施例的使用状态图；图4是图1和图2所示靶材侧面切槽刀具面向第一侧面方向的俯视图；图5是图1和图2所示靶材侧面切槽刀具面向连接侧面方向的正视图；图6是采用图1和图2所示靶材侧面切槽刀具对靶材组件进行加工的示意图；图7是采用图1和图2所示靶材侧面切槽刀具对靶材组件进行加工后的靶材结构侧视图。具体实施方式采用高纯钛的靶材侧面通常为V型斜槽，所述V型斜槽的结构和尺寸特殊，现有技术没有适合加工此类型靶材侧面V型斜槽的刀具。为了解决上述问题，本专利技术提供一种靶材侧面切槽刀具，所述刀具包括：刀杆，所述刀杆在延伸方向上包括第一端面和第二端面，所述第一端面用于在切槽时面向所述靶材侧面，所述刀杆还包括位于所述第一端面和第二端面之间的侧面；刀头，凸出设置于所述刀杆第一端面和侧面交界处，设置有刀头的侧面为连接侧面；所述刀头包括与所述第一端面相连接的第一刀面，与所述第一刀面相背且与所述连接侧面相连的背面，以及位于所述第一刀面和背面之间且背向所述刀杆的第二刀面；所述第二刀面与所述第一刀面用于在切槽时去除靶材侧面的部分材料形成斜槽；所述第二刀面与所述背面相连接处为第一棱，用于在切削过程中抵靠在背板的边缘区域；所述背面与所述连接侧面之间角度为钝角。本专利技术中，所述刀头的背面与所述刀杆的连接侧面之间的夹角设计成钝角，使刀具的刀头与刀杆呈一特定角度。采用所述刀头对靶材侧面进行加工时，所述钝角可以避免所述刀杆与靶材发生摩擦，进而避免对所述刀具进入靶材侧面深度的影响，采用所述刀具加工所述靶材后，在所述靶材侧面形成所需斜槽且所述靶材侧面斜槽尺寸及形状满足工艺规格。为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施例做详细的说明。参考图1、图2和图3，分别示出了本专利技术靶材侧面切槽刀具一实施例在不同角度的结构示意图和使用状态图。本实施例中，如图3所示，靶材组件400包括靶材410和背板420，所述靶材410设置于所述背板420上，所述靶材410位于所述背板420的中心区域且露出所述背板420的边缘区域。所述靶材410与所述背板420相贴合的面为背面，与所述背面相背的面为溅射面。所述靶材410还包括位于所述背面和所述溅射面之间的侧面。本专利技术提供的靶材侧面切槽刀具用于对靶材410的侧面450进行加工，以形成所需斜槽。在本实施例中，在所述靶材410侧面450形成的斜槽为V型斜槽700。具体地，参考图1和图2，所述刀具包括：刀杆100，所述刀杆100在延伸方向(如图中X方向)上包括第一端面101和第二端面102，所述第一端面101用于在切槽时面向所述靶材410侧面450，所述第二端面102在切槽时背向所述靶材410的侧面450。所述刀杆100还包括位于所述第一端面101和第二端面102之间的侧面，所述刀杆100侧面的数量为多个。本实施例中，所述刀杆100为在延伸方向(如图中X方向)延伸的立方体结构，所述刀杆100在垂直于所述延伸方向上的横截面为四边形，相应地，所述第一端面101和第二端面102均为四边形结构，所述侧面的数量为4个。刀头200，凸出设置于所述刀杆100第一端面101和侧面交界处，设置有刀头200的侧面为连接侧面104。本实施例中，所述刀头200也具有立方体结构。所述刀头200包括与所述第一端面101相连接的第一刀面201，与所述第一刀面201相背且与所述连接侧面104相连的背面202，以及位于所述第一刀面20本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种靶材侧面切槽刀具，待切槽靶材设置于一背板上，所述靶材位于背板的中心区域且露出背板的边缘区域，其特征在于，所述刀具包括：刀杆，所述刀杆在延伸方向上包括第一端面和第二端面，所述第一端面用于在切槽时面向所述靶材侧面，所述刀杆还包括位于所述第一端面和第二端面之间的侧面；刀头，凸出设置于所述刀杆第一端面和侧面交界处，设置有刀头的侧面为连接侧面；所述刀头包括与所述第一端面相连接的第一刀面，与所述第一刀面相背且与所述连接侧面相连的背面，以及位于所述第一刀面和背面之间且背向所述刀杆的第二刀面；所述第二刀面与所述第一刀面用于在切槽时去除靶材侧面的部分材料形成斜槽；所述第二刀面与所述背面相连接处为第一棱，用于在切削过程中抵靠在背板的边缘区域；所述背面与所述连接侧面之间角度为钝角。

【技术特征摘要】
1.一种靶材侧面切槽刀具，待切槽靶材设置于一背板上，所述靶材位于背板的中心区域且露出背板的边缘区域，其特征在于，所述刀具包括：刀杆，所述刀杆在延伸方向上包括第一端面和第二端面，所述第一端面用于在切槽时面向所述靶材侧面，所述刀杆还包括位于所述第一端面和第二端面之间的侧面；刀头，凸出设置于所述刀杆第一端面和侧面交界处，设置有刀头的侧面为连接侧面；所述刀头包括与所述第一端面相连接的第一刀面，与所述第一刀面相背且与所述连接侧面相连的背面，以及位于所述第一刀面和背面之间且背向所述刀杆的第二刀面；所述第二刀面与所述第一刀面用于在切槽时去除靶材侧面的部分材料形成斜槽；所述第二刀面与所述背面相连接处为第一棱，用于在切削过程中抵靠在背板的边缘区域；所述背面与所述连接侧面之间角度为钝角。2.如权利要求1所述的靶材侧面切槽刀具，其特征在于，所述背面与所述连接侧面之间角度为165°至170°。3.如权利要求1所述的靶材侧面切槽刀具，其特征在于，所述刀头还包括：位于第一刀面和背面之间且与所述第二刀面相连的弧形凹槽面。4.如权利要求3所述的靶材侧面切槽刀具，其特征在于，所述弧形凹槽面的圆弧半径为6.5mm至7.5mm。5.如权利要求3所述的靶材侧面切槽刀具，其特征在于，所述刀杆在垂直于延伸方向上的横截面为四边形，所述刀杆与所述弧形凹槽面相连的侧面为第一侧面，所述第一侧面与所述连接侧面相连。6.如权利要求5所述的靶材侧面切槽刀具，其特征在于，所述第一侧面还包括：与所述连接侧面相连接处的第二棱；与...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，相原俊夫，大岩一彦，王学泽，胡军胜，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33